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1. (WO2002039066) POSITIONSMESSGERÄT UND VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG EINER POSITION
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten

Veröff.-Nr.: WO/2002/039066 Internationale Veröffentlichungsnummer: PCT/EP2001/010682
Veröffentlichungsdatum: 16.05.2002 Internationales Anmeldedatum: 15.09.2001
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen: 15.02.2002
IPC:
G01D 5/244 (2006.01) ,G03F 7/20 (2006.01) ,G03F 9/00 (2006.01)
G Physik
01
Messen; Prüfen
D
Anzeigen oder Aufzeichnen in Verbindung mit Messen allgemein; Einrichtungen oder Instrumente zum Messen von zwei oder mehr Veränderlichen, soweit nicht von einer anderen Unterklasse umfasst; Tarifmessgeräte; Übertragungs- oder Umwandlungseinrichtungen, die nicht an eine spezielle Veränderliche angepasst sind; Messen oder Prüfen, soweit nicht anderweitig vorgesehen
5
Mechanische Vorrichtungen zur Übertragung des Ausgangssignals eines Abtast-Elements; Einrichtungen zum Umformen des Ausgangssignals des Abtast-Elements in eine andere Veränderliche wobei die Art und Beschaffenheit des Abtast-Elements nicht die Mittel des Umformens bedingt; Messgrößenumwandler, die nicht an eine spezielle Veränderliche angepasst sind
12
mit elektrischen oder magnetischen Mitteln
244
Messwertumformung durch Beeinflussen der Merkmale von Impulsen oder Impulsfolgen; Erzeugung von Impulsen oder Impulsfolgen
G Physik
03
Fotografie; Kinematografie; vergleichbare Techniken unter Verwendung von nicht optischen Wellen; Elektrografie; Holografie
F
Fotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, z.B. zum Drucken, zum Herstellen von Halbleiterbauelementen; Materialien dafür; Kopiervorlagen dafür; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
7
Fotomechanische, z.B. fotolithografische Herstellung von strukturierten oder gemusterten Oberflächen, z.B. Druckflächen; Materialien dafür, z.B. mit Fotolacken [Resists]; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
20
Belichten; Vorrichtungen dafür
G Physik
03
Fotografie; Kinematografie; vergleichbare Techniken unter Verwendung von nicht optischen Wellen; Elektrografie; Holografie
F
Fotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, z.B. zum Drucken, zum Herstellen von Halbleiterbauelementen; Materialien dafür; Kopiervorlagen dafür; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
9
Registergerechtes oder sonstiges Positionieren von Kopiervorlagen, Masken, Rastern, fotografischen Folien oder strukturierten oder gemusterten Oberflächen, z.B. selbsttätig
Anmelder:
DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBH [DE/DE]; Postfach 12 60 83292 Traunreut, DE (AllExceptUS)
HUBER-LENK, Herbert [DE/DE]; DE (UsOnly)
DRESCHER, Jörg [DE/DE]; DE (UsOnly)
HAUSSCHMID, Mathias [DE/DE]; DE (UsOnly)
REITER, Herbert [DE/DE]; DE (UsOnly)
STREITWIESER, Johann [DE/DE]; DE (UsOnly)
HOLZAPFEL, Wolfgang [DE/DE]; DE (UsOnly)
Erfinder:
HUBER-LENK, Herbert; DE
DRESCHER, Jörg; DE
HAUSSCHMID, Mathias; DE
REITER, Herbert; DE
STREITWIESER, Johann; DE
HOLZAPFEL, Wolfgang; DE
Prioritätsdaten:
100 54 070.831.10.2000DE
Titel (DE) POSITIONSMESSGERÄT UND VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG EINER POSITION
(EN) POSITION MEASURING DEVICE AND METHOD FOR DETERMINING A POSITION
(FR) APPAREIL DE MESURE DE POSITION ET PROCEDE POUR DETERMINER UNE POSITION
Zusammenfassung:
(DE) Die Erfindung betrifft ein Positionsmeßgerät (1), das in der Lage ist, den Positionswert eines beweglichen Objektes sehr zeitnah zu einem Triggersignal (9) zu bestimmen und anschließend auszugeben. Dies wird erreicht, indem das Positionsmeßgerät nach einem internen Takt (6) den jeweiligen Positionswert bestimmt, und sehr genau die Zeitspanne $g(D)t zwischen dem Eintreffen des Triggersignals (9) und der letzten Positionsbestimmung zum Zeitpunkt tn mit einem Zeitmesser (7) mißt. Über eine Extrapolation wird dann die Position des beweglichen Objektes zum Zeitpunkt des Eintreffens des Triggersignals (9) berechnet und anschließend ausgegeben.
(EN) The invention relates to a position measuring device (1) for determining, contemporaneously in relation to a trigger signal (9), the position value of a moveable object, and then outputting said position value. In order to achieve this, the position measuring device determines the respective position value according to an internal rhythm (6), and measures very precisely, by means of a timer, the time span $g(D)t between the trigger signal (9) and the last time a position is determined at instant tn. The position of the moveable object is calculated by means of extrapolation when the trigger signal (9) occurs, and is then output.
(FR) L'invention concerne un appareil de mesure de position (1) qui permet de déterminer puis de visualiser la valeur de position d'un objet mobile de manière temporellement très proche d'un signal de déclenchement (9). A cet effet, l'appareil de mesure de position détermine chaque valeur de position selon un rythme (6) interne et mesure très précisément, au moyen d'un chronomètre (7), le temps écoulé $g(D)t entre l'incidence du signal de déclenchement (9) et la dernière détermination de position à un moment tn. La position de l'objet mobile au moment de l'incidence du signal de déclenchement (9) est ensuite calculée par extrapolation, puis visualisée.
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Designierte Staaten: JP, US
Europäisches Patentamt (EPA) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)
Also published as:
EP1334330JP2004513357US20040006443