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1. (WO1999034414) HALTEVORRICHTUNG
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/1999/034414    Internationale Veröffentlichungsnummer:    PCT/CH1998/000505
Veröffentlichungsdatum: 08.07.1999 Internationales Anmeldedatum: 01.12.1998
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen:    02.06.1999    
IPC:
H01L 21/687 (2006.01)
Anmelder: UNAXIS BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT [LI/LI]; FL-9496 Balzers (LI) (For All Designated States Except US).
STAUSS, Peter [AT/AT]; (AT) (For US Only).
KERSCHBAUMER, Jörg [AT/AT]; (AT) (For US Only)
Erfinder: STAUSS, Peter; (AT).
KERSCHBAUMER, Jörg; (AT)
Vertreter: ZIMMERLI, WAGNER & PARTNER AG; Löwenstrasse 19, CH-8001 Zürich (CH)
Prioritätsdaten:
2951/97 23.12.1997 CH
Titel (DE) HALTEVORRICHTUNG
(EN) HOLDING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE RETENUE
Zusammenfassung: front page image
(DE)Eine Haltevorrichtung für eine Vakuumanlage weist einen zwischen einer unteren Endlage und einer oberen Endlage umstellbaren Hubtisch (1) auf, der bei seiner Hubbewegung eine Auflageplatte (5) an die Unterseite eines auf Stützen (16) eines Stützrings (14) abgelegten scheibenförmigen Werkstücks (17) heranführt und dann verschiebbar, sonst aber im wesentlichen spielfrei geführte parallele Zentrierstifte (12) mitnimmt, deren Positionen ein gleichseitiges Dreieck, in dessen Zentrum die Achse (2) der Auflageplatte (5) liegt, bilden. Die Zentrierstifte (12) nehmen ihrerseits den Stützring (14) mit dem Werkstück (17) mit. Später wird ein Klemmring (22) durch das Werkstück (17) abgehoben und hält dasselbe fest. Die Zentrierstifte (12) aus keramischem Material greifen in den Stützring (14) und den Klemmring (22) axial und begrenzt auch radial verschieblich, aber azimutal im wesentlichen spielfrei ein und zentrieren den Stützring (14) und den Klemmring (22) bezüglich der Achse (2) der Auflageplatte (5), welche Funktion durch unterschiedliche Wärmedehnungen der besagten Teile nicht beeinträchtigt wird.
(EN)The invention relates to a holding device for a vacuum system having an elevating platform (1) which can be displaced between a lower end position and an upper end position. During an elevating movement of the platform, said platform advances a supporting plate (5) to the underside of a discoid work piece (17) placed on supports (16) of a supporting ring (14), and then drives parallel centering pins (12) which are displaceable but, however, are guided in an essentially free of play manner. The positions of said pins form an equilateral triangle in which the axis (2) of the supporting plate (5) is located in the center. The centering pins (12) drive the supporting ring (14) with the work piece (17). Later, a clamping ring (22) is lifted through the work piece (17) and firmly holds the same. The centering pins (12) made of a ceramic material engage in the supporting ring (14) and the clamping ring (22) such that they can be displaced in an axial, limited and radial manner, however, in an azimuthal manner essentially free of play. The centering pins center the supporting ring (14) and the clamping ring (22) relative to the axis (2) of the supporting plate (5) whose function is not impaired by various thermal expansions of said parts.
(FR)L'invention concerne un dispositif de retenue pour une installation de vide, présentant un plateau élévateur (1) pouvant être déplacé entre une position finale inférieure et une position finale supérieure. Ce plateau, lors de son mouvement de levée, amène une plaque d'appui (5) contre la face inférieure d'une pièce circulaire (17) déposée sur des appuis (16) d'un anneau de soutien (14), puis entraîne des broches de centrage parallèles (12) guidées de façon coulissante, mais sinon essentiellement sans jeu, dont les positions forment un triangle équilatéral au centre duquel se trouve l'axe (2) de la plaque d'appui (5). Les broches de centrage (12) entraînent quant à elles l'anneau de soutien (14) avec la pièce (17). Ultérieurement, un anneau de serrage (22) est soulevé à travers la pièce (17) et retient cette dernière. Les broches de centrage (12) en matériau céramique viennent s'engager dans l'anneau de soutien (14) et dans l'anneau de serrage (22) de façon mobile dans le sens axial, et, de façon limitée, également dans le sens radial, mais essentiellement sans jeu dans la direction azimutale, et centrent l'anneau de soutien (14) et l'anneau de serrage (22) par rapport à l'axe (2) de la plaque d'appui (5), dont la fonction n'est pas affectée par différentes dilatations thermiques desdites pièces.
Designierte Staaten: JP, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)