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1. (WO2002036849) ARBEITSTISCH MIT EINER TISCHPLATTE
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten

Veröff.-Nr.: WO/2002/036849 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2001/012600
Veröffentlichungsdatum: 10.05.2002 Internationales Anmeldedatum: 31.10.2001
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen: 17.05.2002
IPC:
H01L 21/00 (2006.01) ,H01L 21/677 (2006.01)
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
L
Halbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
21
Verfahren oder Geräte, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Halbleiter- oder Festkörperbauelementen oder Teilen davon
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
L
Halbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
21
Verfahren oder Geräte, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Halbleiter- oder Festkörperbauelementen oder Teilen davon
67
Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Halbleiterbauelementen oder elektrischen Festkörperbauelementen während ihrer Herstellung oder Behandlung; Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Wafern während der Herstellung oder Behandlung von Halbleiterbauelementen, elektrischen Festkörperbauelementen oder einzelnen Schaltungselementen
677
zum Transportieren oder Fördern, z.B. zwischen verschiedenen Bearbeitungsstationen
Anmelder:
ASYS AUTOMATIC SYSTEMS GMBH & CO. KG [DE/DE]; Gottlob-Bauknecht-Strasse 4 73614 Schorndorf, DE (AllExceptUS)
HÜGLER, Klaus [DE/DE]; DE (UsOnly)
Erfinder:
HÜGLER, Klaus; DE
Vertreter:
WITTNER, Walter ; Wittner & Müller Ochsenberg 16 73614 Schorndorf, DE
Prioritätsdaten:
100 54 045.731.10.2000DE
Titel (DE) ARBEITSTISCH MIT EINER TISCHPLATTE
(EN) WORK TABLE WITH A TABLE TOP
(FR) TABLE DE TRAVAIL COMPRENANT UN PLATEAU
Zusammenfassung:
(DE) Es wird ein Arbeitstisch (1) mit einer Tischplatte (4) vorgeschlagen, die als folienartige Abdeckung (5) einen Tischraum (6) begrenzt, in dem ein Antriebsteil (7) liegt, über den ein zur Folie gegenüberliegendes antreibbares Arbeitsgerät (3) auf der Tischfläche bewegbar ist.
(EN) The invention relates to a work table (1) with a table top (4) provided in the form of a film-like covering (5) that delimits a table space (6), inside of which a drive part (7) is located. An actuatable working device (3) located on the opposite side of the film can be displaced on the table surface by said drive part.
(FR) L'invention concerne une table de travail (1) comprenant un plateau (4) qui se présente sous la forme d'un recouvrement de type feuille (5) délimitant un espace (6) dans lequel est logé un élément d'entraînement (7) permettant de déplacer sur la surface de la table un outil entraînable (3) situé de l'autre côté de la feuille.
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Designierte Staaten: US
Europäisches Patentamt (EPA) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)