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1. (WO2000059048) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM DOPPELSEITIGEN BESCHICHTEN EINES SUBSTRATES
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2000/059048    Internationale Anmeldenummer    PCT/EP2000/001697
Veröffentlichungsdatum: 05.10.2000 Internationales Anmeldedatum: 29.02.2000
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen:    12.09.2000    
IPC:
C23C 14/50 (2006.01), C23C 14/54 (2006.01), H01L 39/24 (2006.01)
Anmelder: FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBH [DE/DE]; Wilhelm-Johnen-Str., D-52425 Jülich (DE) (For All Designated States Except US).
WÖRDENWEBER, Roger [DE/DE]; (DE) (For US Only).
KLEIN, Wilfried [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: WÖRDENWEBER, Roger; (DE).
KLEIN, Wilfried; (DE)
Vertreter: PAUL, Dieter-Alfred; Fichtestr. 18, D-41464 Neuss (DE)
Prioritätsdaten:
199 14 129.0 27.03.1999 DE
Titel (DE) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM DOPPELSEITIGEN BESCHICHTEN EINES SUBSTRATES
(EN) METHOD AND DEVICE FOR COATING BOTH SIDES OF A SUBSTRATE
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF POUR LE REVETEMENT D'UN SUBSTRAT SUR SES DEUX FACES
Zusammenfassung: front page image
(DE)Beschrieben wird ein Verfahren zum doppelseitigen Beschichten eines Substrats mit insbesondere einem HTS-Material durch Materialabscheidung, bei dem das Beschichtungsmaterial bei gleichzeitiger Erwärmung des Substrats (2) durch eine Heizvorrichtung (3) auf dem Substrat (2) abgeschieden wird, das dadurch gekennzeichnet ist, daß das Substrat (2) an einem beweglichen Halter (1) zwischen wenigstens einem Paar von Beschichtungselementen (4, 5), die einander gegenüberliegend und zueinander weisend beidseitig des Halters (1) vorgesehen sind, periodisch hindurchgeführt und dabei beschichtet wird, sowie Vorrichtung zum doppelseitigen Beschichten eines Substrats (2) mit insbesondere einem HTS-Material durch Materialabscheidung mit einem Halter (1), an dem wenigstens ein Substrat (2) befestigbar ist, einer Heizvorrichtung (3) zur Erwärmung des Substrats (2) während der Beschichtung und wenigstens einem Beschichtungselement (4, 5), um das Beschichtungsmaterial auf dem Substrat abzuscheiden.
(EN)The invention relates to a method for coating both sides of a substrate. According to the inventive method, an HTS material is used for material deposition. The coating material is deposited on the substrate (2) while the substrate (2) is simultaneously heated by means of a heating device (3). The method is characterised in that the substrate (2) is attached to a moveable holder (1) and is periodically moved through the space between at least one pair of coating elements (4, 5) and is thereby coated. Said elements (4, 5) are situated opposite each other, face each other and are provided on both sides of the holder (1). The invention also relates to a device for coating both sides of a substrate (2) using especially an HTS material for material deposition. Said device comprises a holder (1). At least one substrate (2) can be fixed to said holder (1). The device also comprises a heating device (3) for heating the substrate (2) during coating and at least one coating element (4, 5) for depositing the coating material on the substrate.
(FR)L'invention concerne un procédé pour le revêtement d'un substrat sur ses deux faces, en utilisant en particulier, comme matériau pour la déposition, un matériau HTS (supraconducteur à haute température), selon lequel le matériau de revêtement est déposé sur le substrat (2) par chauffage concomitant du substrat (2) au moyen d'un dispositif de chauffe (3), caractérisé en ce que le substrat (2) est amené périodiquement sur un support mobile (1), entre au moins une paire d'éléments de revêtement (4, 5) opposés l'un à l'autre et agencés des deux côtés du support (1), et se trouve ainsi revêtu. L'invention concerne en outre un dispositif pour revêtir un substrat (2) sur ses deux faces, par déposition d'un matériau, en particulier d'un matériau HTS, caractérisé en ce qu'il comprend un support (1) sur lequel au moins un substrat (2) peut être fixé, un dispositif de chauffe (3) pour le chauffage du substrat (2) pendant le revêtement, et au moins un élément de revêtement (4, 5) destiné à déposer le matériau de revêtement sur le substrat.
Designierte Staaten: JP, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)