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1. (WO2002037087) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM BESTIMMEN VON DEFEKTEN AUF ODER IN EINEM GEGENSTAND
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten

Veröff.-Nr.: WO/2002/037087 Internationale Veröffentlichungsnummer: PCT/EP2001/012459
Veröffentlichungsdatum: 10.05.2002 Internationales Anmeldedatum: 27.10.2001
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen: 25.07.2002
IPC:
G01N 21/95 (2006.01)
G Physik
01
Messen; Prüfen
N
Untersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Bestimmen ihrer chemischen oder physikalischen Eigenschaften
21
Optisches Untersuchen oder Analysieren von Stoffen, d.h. durch die Anwendung infraroten, sichtbaren oder ultravioletten Lichts
84
Systeme, speziell ausgebildet für besondere Anwendungen
88
Untersuchen der Anwesenheit von Fehlern oder Verunreinigungen
95
gekennzeichnet durch das Material oder die Form des zu untersuchenden Gegenstandes
Anmelder:
STEAG ETA-OPTIK GMBH [DE/DE]; Borsigstrasse 78 52525 Heinsberg, DE (AllExceptUS)
KUBITZEK, Rüdiger [DE/DE]; DE (UsOnly)
Erfinder:
KUBITZEK, Rüdiger; DE
Prioritätsdaten:
100 54 099.631.10.2000DE
Titel (DE) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM BESTIMMEN VON DEFEKTEN AUF ODER IN EINEM GEGENSTAND
(EN) METHOD AND DEVICE FOR DETERMINING DEFECTS ON OR IN AN OBJECT
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF POUR DETECTER DES DEFAUTS SUR OU DANS UN OBJET
Zusammenfassung:
(DE) Bei einem Verfahren zum Bestimmen von Defekten auf oder in einem Gegenstand (41) bei dem der Gegenstand mit Licht beleuchtet und danach wenigstens ein Teil des Lichts aufgenommen wird, ergeben sich bei einfacher und freier Konstruktion einer Meßanordnung zuverlässige Meßergebnisse, wenn der Gegenstand (41) beugende Strukturen aufweist und das daran gebeugte Licht mit wenigstens einer Beugungsordnung großer Null aufgenommen wird. Eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens weist einen Gegenstand (41) mit beugenden Strukturen auf, wobei ein Lichtempfänger (48) so angeordnet ist, daß es gebeugtes Licht (50, 51, 52) mit wenigstens einer Beugungsordnung großer Null empfängt.
(EN) The invention relates to a method for determining defects on or in an object (41), whereby the object is illuminated by light and then at least a part of the light is recorded. According to the invention, reliable measured results may be achieved with a simple and free construction of a measuring arrangement, when the object (41) comprises diffracting structures and the light diffracted thereby is recorded with at least one order of diffraction greater than zero. A device for carrying out the above method comprises an object (41) with diffracting structures, whereby a light detector (48) is arranged such that it receives light (50, 51, 52) with at least one order of diffraction greater than zero.
(FR) La présente invention concerne un procédé pour détecter des défauts sur ou dans un objet (41). Selon ce procédé, l'objet est éclairé avec de la lumière, puis au moins une partie de la lumière est captée. L'objectif de la présente invention est de mettre au point un système de mesure de construction simple et libre, qui fournisse des résultats de mesure fiables lorsque l'objet (41) présente des structures de diffraction et que la lumière diffractée sur celui-ci, présentant au moins un ordre de diffraction supérieur à zéro, est captée. Un dispositif permettant la mise en oeuvre dudit procédé comprend un objet (41) présentant des structures de diffraction et un récepteur de lumière (48) qui est monté de façon à recevoir la lumière diffractée (50, 51, 52) présentant au moins un ordre de diffraction supérieur à zéro.
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Designierte Staaten: BR, CA, CN, IL, JP, SG, US
Europäisches Patentamt (EPA) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)