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1. WO2000033047 - DRUCKSENSOR

Veröffentlichungsnummer WO/2000/033047
Veröffentlichungsdatum 08.06.2000
Internationales Aktenzeichen PCT/EP1999/008834
Internationales Anmeldedatum 17.11.1999
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen 23.06.2000
IPC
G01L 9/00 2006.01
GPhysik
01Messen; Prüfen
LMessen von Kraft, mechanischer Spannung, Drehmoment, Arbeit, mechanischer Leistung, mechanischem Wirkungsgrad oder des Drucks von Fluiden
9Messen des stationären oder quasi-stationären Druckes eines Fluids oder eines fließfähigen festen Stoffes durch elektrische oder magnetische, druckempfindliche Elemente; Übertragen oder Anzeigen der Verschiebung druckempfindlicher Elemente, verwendet zum Messen des stationären oder quasi-stationären Druckes eines Fluids oder eines fließfähigen festen Stoffes durch elektrische oder magnetische Einrichtungen
CPC
G01L 19/0038
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
19Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
0007Fluidic connecting means
0038being part of the housing
G01L 19/147
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
19Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
14Housings
147Details about the mounting of the sensor to support or covering means
G01L 19/148
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
19Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
14Housings
148Details about the circuit board integration, e.g. integrated with the diaphragm surface or encapsulation
Anmelder
  • IMPELLA CARDIOTECHNIK AG [DE/DE]; Pauwelsstrasse 19 D-52074 Aachen, DE (AllExceptUS)
  • SIESS, Thorsten [DE/DE]; DE (UsOnly)
  • NIX, Christoph [DE/DE]; DE (UsOnly)
Erfinder
  • SIESS, Thorsten; DE
  • NIX, Christoph; DE
Vertreter
  • SELTING, Günther ; Postfach 10 22 41 D-50462 Köln, DE
Prioritätsdaten
298 21 563.202.12.1998DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) DRUCKSENSOR
(EN) PRESSURE SENSOR
(FR) DETECTEUR DE PRESSION
Zusammenfassung
(DE)
Der Drucksensor besteht aus einem Chip (11), der auf einer Trägerwand (10) befestigt ist. Der Chip (11) weist eine aus Leiterbahnen bestehende Widerstandsanordnung auf, die an der der Trägerwand (10) zugewandten unteren Seite (13) eines Substrats (12) angeordnet ist. Die Widerstandsanordnung befindet sich auf einer dünnen Membran (18), hinter der sich eine Ausnehmung (19) befindet. Der Chip (11) ist mit einer elastischen Zwischenschicht (26) auf der Trägerwand (10) befestigt. Die elektrischen Komponenten des Chips sind zwischen dem Substrat (12) und der Trägerwand (10) geschützt untergebracht. Durch die Erfindung wird eine äußerst flache Sensoreinrichtung ohne zusätzliches Sensorgehäuse realisiert, die sogar geeignet ist, in elektrisch leitfähigen Medien Drücke zu messen.
(EN)
The invention relates to a pressure sensor consisting of a chip (11) which is mounted on a support wall (10) and which is provided with a resistance unit consisting of strip conductors and being arranged at the lower side (13) of a substrate (12). Said lower side faces the support wall (10). The resistance unit is located on a thin membrane (18). A recess (19) is located behind said membrane. The chip (11) is fixed on the support wall (10) by means of an elastic intermediate layer (26). The electrical components of the chip are protectively arranged between the substrate (12) and the support wall (10). The invention provides for an extremely flat sensor unit without additional sensor housing. Said sensor unit can even be used for measuring pressures in electrically conductive mediums.
(FR)
L'invention concerne un détecteur de pression comprenant une puce (11) fixée sur une paroi de support (10). Cette puce (11) présente un ensemble résistance constitué de tracés conducteurs et placé sur le côté inférieur (13), orienté vers la paroi de support (10), d'un substrat (12). Cet ensemble résistance se trouve sur une membrane mince (18) derrière laquelle se trouve un évidement (19). Cette puce (11) est fixée au moyen d'une couche intermédiaire élastique (26) sur la paroi de support (10). Les composants électriques de la puce sont logés de manière à être protégés entre le substrat (12) et la paroi de support (10). L'invention permet de réaliser un dispositif détecteur extrêmement plat sans faire appel à un boîtier de détecteur supplémentaire, ledit dispositif pouvant même s'utiliser pour mesurer des pressions dans des milieux électroconducteurs.
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten