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1. (WO2001088599) AUTOFOKUSSIEREINRICHTUNG FÜR OPTISCHE GERÄTE
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2001/088599    Internationale Veröffentlichungsnummer:    PCT/EP2001/005388
Veröffentlichungsdatum: 22.11.2001 Internationales Anmeldedatum: 11.05.2001
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen:    07.12.2001    
IPC:
G02B 7/28 (2006.01), G02B 21/24 (2006.01), G02B 27/40 (2006.01)
Anmelder: CARL ZEISS JENA GMBH [DE/DE]; Carl-Zeiss-Promenade 10, 07745 Jena (DE) (For All Designated States Except US).
CZARNETZKI, Norbert [DE/DE]; (DE) (For US Only).
MACK, Stefan [DE/DE]; (DE) (For US Only).
SCHERÜBL, Thomas [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: CZARNETZKI, Norbert; (DE).
MACK, Stefan; (DE).
SCHERÜBL, Thomas; (DE)
Allgemeiner
Vertreter:
CARL ZEISS JENA GMBH; Carl-Zeiss-Promenade 10, 07745 Jena (DE)
Prioritätsdaten:
100 24 687.7 18.05.2000 DE
Titel (DE) AUTOFOKUSSIEREINRICHTUNG FÜR OPTISCHE GERÄTE
(EN) AUTOFOCUSSING DEVICE FOR OPTICAL INSTRUMENTS
(FR) DISPOSITIF DE MISE AU POINT AUTOMATIQUE DESTINE A DES APPAREILS OPTIQUES
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die Erfindung bezieht sich auf eine Autofokussiereinrichtung bevorzugt für Mikroskope zur Waferinspektion, bei denen eine mit Laserlicht beleuchtete punktförmige Beleuchtungsblende (1) in ein Beobachtungsobjekt (5) abgebildet wird, dabei in einer zur Beleuchtungsblende (1) konjugierten Meßblendenanordnung ein Bild des auf dem Beobachtungsobjekt (5) beleuchteten Punktes entsteht, mit einem positionsempfindlichen Detektor (11) die Position der maximalen Intensität dieses Bildes ermittelt und diese mit einer Position verglichen wird, die der Fokusposition entspricht und aus der Lageabweichung beider Positionen ein Stellsignal für die Autofokussierung gewonnen wird. Bei einer Autofokussiereinrichtung der vorbeschriebenen Art umfaßt die Meßblendenanordnung mehrere in axialer Richtung hintereinander angeordnete optisch wirksame Bauelemente mit teils transparenten, teils intransparenten, jedoch zueinander komplementären Strukturen, und die Bauelemente im Strahlengang innerhalb eines der Tiefenschärfe entsprechenden Abstandes zueinander vor und hinter der zur Beleuchtungsblende (1) konjugierten Position angeordnet sind, wobei der Querschnitt des vom Beobachtungsobjekt (5) kommenden Lichtstrahles je nach Lage des Beobachtungsobjektes (5) durch die Strukturen mehr oder weniger abgeblockt wird.
(EN)The invention relates to an autofocussing device preferably for microscopes for wafer inspection. A point-shaped illumination diaphragm (1) lit by a ray of laser light is imaged into an observation object (5); an image of the lit point on the observation object (5) is formed in a measuring diaphragm device which is conjugated with respect to the illumination diaphragm (1); the position of the maximum intensity of this image is determined by a position-sensitive detector (11) and compared with a position which corresponds to the focus position. An autofocussing position signal is obtained from the deviation between the two positions. The measuring diaphragm device of such an autofocussing device comprises several optically active components arranged in succession along the axis. Said components have complementary structures which are partially transparent and partially opaque, and are placed together in the beam path within one of the distances corresponding to the depth of field, in front of and behind the position which is conjugated with respect to the illumination diaphragm (1). The cross-section of the light beam from the observation object (5) is more or less blocked by the aforementioned structures according to the position of the observation object (5).
(FR)L'invention concerne un dispositif de mise au point automatique destiné, de préférence, aux microscopes servant à l'inspection des plaquettes. Selon l'invention, un diaphragme ponctuel (1) éclairé par une lumière laser est représenté sur un objet d'observation (5) ; une image du point éclairé de l'objet d'observation (5) se forme dans un dispositif diaphragme de mesure conjugué au diaphragme (1) ; un détecteur de position (11) détermine la position de l'intensité maximale de cette image et cette intensité est comparée à une position qui correspond à la position focale. Finalement, on obtient signal de réglage de la mise au point automatique à partir de l'écart des ces deux positions. Pour un dispositif de mise au point automatique de type susmentionné, le dispositif diaphragme de mesure comprend plusieurs composants optiquement actifs et placés les uns derrière les autres dans le sens axial. Ces composants ont des structures complémentaires, partiellement transparentes et partiellement opaques. Ces composants sont placés dans la trajectoire du faisceau dans les limites d'une distance correspondant à la profondeur de champ, entre eux, en amont et en aval de la position conjuguée au diaphragme (1). La section du faisceau lumineux provenant de l'objet d'observation (5) est plus ou moins arrêtée par les structures en fonction de la position de l'objet d'observation (5).
Designierte Staaten: JP, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)