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1. (WO1999010915) VORRICHTUNG ZUR ZWISCHENLAGERUNG VON WAFERN
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/1999/010915    Internationale Anmeldenummer    PCT/CH1998/000363
Veröffentlichungsdatum: 04.03.1999 Internationales Anmeldedatum: 24.08.1998
IPC:
H01L 21/677 (2006.01)
Anmelder: STÄUBLI AG PFÄFFIKON [CH/CH]; Poststrasse 5 CH-8808 Pfäffikon (CH) (AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BE, BF, BG, BJ, BR, BY, CA, CF, CG, CH, CI, CM, CN, CU, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GA, GB, GE, GH, GM, GN, GR, GW, HR, HU, ID, IE, IL, IS, IT, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MC, MD, MG, MK, ML, MN, MR, MW, MX, NE, NL, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, SN, SZ, TD, TG, TJ, TM, TR, TT, UA, UG, UZ, VN, YU, ZW only).
BALG, Christian [CH/CH]; (CH) (For US Only).
STRASSER, Bernhard [CH/CH]; (CH) (For US Only).
BLATTNER, Jakob [CH/CH]; (CH) (For US Only)
Erfinder: BALG, Christian; (CH).
STRASSER, Bernhard; (CH).
BLATTNER, Jakob; (CH)
Vertreter: R.A. EGLI & CO.; Horneggstrasse 4 Postfach CH-8034 Zürich (CH)
Prioritätsdaten:
97114683.2 25.08.1997 EP
Titel (DE) VORRICHTUNG ZUR ZWISCHENLAGERUNG VON WAFERN
(EN) DEVICE FOR INTERMEDIATE STORAGE OF WAFERS
(FR) PROCEDE POUR ENTREPOSER DES TRANCHES
Zusammenfassung: front page image
(DE)Für den Austausch von mit Wafern bestückten Pods (5) mit einer Wafer-Bearbeitungsanlage (1) werden erfindungsgemäss die manuell oder automatisch zugeführten Pods (5) von einem Entnahmebereich (4; 4', 4'') mittels einer Austauschvorrichtung (3) entweder zwischengelagert oder direkt einer Transferstation (2) zur Übergabe an die Bearbeitungsanlage (1) zugeführt. In der Austauschvorrichtung (3) werden die Pods (5) mittels Schwenkarmen (6) resp. Greifarm (10) auf Lagerplätze (8), Austauschplätze (7, 7') oder Transferplätze (9, 9') positioniert. Damit wird der Austausch der Pods (5) vom Bearbeitungszyklus getrennt, womit die Bearbeitungsanlage (1) optimal betrieben werden kann, ohne durch den Austauschablauf beeinflußt zu werden.
(EN)According to the invention, manually or automatically guided pods (5) are stored or directly guided to a transfer station (2) to be fed to the processing installation (1) from a removal area (4; 4', 4') by means of a replacement device (3) in order to exchange pods (5) fitted with wafers, using a wafer processing installation (1), wherein the pods (5) are placed in storage (8), exchange (7, 7') or transfer position (9, 9') by means of swivel (6) or gripper arms (10). The exchange of pods (5) is thus separated from the processing cycle, thereby enabling optimal operation of the processing installation (1), since it is not influenced by the exchange procedure.
(FR)Selon l'invention, pour remplacer des contenants (5) équipés de tranches, dans une installation de traitement de tranches (1), lesdits contenants (5) sont acheminés, soit en étant entreposés soit directement, d'une zone de prélèvement (4; 4'; 4') vers une station de transfert (2) pour être remis à l'installation de traitement, au moyen d'un dispositif de remplacement. Dans ce dispositif de remplacement (3), les contenants (5) sont positionnés sur des zones de stockage (8), de remplacement (7, 7') ou de transfert (9, 9'), au moyen de bras pivotants (6) ou de bras de préhension (10). Le remplacement des contenants (5) est ainsi séparé du cycle de traitement, ce qui permet de faire fonctionner l'installation de traitement (1) de façon optimale sans perturber le déroulement de l'opération de remplacement.
Designierte Staaten: AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, CA, CH, CN, CU, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, GB, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MD, MG, MK, MN, MW, MX, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, UA, UG, US, UZ, VN, YU, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (GH, GM, KE, LS, MW, SD, SZ, UG, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)