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1. (WO1999034455) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG PIEZOELEKTRISCHER AKTOREN UND PIEZOELEKTRISCHER AKTOR
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/1999/034455    Internationale Veröffentlichungsnummer:    PCT/DE1998/003174
Veröffentlichungsdatum: 08.07.1999 Internationales Anmeldedatum: 30.10.1998
IPC:
F02M 51/06 (2006.01), H01L 41/083 (2006.01), H01L 41/273 (2013.01), H01L 41/338 (2013.01), H01L 41/293 (2013.01), H01L 41/297 (2013.01)
Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 D-70442 Stuttgart (DE) (For All Designated States Except US).
SEIPLER, Dieter [DE/DE]; (DE) (For US Only).
RÖTHLINGSHÖFER, Walter [DE/DE]; (DE) (For US Only).
NISHIGAKI, Susumu [JP/JP]; (JP) (For US Only)
Erfinder: SEIPLER, Dieter; (DE).
RÖTHLINGSHÖFER, Walter; (DE).
NISHIGAKI, Susumu; (JP)
Prioritätsdaten:
197 57 877.2 24.12.1997 DE
Titel (DE) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG PIEZOELEKTRISCHER AKTOREN UND PIEZOELEKTRISCHER AKTOR
(EN) METHOD FOR THE PRODUCTION OF PIEZOELECTRIC ACTUATORS AND A PIEZOELECTRIC ACTUATOR
(FR) PROCEDE DE PRODUCTION D'ACTIONNEURS PIEZO-ELECTRIQUES, ET ACTIONNEUR PIEZO-ELECTRIQUE
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur parallelen Herstellung mehrerer piezoelektrischer Aktoren sowie einen entsprechenden piezoelektrischen Aktor. Erfindungsgemäss werden mehrere dünne Folien (1-3) aus einem ungebrannten, piezoelektrischen Keramikwerkstoff aufeinander gestapelt. Auf der Oberfläche (4) der Folien (1-3) ist für jeden Aktor eine Elektrode (5-10) vorgesehen. Zur Kontaktierung der Elektroden (5-10) sind erste (11-16) und zweite (17-22) Verbindungsöffnungen vorgesehen. Die Elektroden (5-10) weisen Aussparungen (23-28) auf, die entweder die ersten (11-16) oder die zweiten (17-22) Verbindungsöffnungen umgeben. In die Verbindungsöffnungen (11-22) wird eine elektrisch leitende Paste (53) eingebracht. Die gestapelte Anordnung wird gebrannt und in die einzelnen Aktoren zerlegt. Die Elektroden sind als Innenelektroden von der Umgebung isoliert.
(EN)The invention relates to a method for parallel production of several piezoelectric actuators and to a corresponding piezoelectric actuator. According to the invention, several thin sheets (1-3) made of unburned piezoelectric ceramic working material are stacked on top of each other. An electrode (5-10) is provided on the surface (4) of the sheets (1-3) for each actuator. First (11-16) and second (17-22) connection holes are provided for contacting the electrodes. The electrodes have recesses (23-28) which surround the first (11-16) or the second (17-22) connection holes. An electroconductive paste (53) is applied in the connection holes (11-22). The stacked array is burned and divided into individual actuators. The electrodes working as internal electrodes are isolated from the environment.
(FR)L'invention concerne un procédé permettant de produire en parallèle plusieurs actionneurs piézo-électriques, ainsi qu'un actionneur piézo-électrique correspondant. Selon l'invention, on empile plusieurs feuilles minces (1-3) constituées d'un matériau céramique piézo-électrique non cuit. Sur la surface (4) des feuilles (1-3) est placée, pour chaque actionneur, une électrode (5-10). Des premières (11-16) et des secondes (17-22) ouvertures de connexion sont ménagées pour la mise en contact des électrodes (5-10). Les électrodes (5-10) présentent des évidements (23, 28) qui entourent soit les premières ouvertures de connexion (11-16) soit les secondes (17-22). Dans les ouvertures de connexion (11-22) est introduite une pâte électroconductrice (53). La pile ainsi formée est cuite et divisée en actionneur individuel. Les électrodes sont, en tant qu'électrodes intérieures, isolées de l'environnement.
Designierte Staaten: CZ, JP, KR, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)