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1. (WO2001068790) REIBUNGSARME UND VERSCHLEISSMINDERNDE SCHUTZSCHICHTEN UND VERFAHREN ZU IHRER ABSCHEIDUNG
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2001/068790    Internationale Anmeldenummer    PCT/DE2001/001094
Veröffentlichungsdatum: 20.09.2001 Internationales Anmeldedatum: 16.03.2001
IPC:
C23C 14/00 (2006.01), C23C 14/06 (2006.01)
Anmelder: MAT GMBH DRESDEN [DE/DE]; Reisstrasse 3 01257 Dresden (DE) (For All Designated States Except US).
MUCHA, Andreas [DE/DE]; (DE) (For US Only).
ROTHER, Bernd [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: MUCHA, Andreas; (DE).
ROTHER, Bernd; (DE)
Vertreter: RAUSCHENBACH, Marion; Postfach 27 01 75 01172 Dresden (DE)
Prioritätsdaten:
100 13 834.9 16.03.2000 DE
100 24 899.3 12.05.2000 DE
Titel (DE) REIBUNGSARME UND VERSCHLEISSMINDERNDE SCHUTZSCHICHTEN UND VERFAHREN ZU IHRER ABSCHEIDUNG
(EN) LOW-FRICTION PROTECTIVE LAYERS THAT REDUCE WEAR AND TEAR AND A METHOD FOR DEPOSITING SAME
(FR) COUCHES DE PROTECTION A FAIBLE FRICTION ET REDUISANT L'USURE ET LEUR PROCEDE DE DEPOT
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die Erfindung bezieht sich auf das Gebiet der Werkstofftechnik und betrifft Schutzschichten, wie sie beispielsweise auf Ventileinsätzen oder auf Umformwerkzeugen eingesetzt werden, sowie ein Verfahren zu deren Abscheidung. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, relativ einfach, weitgehend spannungsfrei und haftfest auf verschiedene Grundwerkstoffen aufgebrachte Schutzschichten und ihr Abscheidungsverfahren anzugeben.Die Aufgabe wird gelöst durch ein Verfahren, bei dem die Schutzschichten mittels Feststoffzerstäubung eines Graphittargets und/oder eines Graphit enthaltenden Targets abgeschieden werden, wobei der targetbezogenen Gasentladung und/oder der teilweise auch identischen schichtbildungsbezogenen Gasentladung vor und/oder während der Abscheidung als Arbeitsgas oder als Bestandteil des Arbeitsgases Kohlenmonoxid und/oder Kohlendioxid zugeführt wird.Die Aufgabe wird weiterhin gelöst durch Schutzschichten, die zu mehr als 95 Atom-% aus Kohlenstoff bestehen, eine Massendichte im Bereich von 1,6 bis 2,0 g/cm3 aufweisen und plastische Härtewerte von 5 bis 30 GPa oder E-Modul-Werte von 50 bis 200 GPa aufweisen.
(EN)The invention relates to the field of materials technology and to protective layers, such as they are used on valve insets or deforming tools. The invention also relates to a method for depositing the same. The aim of the invention is to provide protective layers that are applied to different base materials in a relatively simple, essentially stressfree and adhesive manner. The aim of the invention is also to provide the depositing method therefor. According to the inventive method, the protective layers are deposited by means of solid matter sputtering of a graphite target and/or a target containing a graphite. Carbon monoxide and/or carbon dioxide, acting as a working gas or as a component of the working gas, is/are supplied to the target-related gas discharge and/or the partially identical layer-production-related gas discharge before and/or during the deposit. The aim of the invention is also obtained by protective layers that contain more than 95 atom % of carbon, are provided with a mass density ranging from 1.6 to 2.0 g/cm3 and plastic hardness values of 5 to 30 GPa or E module values of 50 to 200 GPa.
(FR)L'invention concerne le domaine de la technique des matières et plus particulièrement des couches protectrices, telles que celles utilisées, par exemple, sur des inserts de soupape ou des outils de formage, ainsi que leur procédé de dépôt. L'objectif de l'invention est l'obtention, de façon relativement simple, de couches de protection appliquées sur différentes matières de base, dans une large mesure sans contrainte et d'une grande adhérence, et de créer un procédé de dépôt de telles couches. Cet objectif est atteint grâce à un procédé selon lequel les couches de protection sont déposées par pulvérisation d'une cible de graphite et/ou d'une cible contenant du graphite, du monoxyde de carbone et/ou du dioxyde de carbone étant amené pour la décharge de gaz destinée à la cible et/ou la décharge de gaz destinée à la formation des couches, partiellement identiques, avant et/ou pendant le dépôt, en tant que gaz de travail ou en tant que composant du gaz de travail. Cet objectif est également atteint grâce à l'obtention de couches de protection qui contiennent une proportion pouvant être supérieure à 95 % atomiques de carbone, présentent une masse volumique comprise dans la plage 1,6-2,0 g/cm3, ainsi que des valeurs de dureté plastique de 5-30 GPa ou des valeurs de module d'élasticité comprises entre 50 et 200 GPa.
Designierte Staaten: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, BZ, CA, CH, CN, CR, CU, CZ, DK, DM, DZ, EE, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZA, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, MZ, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)