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1. WO2000036178 - PLANETENSYSTEM-WERKSTÜCKTRÄGER UND VERFAHREN ZUR OBERFLÄCHENBEHANDLUNG VON WERKSTÜCKEN

Veröffentlichungsnummer WO/2000/036178
Veröffentlichungsdatum 22.06.2000
Internationales Aktenzeichen PCT/CH1999/000602
Internationales Anmeldedatum 15.12.1999
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen 22.05.2000
IPC
C23C 14/50 2006.01
CChemie; Hüttenwesen
23Beschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Chemische Oberflächenbehandlung; Diffusionsbehandlung von metallischen Werkstoffen; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, Aufstäuben, Ionenimplantation oder chemisches Abscheiden aus der Dampfphase; Inhibieren von Korrosion metallischer Werkstoffe oder von Verkrustung allgemein
CBeschichten metallischer Werkstoffe; Beschichten von Werkstoffen mit metallischen Stoffen; Oberflächenbehandlung metallischer Werkstoffe durch Diffusion in die Oberfläche, durch chemische Umwandlung oder Substitution; Beschichten allgemein durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben, durch Ionenimplantation oder durch chemisches Abscheiden aus der Dampfphase
14Beschichten durch Vakuumbedampfen, durch Aufstäuben oder durch Ionenimplantation des Beschichtungsmaterials
22gekennzeichnet durch das Beschichtungsverfahren
50Substrathalter
CPC
C23C 14/505
CCHEMISTRY; METALLURGY
23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
14Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
22characterised by the process of coating
50Substrate holders
505for rotation of the substrates
Anmelder
  • UNAXIS BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT [LI/LI]; FL-9496 Balzers, LI (AllExceptUS)
  • ZAECH, Martin [CH/LI]; LI (UsOnly)
  • KUNZ, Anton [DE/LI]; LI (UsOnly)
Erfinder
  • ZAECH, Martin; LI
  • KUNZ, Anton; LI
Vertreter
  • TROESCH SCHEIDEGGER WERNER AG; Siewerdtstrasse 95 CH-8050 Zürich, CH
Prioritätsdaten
2477/9815.12.1998CH
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) PLANETENSYSTEM-WERKSTÜCKTRÄGER UND VERFAHREN ZUR OBERFLÄCHENBEHANDLUNG VON WERKSTÜCKEN
(EN) PLANETARY SYSTEM WORKPIECE SUPPORT AND METHOD FOR SURFACE TREATMENT OF WORKPIECES
(FR) PORTE-PIECES A SYSTEME PLANETAIRE ET PROCEDE DE TRAITEMENT DE SURFACE DE PIECES
Zusammenfassung
(DE)
In einer Vakuumbehandlungsanlage mit Planetensystem-Werkstückträger werden Werkstückträger einerseits um eine Sonnensystemachse (7) getrieben bewegt, weiter um eine Planetenachse (11) und drittens um eine Mondachse (19). Die Antriebsverbindung über Sonnensystem, Planetensystem, schliesslich zum Mondsystem ist im Betrieb ununterbrochen.
(EN)
Workpiece supports are driven and displaced around a sun system axis (7), a planetary axis (11) and a moon axis (19) in a vacuum processing plant that is provided with planetary system workpiece supports. The drive link via the sun system, planetary system and moon system is interrupted during operation.
(FR)
Selon l'invention, dans une installation de traitement sous vide pourvue d'un porte-pièces à système planétaire, les pièces sont premièrement entraînées autour d'un axe de système solaire (7), deuxièmement autour d'un axe planétaire (11) et troisièmement autour d'un axe lunaire (19). La relation d'entraînement entre le système solaire, le système planétaire et enfin le système lunaire est interrompue pendant le fonctionnement.
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten