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1. WO2001044823 - MIKROMECHANISCHE FEDERSTRUKTUR, INSBESONDERE FÜR EINEN DREHRATENSENSOR

Veröffentlichungsnummer WO/2001/044823
Veröffentlichungsdatum 21.06.2001
Internationales Aktenzeichen PCT/DE2000/004193
Internationales Anmeldedatum 25.11.2000
IPC
B81B 3/00 2006.1
BSektion B Arbeitsverfahren; Transportieren
81Mikrostrukturtechnik
BMikrostrukturbauelemente oder Mikrostruktursysteme, z.B. mikromechanische Bauelemente
3Bauelemente mit flexiblen oder verformbaren Bestandteilen, z.B. mit elastischen Zungen oder Membranen
G01C 19/56 2012.1
GSektion G Physik
01Messen; Prüfen
CMessen von Entfernungen, Höhen, Neigungen oder Richtungen; Geodäsie; Navigation; Kreiselgeräte; Fotogrammmetrie oder Videogrammmetrie
19Kreiselgeräte; drehempfindliche Vorrichtungen, die schwingende Massen nutzen; drehempfindliche Vorrichtungen ohne bewegliche Massen; Messen der Winkelgeschwindigkeit unter Benutzung von Kreiseleffekten
56Drehempfindliche Vorrichtungen, die schwingende Massen nutzen, z.B. schwingende Winkelgeschwindigkeitssensoren, die auf Grundlage der Corioliskraft arbeiten
G01P 15/08 2006.1
GSektion G Physik
01Messen; Prüfen
PMessen der Lineargeschwindigkeit oder Winkelgeschwindigkeit, der Beschleunigung, der Verzögerung oder des Stoßes; Anzeigen des Vorhandenseins oder Fehlens einer Bewegung; Anzeigen der Richtung einer Bewegung
15Messen der Beschleunigung; Messen der Verzögerung; Messen des Stoßes bei einer plötzlichen Beschleunigung
02durch Anwendung von Trägheitskräften
08mit Umwandlung in elektrische oder magnetische Größen
H01L 29/84 2006.1
HSektion H Elektrotechnik
01Grundlegende elektrische Bauteile
LHalbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
29Halbleiterbauelemente, besonders ausgebildet zum Gleichrichten, Verstärken, Schalten oder zur Schwingungserzeugung mit wenigstens einer Potenzialsprung-Sperrschicht oder Oberflächensperrschicht; Kondensatoren oder Widerstände mit wenigstens einer Potenzialsprung-Sperrschicht oder Oberflächensperrschicht, z.B. PN-Übergang mit Verarmungsschicht oder Anreicherungsschicht; Einzelheiten von Halbleiterkörpern oder von Elektroden auf diesen Halbleiterkörpern
66Typen von Halbleiterbauelementen
84steuerbar allein durch Änderung von angewendeten mechanischen Kräften, z.B. durch Druck
CPC
B81B 2201/0235
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
2201Specific applications of microelectromechanical systems
02Sensors
0228Inertial sensors
0235Accelerometers
B81B 2203/0109
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
2203Basic microelectromechanical structures
01Suspended structures, i.e. structures allowing a movement
0109Bridges
B81B 3/00
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
3Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
B81B 3/0072
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
3Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
0064Constitution or structural means for improving or controlling the physical properties of a device
0067Mechanical properties
0072For controlling internal stress or strain in moving or flexible elements, e.g. stress compensating layers
G01C 19/5733
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
19Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
56Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
5719using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
5733Structural details or topology
G01C 19/5783
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
19Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
56Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
5783Mountings or housings not specific to any of the devices covered by groups G01C19/5607 - G01C19/5719
Anmelder
  • ROBERT BOSCH GMBH [DE]/[DE] (AllExceptUS)
  • KIPP, Andreas [DE]/[DE] (UsOnly)
  • HAUER, Joerg [DE]/[DE] (UsOnly)
  • GOETZ, Siegbert [DE]/[DE] (UsOnly)
  • LUTZ, Markus [DE]/[DE] (UsOnly)
Erfinder
  • KIPP, Andreas
  • HAUER, Joerg
  • GOETZ, Siegbert
  • LUTZ, Markus
Prioritätsdaten
199 60 604.816.12.1999DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (de)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) MIKROMECHANISCHE FEDERSTRUKTUR, INSBESONDERE FÜR EINEN DREHRATENSENSOR
(EN) MICROMECHANICAL SPRING STRUCTURE, ESPECIALLY FOR A ROTATIONAL SPEED SENSOR
(FR) STRUCTURE OSCILLANTE MICROMECANIQUE, EN PARTICULIER POUR UN CAPTEUR DE VITESSE DE ROTATION
Zusammenfassung
(DE) Die Erfindung schafft eine mikromechanische Federstruktur, insbesondere für einen Drehratensensor, mit: einem ersten und einem zweiten zusammenwirkenden Federbalken (151, 152), welche streckenweise im wesentlichen parallel zueinander verlaufen und streckenweise aneinander gekoppelt sind. Der erste und zweite Federbalken (151, 152) weisen einen gemeinsamen Krümmungsbereich (150) auf, in dem sie aneinander durch einen Verbindungsbereich (155) gekoppelt sind. Ein zwischen dem ersten und zweiten Federbalken (151, 152) liegender erster Übergangsbereich (160c; 160d) zum Verbindungsbereich (155) verläuft im wesentlichen krümmungsstetig.
(EN) The invention relates to micromechanical spring structure, especially for a rotational speed sensor, comprising a first and a second cooperating spring bars (151, 152) which extend substantially parallel to one another in certain areas and are coupled to one another in certain areas. The first and second spring bars (151, 152) have a common curved area (150) in which they are coupled to one another by means of a connecting area (155). A first transition area (160c; 160d) that leads to the connecting area (155) and is located between the first and the second spring bars (151, 152) substantially extends in a continuously curved manner.
(FR) L'invention concerne une structure oscillante micromécanique, en particulier pour un capteur de vitesse de rotation, comprenant une première et une seconde barres (151, 152) élastiques coopérantes, en partie essentiellement parallèles et en partie connectées l'une à l'autre. L'invention est caractérisée en ce que la première et la seconde barres (151, 152) élastiques comportent une zone courbe commune (150), dans laquelle elles sont connectées l'une à l'autre par une zone de liaison (155). Une première zone (160c; 160d), située entre les première et seconde barres (151, 152) élastiques, et faisant la transition avec la zone de liaison (155) présente une ligne qui suit sensiblement une courbe continue.
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