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1. (WO1999001586) ANORDNUNG ZUR ÜBERTRAGUNG VON STRUKTUREN
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/1999/001586    Internationale Anmeldenummer    PCT/DE1998/001834
Veröffentlichungsdatum: 14.01.1999 Internationales Anmeldedatum: 02.07.1998
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen:    03.02.1999    
IPC:
B82B 1/00 (2006.01), G03F 1/00 (2012.01), G03F 7/20 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01)
Anmelder: INFINEON TECHNOLOGIES AG [DE/DE]; St.-Martin-Strasse 53, D-81541 München (DE) (For All Designated States Except US).
RUF, Alexander [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: RUF, Alexander; (DE)
Allgemeiner
Vertreter:
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT; Postfach 22 16 34, D-80506 München (DE)
Prioritätsdaten:
197 28 662.3 04.07.1997 DE
Titel (DE) ANORDNUNG ZUR ÜBERTRAGUNG VON STRUKTUREN
(EN) DEVICE FOR TRANSFERRING STRUCTURES
(FR) DISPOSITIF PERMETTANT DE TRANSFERER DES STRUCTURES
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die vorliegende Erfindung betrifft eine Anordnung zur Übertragung von Strukturen auf eine zu strukturierende Schicht. Die erfindungsgemäße Anordnung ist dadurch gekennzeichnet, daß ein Basiselement (3) und zumindest eine von dem Basiselement (3) vorstehende strahlungsleitende Struktur (12) vorgesehen sind, die eine Strahlung zu einer von dem Basiselement (3) abgewandten Austrittsapertur (8) führt und die in ihrer Form der zu übertragenden Struktur angepaßt ist.
(EN)The present invention relates to a device for transferring structures onto a layer to be structured. The device provided for in the invention is characterized in that it comprises a base element (3) and at least one beam-guiding structure (12) projecting from said base element (3). Said structure guides a beam to an outlet opening (8) facing away from the base element (3) and has a shape which is adapted to fit the structure to be transferred.
(FR)L'invention concerne un dispositif permettant de transférer des structures sur une couche à structurer. Le dispositif est caractérisé par le fait qu'il comprend un élément de base (3) et au moins une structure (12) guident le faisceau, disposée sur l'élément de base (3), qui achemine un faisceau jusqu'à un orifice de sortie (8) opposé à l'élément de base (3) et dont la forme est adaptée à la structure à transférer.
Designierte Staaten: JP, KR, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)