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1. (WO2002036850) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM BESCHICHTEN VON HOHLKÖRPERN
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten

Veröff.-Nr.: WO/2002/036850 Internationale Veröffentlichungsnummer: PCT/EP2001/012689
Veröffentlichungsdatum: 10.05.2002 Internationales Anmeldedatum: 02.11.2001
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen: 29.05.2002
IPC:
C23C 16/04 (2006.01) ,C23C 16/511 (2006.01)
C Chemie; Hüttenwesen
23
Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Chemische Oberflächenbehandlung; Diffusionsbehandlung von metallischen Werkstoffen; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, Aufstäuben, Ionenimplantation oder chemisches Abscheiden aus der Dampfphase; Inhibieren von Korrosion metallischer Werkstoffe oder von Verkrustung allgemein
C
Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Oberflächenbehandlung metallischer Werkstoffe durch Diffusion in die Oberfläche, durch chemische Umwandlung oder Substitution; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben, durch Ionenimplantation oder durch chemisches Abscheiden aus der Dampfphase
16
Chemisches Beschichten durch Zersetzen gasförmiger Verbindungen ohne Verbleiben von Reaktionsprodukten des Oberflächenmaterials im Überzug, d.h. Verfahren zur chemischen Abscheidung aus der Dampfphase [chemical vapour deposition = CVD]
04
Beschichten ausgewählter Oberflächenbereiche, z.B. unter Verwendung von Masken
C Chemie; Hüttenwesen
23
Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Chemische Oberflächenbehandlung; Diffusionsbehandlung von metallischen Werkstoffen; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, Aufstäuben, Ionenimplantation oder chemisches Abscheiden aus der Dampfphase; Inhibieren von Korrosion metallischer Werkstoffe oder von Verkrustung allgemein
C
Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Oberflächenbehandlung metallischer Werkstoffe durch Diffusion in die Oberfläche, durch chemische Umwandlung oder Substitution; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben, durch Ionenimplantation oder durch chemisches Abscheiden aus der Dampfphase
16
Chemisches Beschichten durch Zersetzen gasförmiger Verbindungen ohne Verbleiben von Reaktionsprodukten des Oberflächenmaterials im Überzug, d.h. Verfahren zur chemischen Abscheidung aus der Dampfphase [chemical vapour deposition = CVD]
44
gekennzeichnet durch das Beschichtungsverfahren
50
unter Anwendung elektrischer Entladungen
511
unter Anwendung von Mikrowellenentladungen
Anmelder:
VEREINIGUNG ZUR FÖRDERUNG DES INSTITUTS FÜR KUNSTSTOFFVERARBEITUNG IN INDUSTRIE UND HANDWERK AN DER RHEINISCH-WESTFÄLISCHEN RWTH AACHEN E.V. [DE/DE]; Pontstrasse 49 52062 Aachen, DE (AllExceptUS)
DAHLMANN, Rainer [DE/DE]; DE (UsOnly)
Erfinder:
DAHLMANN, Rainer; DE
Vertreter:
DALLMEYER, Georg ; Deichmannhaus am Dom 50667 Köln, DE
Prioritätsdaten:
100 54 653.603.11.2000DE
Titel (DE) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM BESCHICHTEN VON HOHLKÖRPERN
(EN) METHOD AND DEVICE FOR COATING HOLLOW BODIES
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF DE REVETEMENT DE CORPS CREUX
Zusammenfassung:
(DE) Bei einem Verfahren zum Beschichten von Hohlkörpern (1) mittels der Schichtabscheidung aus einem Plasma, bei dem ein Hohlkörper (1) in einer Vakuumkammer (2) von aussen beschichtet wird, ist vorgesehen, dass elektromagnetische Strahlung durch das Innere des Hohlkörpers eingekoppelt wird und in dem den Hohlkörper (1) umgebenen Aussenraum (4) Gase, Dämpfe oder deren Gemische in die Vakuumkammer (2) eingeleitet werden, die zu einem Plasma angeregt werden können, wobei die Prozessparameter derart eingestellt sind, dass im Innenraum (6) des Hohlkörpers (1) das Zünden eines Plasmas verhindert wird.
(EN) The invention relates to a method for coating hollow bodies (1) by means of layer deposition from a plasma, whereby a hollow body (1) in a vacuum chamber (2) is coated from outside with provision of electromagnetic radiation, injected through the interior of the hollow body. In the external volume, surrounding said hollow body (1), gases, vapours or mixtures thereof may be introduced into the vacuum chamber (2) which can be stimulated to give a plasma, whereby the process parameters are chosen such that in the internal volume (6) of the hollow body (1) the generation of a plasma is prevented.
(FR) La présente invention concerne un procédé de revêtement de corps creux (1), au moyen d'un dépôt de couche constitué d'un plasma. Selon ce procédé, un corps creux est revêtu de l'extérieur dans une chambre à vide (2). Cette invention est caractérisée en ce qu'un rayonnement électromagnétique est injecté à travers l'intérieur du corps creux et des gaz, des vapeurs ou des mélanges de ceux-ci sont introduits dans la chambre à vide (2), dans l'espace extérieur (4) entourant le corps creux (1), et peuvent être activés afin de former un plasma, les paramètres de processus étant réglés de façon à éviter l'activation d'un plasma dans l'espace intérieur (6) du corps creux (1).
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Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, OM, PH, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZW
Afrikanische Organisation für geistiges Eigentum (ARIPO) (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Eurasisches Patentamt (EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Europäisches Patentamt (EPA) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Afrikanische Organisation für geistiges Eigentum (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)
Also published as:
AU2002216000