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1. (WO2000068975) ANLAGE ZUR FERTIGUNG VON HALBLEITERPRODUKTEN

Pub. No.:    WO/2000/068975    International Application No.:    PCT/DE2000/001453
Publication Date: 16.11.2000 International Filing Date: 05.05.2000
IPC: H01L 21/677
Applicants: INFINEON TECHNOLOGIES AG
HUBER, Ronald
KLÄBSCH, Rolf-Arno
Inventors: HUBER, Ronald
KLÄBSCH, Rolf-Arno
Title: ANLAGE ZUR FERTIGUNG VON HALBLEITERPRODUKTEN
Abstract:
Die Erfindung betrifft eine Anlage zur Fertigung von Halbleiterprodukten in wenigstens einem Reinraum (1). Als Transportsystem für die Zuführung der Halbleiterprodukte zu den Fertigungseinheiten (2) ist eine Portalkrananlage vorgesehen, welche wenigstens einen oberhalb der Fertigungseinheiten (2) geführten und zu den Fertigungseinheiten (2) hin absenkbaren Transportbehälter (8) aufweist.