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1. WO1998043058 - FOLIENMANOMETER

Veröffentlichungsnummer WO/1998/043058
Veröffentlichungsdatum 01.10.1998
Internationales Aktenzeichen PCT/EP1998/001621
Internationales Anmeldedatum 19.03.1998
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen 09.09.1998
IPC
G01L 11/00 2006.01
GSektion G Physik
01Messen; Prüfen
LMessen von Kraft, mechanischer Spannung, Drehmoment, Arbeit, mechanischer Leistung, mechanischem Wirkungsgrad oder des Drucks von Fluiden
11Messen des stationären oder quasi-stationären Druckes eines Fluids oder eines fließfähigen festen Stoffes durch Mittel, soweit sie in der Gruppe G01L7/ oder G01L9/212
CPC
G01L 21/14
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
21Vacuum gauges
10by measuring variations in the heat conductivity of the medium, the pressure of which is to be measured
14using thermocouples
Anmelder
  • MAX-PLANCK-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER WISSENSCHAFTEN E.V. [DE]/[DE] (AllExceptUS)
  • MAST, Karl-Friedrich [DE]/[DE] (UsOnly)
  • SCHRAMM, Gerold [DE]/[DE] (UsOnly)
  • MÜNCH, Martin [DE]/[DE] (UsOnly)
Erfinder
  • MAST, Karl-Friedrich
  • SCHRAMM, Gerold
  • MÜNCH, Martin
Vertreter
  • HERTZ, Oliver
Prioritätsdaten
197 11 874.721.03.1997DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) FOLIENMANOMETER
(EN) FOIL MANOMETER
(FR) MANOMETRE A FEUILLE
Zusammenfassung
(DE)
Eine Druckmeßvorrichtung, die als Wärmeleitungsmanometer betrieben wird, enthält einen Meßwiderstand (131), der schichtförmig auf einer freitragenden Trägerfolie angeordnet ist und in definiertem Wärmekontakt mit einem Gas steht, dessen Druck gemessen werden soll. Der Wärmekontakt mit dem Gas erfolgt über die Trägerfolie (11), eine Wärmeleitschicht (123) und wahlweise über eine zusätzliche Absorberschicht (124). Der gasdruckabhängige Widerstandswert des Meßwiderstandes (131) wird mit einer Brückenschaltung erfaßt, in der jedem Meßwiderstand (131) ein Referenzwiderstand (136) zugeordnet ist, dessen Widerstandswert selbst druckabhängig oder druckunabhängig ist.
(EN)
The invention relates to a pressure measuring device which is used as a heat conductivity manometer and contains a precision resistor (131) which is arranged in layers on a self-supporting carrier film and is in defined thermal contact with a gas, the pressure of which is to be measured. The thermal contact with the gas occurs via the carrier film (11), a heat conducting layer (123) and optionally via an additional absorber layer (124). The gas pressure-dependant resistance value of the precision resistor (131) is detected with a bridge circuit in which each precision resistor is assigned a reference resistor (16), the resistance value of which is itself either dependent on pressure or not.
(FR)
L'invention concerne un dispositif de mesure de pression utilisé comme manomètre à conduction thermique qui contient une résistance de mesure (131) disposée par couches sur une feuille de support saillante et en contact thermique défini avec un gaz dont la pression doit être mesurée. Le contact thermique avec le gaz se fait par l'intermédiaire de la feuille de support (11), d'une couche de conduction thermique (123) et, en option, par l'intermédiaire d'une couche absorbante supplémentaire (124). La valeur de résistance dépendant de la pression du gaz de la résistance de mesure (131) est détectée avec un circuit en pont dans lequel est affectée à chaque résistance de mesure (131) une résistance de référence (136) dont la valeur de résistance elle-même dépend ou non de la pression.
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten