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1. WO2000038023 - VERFAHREN ZUR KONTROLLE EINES SÄGEPROZESSES

Veröffentlichungsnummer WO/2000/038023
Veröffentlichungsdatum 29.06.2000
Internationales Aktenzeichen PCT/EP1999/009772
Internationales Anmeldedatum 10.12.1999
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen 06.06.2000
IPC
B28D 5/00 2006.01
BArbeitsverfahren; Transportieren
28Ver- bzw. Bearbeiten von Zement, Ton oder Stein
DBearbeiten von Stein oder steinähnlichen Werkstoffen
5Feinbearbeitung von Edelsteinen, Juwelen, Kristallen, z.B. von Halbleiter-Werkstoff; Vorrichtungen hierfür
CPC
B28D 5/0064
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
28WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
DWORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
5Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
0058Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
0064Devices for the automatic drive or the program control of the machines
Anmelder
  • DEUTSCHE SOLAR GMBH [DE/DE]; Berthelsdorfer Strasse 113 D-09599 Freiberg, DE (AllExceptUS)
  • SCHWIRTLICH, Ingo [DE/DE]; DE (UsOnly)
  • WEBER, Klaus [DE/DE]; DE (UsOnly)
  • FRÖHLICH, Klaus-Jochen [DE/DE]; DE (UsOnly)
  • STEPHAN, Mareike [DE/DE]; DE (UsOnly)
  • PRIDÖHL, Eckhard [DE/DE]; DE (UsOnly)
Erfinder
  • SCHWIRTLICH, Ingo; DE
  • WEBER, Klaus; DE
  • FRÖHLICH, Klaus-Jochen; DE
  • STEPHAN, Mareike; DE
  • PRIDÖHL, Eckhard; DE
Vertreter
  • RAU, Albrecht; Rau, Schneck & Hübner Königstrasse 2 90402 Nürnberg, DE
Prioritätsdaten
198 59 291.422.12.1998DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) VERFAHREN ZUR KONTROLLE EINES SÄGEPROZESSES
(EN) METHOD FOR CONTROLLING A SAWING PROCESS
(FR) PROCEDE PERMETTANT DE COMMANDER UNE OPERATION DE SCIAGE
Zusammenfassung
(DE)
Verfahren zur Kontrolle eines Schneid- oder Sägeprozesses, insbesondere bei der Herstellung von Siliciumscheiben für Solarzellen, bei dem die akustische Emission beim Schneid- oder Sägevorgang gemessen und dieses Signal als Regelgröße verwendet wird. Die Messung der Emission erfolgt insbesondere in Frequenzbereichen über 100 kHz. Die Einflußnahme auf den Schneidprozeß erfolgt vorzugsweise über die Schnittgeschwindigkeit oder (bei Drahtsägen mit Slurry) den Slurrydurchfluß bzw. die Slurrytemperatur.Das erfindungsgemäße Verfahren kann in einer Vorrichtung ausgeführt werden, die akustische Sensoren (31, 32) enthält, welche mit einer Auswerte- und Regeleinheit (33-44) verbunden sind, welche ihrerseits über eine Steuerleitung mit der Schneid- oder Sägemaschine (45) verbunden ist.
(EN)
The invention relates to a method for controlling a cutting or sawing process, especially in the production of silicon dice for solar cells. According to this method, acoustic emissions are measured during the cutting or sawing operation and this signal is used as a control variable. The emissions are measured especially in frequency ranges above 100 kHz. The cutting process is preferably influenced through the cutting speed or (in the case of wire saws with slurry) through the slurry flow or the slurry temperature. The inventive method can be carried out in a device containing acoustic sensors (31, 32) which are connected to an evaluation and control unit (33-44), the latter being connected to the cutting or sawing machine (45) by a control line.
(FR)
L'invention concerne un procédé permettant de commander une opération de découpe ou de sciage, notamment lors de la fabrication de plaques de silicium destinées à des photopiles, qui consiste à mesurer l'émission acoustique durant ladite opération et à utiliser ledit signal comme variable commandée. La mesure de l'émission se fait notamment dans les plages de fréquence supérieures à 100 kHz. La régulation de l'opération de découpe se fait de préférence par l'intermédiaire soit de la vitesse de coupe, soit (dans le cas des scies à fil avec pâte) de l'écoulement ou de la température de la pâte. L'invention concerne également un dispositif permettant de mettre en oeuvre ledit procédé, qui renferme des détecteurs microphoniques (31, 32) reliés à une unité de traitement et de régulation (33-44), elle-même reliée à la machine à découper ou à scier (45) par un câble de commande.
Auch veröffentlicht als
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