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1. (WO2000059002) ANLAGE ZUR FERTIGUNG VON HALBLEITERPRODUKTEN
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/2000/059002    Internationale Anmeldenummer    PCT/DE2000/000941
Veröffentlichungsdatum: 05.10.2000 Internationales Anmeldedatum: 24.03.2000
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen:    13.09.2000    
IPC:
F24F 3/16 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01)
Anmelder: INFINEON TECHNOLOGIES AG [DE/DE]; St.-Martin-Strasse 53, D-81541 München (DE) (For All Designated States Except US).
HEINEMANN, Bernhard [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: HEINEMANN, Bernhard; (DE)
Vertreter: MüLLER & HOFFMANN; Innere Wiener Strasse 17, D-81667 München (DE)
Prioritätsdaten:
199 13 886.9 26.03.1999 DE
Titel (DE) ANLAGE ZUR FERTIGUNG VON HALBLEITERPRODUKTEN
(EN) DEVICE FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR PRODUCTS
(FR) INSTALLATION POUR FABRIQUER DES PRODUITS SEMICONDUCTEURS
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft eine Anlage zur Fertigung von Halbleiterprodukten, insbesondere von Wafern, mit einer Anordnung von Fertigungseinheiten (1) in wenigstens einem Reinraum (2) mit einem Luftversorgungssystem. Bei dem Luftversorgungssystem erfolgt die Luftzufuhr über den Boden (7) des Reinraums (2).
(EN)The invention relates to a device for manufacturing semiconductor products, especially wafers. Said device comprises an arrangement of manufacturing units (1) in at least one clean room (2) that is provided with an air supply system. In said air supply system the air is supplied via the bottom (7) of the clean room (2).
(FR)Cette invention concerne une installation pour fabriquer des produits semiconducteurs, notamment des plaquettes de silicium. Cette installation comprend un dispositif d'unités de production (1) disposé dans au moins une salle blanche (2) pourvue d'un système d'alimentation en air avec lequel l'alimentation en air s'effectue par le sol (7) de la salle blanche (2).
Designierte Staaten: JP, KR, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)