WIPO logo
Mobil | Englisch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Suche in nationalen und internationalen Patentsammlungen
World Intellectual Property Organization
Suche
 
Durchsuchen
 
Übersetzen
 
Optionen
 
Aktuelles
 
Einloggen
 
Hilfe
 
Maschinelle Übersetzungsfunktion
1. (WO1999064815) VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG DES ABSTANDES P EINER KANTE EINES STRUKTURELEMENTES AUF EINEM SUBSTRAT
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/1999/064815    Internationale Anmeldenummer    PCT/DE1999/001106
Veröffentlichungsdatum: 16.12.1999 Internationales Anmeldedatum: 14.04.1999
IPC:
G01B 11/00 (2006.01), G01B 11/02 (2006.01)
Anmelder: LEICA MICROSYSTEMS WETZLAR GMBH [DE/DE]; Postfach 20 40 D-35530 Wetzlar (DE)
Erfinder: RINN, Klaus; (DE)
Prioritätsdaten:
198 25 829.1 10.06.1998 DE
Titel (DE) VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG DES ABSTANDES P EINER KANTE EINES STRUKTURELEMENTES AUF EINEM SUBSTRAT
(EN) METHOD FOR DETERMINING THE DISTANCE P OF AN EDGE OF A STRUCTURAL ELEMENT ON A SUBSTRATE
(FR) PROCEDE POUR DETERMINER LA DISTANCE P D'UNE ARETE D'UN ELEMENT STRUCTURAL SUR UN SUBSTRAT
Zusammenfassung: front page image
(DE)Verfahren zur Bestimmung des Abstandes P einer Kante eines zu den Koordinatenachsen (x, y) eines Substrats nicht-orthogonalen Strukturelementes (16). Das Strukturelement (16) wird auf ein Detektorarray (13) einer CCD-Kamera abgebildet, das einen Bezugspunkt (14) aufweist. Mit Hilfe eines unter einem Winkel $g(U) zum Koordinatensystem gedrehten Meßfensters (17) wird der Abstand P¿IPC? einer Kante des Strukturelementes (16) relativ zum Bezugspunkt (14) bestimmt. Der Abstand L des Bezugspunktes (14) relativ zum Ursprung des Koordinatensystems wird über den Winkel $g(U) und die aktuellen Meßtischkoordinaten x, y bestimmt, so daß der Abstand P angegeben wird durch P = P¿IPC? + L, wobei L = x•cos $g(U) y•sin $g(U) ist.
(EN)The invention relates to a method for determining the distance P of an edge of a structural element (16) which is non-orthogonal in relation to the coordinate axes (x, y) of a substrate. The structural element (16) is represented on a detector array (13), having a reference point (14), of a charge-coupled device camera. By means of a measurement window (17) rotated at an angle $g(U) to the coordinate system, the distance P¿IPC? of an edge of the structural element (16) relative to the reference point (14) is determined. The distance L of the reference point (14) to the origin of the coordinate system is determined via the angle $g(U) and the current measuring table coordinates (x, y) so that the distance P is obtained by P = P¿IPC? + L, where L = x•cos $g(U) y•sin $g(U).
(FR)L'invention concerne un procédé pour déterminer la distance P d'une arête d'un élément structural (16) non perpendiculaire aux axes de coordonnées (x, y) d'un substrat. L'élément structural (16) est représenté sur un ensemble de détecteurs (13) d'une caméra à couplage de charge, qui présente un point de référence (14). La distance P¿IPC? d'une arête de l'élément structural (16) par rapport au point de référence (14) est déterminée au moyen d'une fenêtre de mesure (17) tournée d'un angle $g(U) par rapport au système de coordonnées. La distance L du point de référence (14) par rapport à l'origine du système de coordonnées est déterminée par l'intermédiaire de l'angle $g(U) et des coordonnées actuelles (x, y) de la table de mesure, de sorte que la distance P est donnée par la relation P = P¿IPC? + L, L étant égal à x•cos $g(U) y•sin $g(U).
Designierte Staaten: JP, KR.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)