WIPO logo
Mobil | Englisch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Suche in nationalen und internationalen Patentsammlungen
World Intellectual Property Organization
Suche
 
Durchsuchen
 
Übersetzen
 
Optionen
 
Aktuelles
 
Einloggen
 
Hilfe
 
Maschinelle Übersetzungsfunktion
1. (WO1999013294) INTERFEROMETRISCHE MESSVORRICHTUNG ZUR FORMVERMESSUNG AN RAUHEN OBERFLÄCHEN
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/1999/013294    Internationale Anmeldenummer    PCT/DE1998/002564
Veröffentlichungsdatum: 18.03.1999 Internationales Anmeldedatum: 01.09.1998
IPC:
G01B 9/02 (2006.01), G01B 11/30 (2006.01)
Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 D-70442 Stuttgart (DE) (For All Designated States Except US).
DRABAREK, Pawel [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: DRABAREK, Pawel; (DE)
Prioritätsdaten:
197 38 900.7 05.09.1997 DE
Titel (DE) INTERFEROMETRISCHE MESSVORRICHTUNG ZUR FORMVERMESSUNG AN RAUHEN OBERFLÄCHEN
(EN) INTERFEROMETRIC MEASURING DEVICE FOR FORM MEASUREMENT ON ROUGH SURFACES
(FR) DISPOSITIF DE MESURE INTERFEROMETRIQUE POUR LE MESURAGE DE FORMES SUR DES SURFACES RUGUEUSES
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die Erfindung bezieht sich auf eine interferometrische Meßvorrichtung zur Formvermessung an rauhen Oberflächen eines Meßobjekts (7). Die Messung wird mittels einer kurzkohärenten Strahlung vorgenommen, wobei ein Referenzstrahl (4) in seinem Lichtweg bzw. seiner Laufzeit periodisch moduliert wird und mit einem von der Oberfläche des Meßobjekts (7) reflektierten Meßstrahl (18) zur Interferenz gebracht und die interferierte Strahlung hinsichtlich des Maximums des Interferenzkontrasts ausgewertet wird. Bei einfachem Aufbau wird eine hohe Meßgenauigkeit dadurch erzielt, daß die Meßvorrichtung eine Modulations-Interferometeranordnung (MI) aufweist, in der mittels akustooptischer Deflektoren (8, 9) der Lichtweg geändert wird und eine Kompensationseinrichtung (C1, C2) zur Korrektur der räumlichen Dekohärenz und Dispersion vorgesehen ist. In einer nachgeschalteten Demodulations-Interferometeranordnung (DI) wird der Meßstrahl (18) mit dem Referenzstrahl (4) interferiert und einem Photodetektor (11) zugeführt.
(EN)The invention relates to an interferometric measuring device for form measurement on rough surfaces of a measurement object (7). Measurement is carried out by means of short-coherent radiation, whereby the light path or duration of a reference beam (4) are periodically modulated and brought to interference with a measuring beam (18) reflected by the surface of the measurement object (7) and the interfered radiation is analysed for the maximum of the interference contrast. Although simple to construct the measuring device achieves high measuring accuracy because it comprises a modulation interferometer system (MI) in which the light path is altered by means of acousto-optic deflectors (8, 9) and a compensation device (C1, C2) for correcting spatial decoherence and dispersion. In a demodulation interferometer system (DI) positioned downstream the measuring beam (18) is interfered with the reference beam (4) and transmitted to a photodetector (11).
(FR)L'invention concerne un dispositif de mesure pour le mesurage de formes sur des surfaces rugueuses d'un objet (7) faisant l'objet de mesures. Les mesures sont réalisées au moyen d'un rayonnement de courte cohérence, le trajet optique ou le temps de propagation d'un faisceau de référence (4) étant périodiquement modulé et mis en interférence avec un faisceau de mesure (18) réfléchi par la surface de l'objet (7) faisant l'objet des mesures, et le rayonnement d'interférence étant soumis à une évaluation dont le but est de déterminer le maximum du contraste d'interférence. Tout en étant d'une construction simple, le dispositif de mesure présenté offre une haute précision de mesure grâce au fait qu'il comprend un système d'interféromètre à modulation (MI), dans lequel le trajet optique est modifié au moyen de déflecteurs acousto-optiques (8, 9), et un dispositif de compensation (C1, C2) servant à la correction de la décohérence et de la dispersion spatiales. Dans un système d'interféromètre à démodulation (DI), monté en aval, le faisceau de mesure (18) est mis en interférence avec le faisceau de référence (4) et conduit à un photo-détecteur (11).
Designierte Staaten: US.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)