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1. (WO1999035477) MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/1999/035477    Internationale Veröffentlichungsnummer:    PCT/DE1998/003472
Veröffentlichungsdatum: 15.07.1999 Internationales Anmeldedatum: 26.11.1998
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen:    04.06.1999    
IPC:
B81B 7/00 (2006.01)
Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20, D-70442 Stuttgart (DE) (For All Designated States Except US).
MUENZEL, Horst [DE/DE]; (DE) (For US Only).
BAUMANN, Helmut [DE/DE]; (DE) (For US Only).
GRAF, Eckhard [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: MUENZEL, Horst; (DE).
BAUMANN, Helmut; (DE).
GRAF, Eckhard; (DE)
Prioritätsdaten:
198 00 574.1 09.01.1998 DE
Titel (DE) MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT
(EN) MICROMECHANICAL COMPONENT
(FR) COMPOSANT MICROMECANIQUE
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft ein Bauelement, mit wenigstens einer auf einer Silizium-Substrat strukturierten mikromechanischen Oberflächenstruktur und einem die wenigstens eine Oberflächenstruktur abdeckenden Kappenwafer. Es ist vorgesehen, daß der Kappenwafer (14) von einem Glaswafer (24) gebildet ist.
(EN)The invention relates to a component having at least one micromechanical surface structure structured on a silicon substrate and a capping wafer which covers the at least one surface structure. The invention provides for the capping wafer (14) to be embodied by a glass wafer (24).
(FR)L'invention concerne un composant comportant au moins une structure superficielle micromécanique structurée sur une substrat en silicium, ainsi qu'une plaquette à capuchon. Il est prévu que la plaquette à capuchon (14) soit constituée d'une plaquette de verre (24).
Designierte Staaten: JP, KR, US.
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)