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1. (WO2000070407) PROJEKTIONSOBJEKTIV FÜR DIE MIKROLITHOGRAPHIE
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2000/070407    Internationale Anmeldenummer    PCT/EP1999/010233
Veröffentlichungsdatum: 23.11.2000 Internationales Anmeldedatum: 21.12.1999
IPC:
G02B 13/14 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01)
Anmelder: CARL ZEISS [DE/DE]; D-89518 Heidenheim (DE) (DE, FR, NL only).
CARL-ZEISS-STIFTUNG trading as CARL ZEISS [DE/DE]; D-89518 Heidenheim (DE) (GB, IE, JP, KR only).
SCHUSTER, Karl-Heinz [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: SCHUSTER, Karl-Heinz; (DE)
Prioritätsdaten:
199 22 209.6 14.05.1999 DE
Titel (DE) PROJEKTIONSOBJEKTIV FÜR DIE MIKROLITHOGRAPHIE
(EN) PROJECTION LENS FOR MICROLITHOGRAPHY
(FR) OBJECTIF DE PROJECTION POUR LA MICROLITHOGRAPHIE
Zusammenfassung: front page image
(DE)Projektionsobjektiv mit einer mindestens eine erste Taille des Lichtbündels aufweisenden Linsenanordnung, wobei eine Linse (L205, L305, L405, L505, L605) mit einer asphärischen Oberfläche (29) vor und/oder eine Linse (L210, L310, L409, L509, L609) mit einer asphärischen Oberfläche (27) nach der ersten Taille (23) angeordnet ist.
(EN)The invention relates to a projection lens, comprising a lens assembly which has at least one first narrowing of the group of light beams. A lens (L205, L305, L405, L505, L605) with a non-spherical surface (29) is located in front of and/or a lens (L210, L310, L409, L509, L609) with a non-spherical surface (27) is located behind the first narrowing (23).
(FR)La présente invention concerne un objectif de projection pourvu d'un système de lentilles présentant au moins une première taille de faisceau lumineux. Une lentille (L205, L305, L405, L505, L605) présentant une surface asphérique (29) est disposée avant la première taille de faisceau lumineux (23) et/ou une lentille (L210, L310, L409, L509, L609) présentant une surface asphérique (27) est disposée après la première taille de faisceau lumineux (23).
Designierte Staaten: JP, KR, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)