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1. (WO1999034185) MEMBRANE FÜR EINE KAPAZITIVE VAKUUMMESSZELLE
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/1999/034185    Internationale Veröffentlichungsnummer:    PCT/CH1998/000516
Veröffentlichungsdatum: 08.07.1999 Internationales Anmeldedatum: 04.12.1998
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen:    19.07.1999    
IPC:
G01L 7/08 (2006.01), G01L 9/00 (2006.01)
Anmelder: UNAXIS TRADING AG [CH/CH]; c/o Balzers AG, CH-9477 Trübbach (CH) (For All Designated States Except US).
BJÖRKMAN, Per [FI/FI]; (FI) (For US Only)
Erfinder: BJÖRKMAN, Per; (FI)
Allgemeiner
Vertreter:
UNAXIS TRADING AG; c/o Balzers AG, CH-9477 Trübbach (CH)
Prioritätsdaten:
2954/97 23.12.1997 CH
Titel (DE) MEMBRANE FÜR EINE KAPAZITIVE VAKUUMMESSZELLE
(EN) MEMBRANE FOR A CAPACITIVE VACUUM MEASURING CELL
(FR) MEMBRANE POUR CELLULE DE MESURE SOUS VIDE A CAPACITE
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die Erfindung bezieht sich auf eine Keramikmembrane für eine kapazitive Vakuummesszelle, welche in hohem Masse korrosionsfest ist. Um sehr tiefe Drücke bei hoher Genauigkeit messen zu können, wird die Membrane sehr dünn mit einer Dicke von < 250 $g(m)m, insbesondere mit < 120 $g(m)m, aus einem folienförmigen Grünkörper hergestellt mit hoher Planität, indem die Membrane nach dem Sintern geglättet wird.
(EN)The invention relates to a ceramic membrane for a capacitive vacuum measuring cell which is very resistant to corrosion. In order to be able to measure very low pressures with a high precision, the membrane is made of a very thin foil-shaped green body having a thickness of 250$g(m)m, especially of 120$g(m)m, with a high planeness by flattening the membrane after the sintering process.
(FR)L'invention concerne une membrane céramique pour une cellule de mesure sous vide à capacité, ladite membrane étant très résistante à la corrosion. Afin de permettre la mesure de pressions très basses avec une grande précision, la membrane est réalisée de façon à être très mince, avec une épaisseur < 250 $g(m)m, de préférence < 120 $g(m)m, à partir d'un corps vert en forme de feuille. Cette membrane est très plane car elle est lissée après le frittage.
Designierte Staaten: CN, JP, KR, SG, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)