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1. (WO2001069644) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR PLASMAGESTÜTZTEN OBERFLÄCHENBEHANDLUNG UND VERWENDUNG DES VERFAHRENS
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

Veröff.-Nr.: WO/2001/069644 Internationale Anmeldenummer PCT/EP2001/002815
Veröffentlichungsdatum: 20.09.2001 Internationales Anmeldedatum: 13.03.2001
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen: 10.10.2001
IPC:
B05D 7/24 (2006.01) ,B29C 59/14 (2006.01) ,C23C 16/04 (2006.01) ,C23C 16/50 (2006.01) ,H01J 37/32 (2006.01)
B Arbeitsverfahren; Transportieren
05
Versprühen oder Zerstäuben allgemein; Aufbringen von Flüssigkeiten oder von anderen fließfähigen Stoffen auf Oberflächen allgemein
D
Verfahren zum Aufbringen von Flüssigkeiten oder von anderen fließfähigen Stoffen auf Oberflächen allgemein
7
Verfahren, Beflocken ausgenommen, speziell zum Aufbringen von Flüssigkeiten oder von anderen fließfähigen Stoffen auf besonders geartete Oberflächen oder zum Aufbringen besonders gearteter Flüssigkeiten oder anderer fließfähiger Stoffe
24
zum Aufbringen von besonders gearteten Flüssigkeiten oder anderen fließfähigen Stoffen
B Arbeitsverfahren; Transportieren
29
Verarbeiten von Kunststoffen; Verarbeiten von Stoffen in plastischem Zustand allgemein
C
Formen oder Verbinden von Kunststoffen; Formen von Stoffen in plastischem Zustand allgemein; Nachbehandlung geformter Erzeugnisse, z.B. Reparieren
59
Formgebung der Oberfläche, z.B. Prägen; Vorrichtungen hierfür
14
durch Plasmabehandlung
C Chemie; Hüttenwesen
23
Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Chemische Oberflächenbehandlung; Diffusionsbehandlung von metallischen Werkstoffen; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, Aufstäuben, Ionenimplantation oder chemisches Abscheiden aus der Dampfphase; Inhibieren von Korrosion metallischer Werkstoffe oder von Verkrustung allgemein
C
Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Oberflächenbehandlung metallischer Werkstoffe durch Diffusion in die Oberfläche, durch chemische Umwandlung oder Substitution; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben, durch Ionenimplantation oder durch chemisches Abscheiden aus der Dampfphase
16
Chemisches Beschichten durch Zersetzen gasförmiger Verbindungen ohne Verbleiben von Reaktionsprodukten des Oberflächenmaterials im Überzug, d.h. Verfahren zur chemischen Abscheidung aus der Dampfphase [chemical vapour deposition = CVD]
04
Beschichten ausgewählter Oberflächenbereiche, z.B. unter Verwendung von Masken
C Chemie; Hüttenwesen
23
Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Chemische Oberflächenbehandlung; Diffusionsbehandlung von metallischen Werkstoffen; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, Aufstäuben, Ionenimplantation oder chemisches Abscheiden aus der Dampfphase; Inhibieren von Korrosion metallischer Werkstoffe oder von Verkrustung allgemein
C
Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Oberflächenbehandlung metallischer Werkstoffe durch Diffusion in die Oberfläche, durch chemische Umwandlung oder Substitution; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben, durch Ionenimplantation oder durch chemisches Abscheiden aus der Dampfphase
16
Chemisches Beschichten durch Zersetzen gasförmiger Verbindungen ohne Verbleiben von Reaktionsprodukten des Oberflächenmaterials im Überzug, d.h. Verfahren zur chemischen Abscheidung aus der Dampfphase [chemical vapour deposition = CVD]
44
gekennzeichnet durch das Beschichtungsverfahren
50
unter Anwendung elektrischer Entladungen
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
J
Elektrische Entladungsröhren oder Entladungslampen
37
Entladungsröhren mit Vorkehrung zum Einführen von Gegenständen oder Werkstoffen, die der Entladung ausgesetzt werden sollen, z.B. zur Prüfung oder Bearbeitung derselben
32
Gasgefüllte Entladungsröhren
Anmelder: KLAGES, Claus-Peter[DE/DE]; DE (UsOnly)
THYEN, Rudolf[DE/DE]; DE (UsOnly)
EICHLER, Marko[DE/DE]; DE (UsOnly)
LINDMAYER, Manfred[DE/DE]; DE (UsOnly)
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.[DE/DE]; Leonrodstrasse 54 80636 München, DE (AllExceptUS)
Erfinder: KLAGES, Claus-Peter; DE
THYEN, Rudolf; DE
EICHLER, Marko; DE
LINDMAYER, Manfred; DE
Prioritätsdaten:
100 12 307.414.03.2000DE
100 56 564.615.11.2000DE
Titel (EN) METHOD AND DEVICE FOR THE PLASMA-ACTIVATED SURFACE TREATMENT AND USE OF THE INVENTIVE METHOD
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE SURFACE ACTIVE PAR PLASMA ET UTILISATION DUDIT PROCEDE
(DE) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR PLASMAGESTÜTZTEN OBERFLÄCHENBEHANDLUNG UND VERWENDUNG DES VERFAHRENS
Zusammenfassung:
(EN) The invention relates to a method for the plasma-activated treatment of defined surface areas of a body. According to the inventive method, an electric insulator (3) is inserted between two electrodes (1, 2) in such a manner that no form-fit contact between the insulator and the respective electrode is made in the predetermined surface areas. In the remaining surface areas the insulator and the respective electrode are in form-fit contact so that a cold, transient gas discharge takes places exclusively in the predetermined surface areas when a voltage is applied to the electrodes at gas pressures of between 104 Pa and 106 Pa.
(FR) Procédé de traitement de surface activé par plasma de zones prédéfinies de la surface d'un corps, selon lequel un isolateur électrique (3) est placé entre deux électrodes (1, 2) de manière telle que dans lesdites zones prédéfinies de surface, aucun contact par liaison de forme ne se produit entre l'isolateur et l'électrode concernée, et que dans les zones de surfaces restantes, l'isolateur et l'électrode concernée se trouvent en contact par liaison de forme, si bien que lors de l'application d'une tension sur les électrodes à des pressions de gaz situées entre 104 Pa et 106 Pa, une décharge de gaz froide transitoire se produit exclusivement dans les zones de surface prédéfinies.
(DE) Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur plasmagestützten Behandlung von vorgebbaren Oberflächenbereichen eines Körpers, bei dem ein elektrischer Isolator (3) derart zwischen zwei Elektroden (1, 2) eingebracht wird, dass in den vorgegebenen Oberflächenbereichen kein formschlüssiger Kontakt zwischen dem Isolator und der jeweiligen Elektrode vorliegt, und dass in den restlichen Oberflächenbereichen der Isolator und die jeweilige Elektrode in formschlüssigem Kontakt stehen, so dass sich beim Anlegen einer Spannung an die Elektroden bei Gasdrücken zwischen 104 Pa und 106 Pa eine kalte, transiente Gasentladung ausschließlich in den vorgegebenen Oberflächenbereichen ausbildet.
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Designierte Staaten: JP, US
Europäisches Patentamt (EPO) (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)