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1. (WO1999036944) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM TROCKNEN EINES GEGENSTANDES
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/1999/036944    Internationale Veröffentlichungsnummer:    PCT/EP1998/008468
Veröffentlichungsdatum: 22.07.1999 Internationales Anmeldedatum: 28.12.1998
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen:    28.07.1999    
IPC:
F26B 1/00 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01), H01L 21/306 (2006.01)
Anmelder: STEAG MICROTECH GMBH [DE/DE]; Carl-Benz-Strasse 10, D-72124 Pliezhausen (DE) (For All Designated States Except US).
BÖTTINGER, Volker [DE/DE]; (DE) (For US Only).
NÄGELE, Eberhard [DE/DE]; (DE) (For US Only).
SCHÜLE, Herbert [DE/DE]; (DE) (For US Only).
STORZ, Michael [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: BÖTTINGER, Volker; (DE).
NÄGELE, Eberhard; (DE).
SCHÜLE, Herbert; (DE).
STORZ, Michael; (DE)
Allgemeiner
Vertreter:
STEAG MICROTECH GMBH; c/o STEAG AG, Zentralbereich Recht und Patente, D-45117 Essen (DE)
Prioritätsdaten:
198 00 949.6 13.01.1998 DE
Titel (DE) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM TROCKNEN EINES GEGENSTANDES
(EN) METHOD AND DEVICE FOR DRYING AN OBJECT
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF POUR SECHER UN OBJET
Zusammenfassung: front page image
(DE)Bei einem Verfahren und einer Vorrichtung zum Trocknen eines Gegenstandes wird die Trocknung dadurch verbessert, daß der Gegenstand mit einem Oberflächenladungen entfernenden Fluid in Kontakt gebracht wird.
(EN)The invention relates to a method and a device for drying an object. The aim of the invention is to dry said object more effectively. To this end, the object is brought into contact with a fluid which removes surface charges.
(FR)L'invention concerne un procédé et un dispositif pour sécher un objet. Pour permettre une amélioration du séchage, l'objet est mis en contact avec un fluide éliminant les charges superficielles.
Designierte Staaten: CN, JP, KR, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)