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1. (WO2002037576) HALBLEITEREINRICHTUNG UND VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG
Verfügbare Informationen über Eintritte in die nationale Phase(weitere Informationen)
AmtEintrittsdatumNationale IdentifikationsnummerNationaler Status
Europäisches Patentamt (EPA) 09.05.20032001993027Published: 19.11.2003
Withdrawn: 05.05.2009