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1. (WO1998021734) VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES MIKROMECHANISCHEN RELAIS
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/1998/021734    Internationale Veröffentlichungsnummer:    PCT/EP1997/006174
Veröffentlichungsdatum: 22.05.1998 Internationales Anmeldedatum: 06.11.1997
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen:    25.05.1998    
IPC:
B81B 3/00 (2006.01), H01H 59/00 (2006.01)
Anmelder: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. [DE/DE]; Leonrodstrasse 54, D-80636 München (DE) (For All Designated States Except US).
SCHIELE, Ignaz [DE/DE]; (DE) (For US Only).
KOZLOWSKI, Frank [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: SCHIELE, Ignaz; (DE).
KOZLOWSKI, Frank; (DE)
Vertreter: SCHOPPE, Fritz; Postfach 71 08 67, D-81458 München (DE)
Prioritätsdaten:
196 46 667.9 12.11.1996 DE
197 30 715.9 17.07.1997 DE
Titel (DE) VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES MIKROMECHANISCHEN RELAIS
(EN) METHOD FOR MANUFACTURING A MICROMECHANICAL RELAY
(FR) PROCEDE DE PRODUCTION D'UN RELAIS MICROMECANIQUE
Zusammenfassung: front page image
(DE)Ein Verfahren zum Herstellen eines mikromechanischen Relais umfasst das Bereitstellen eines Substrats (10) mit einer leitfähigen festen Elektrode (18) in dem Substrat (10) oder auf demselben. Eine Opferschicht (26) und eine leitfähige Schicht (32) werden aufgebracht und die leitfähige Schicht (32) wird zur Festlegung einer Balkenstruktur als bewegliche Gegenelektrode (39) gegenüber der festen Elektrode (18) strukturiert. Ein Kontaktbereich (40) wird aufgebracht, wobei sich die leitfähige Schicht (32) zwischen einem Verankerungsbereich (54) und dem Kontaktbereich (40) erstreckt und gegenüber dem Kontaktbereich (40) isoliert ist. Nachfolgend wird die Opferschicht (26) mittels Ätzen entfernt, um die Balkenstruktur mit einem beweglichen Bereich und einem an dem Verankerungsbereich (54) an dem Substrat (10) befestigten Bereich zu erzeugen. Die Balkenstruktur wird derart festgelegt, dass Ätzzugangsöffnungen in derselben derart strukturiert sind, dass die flächenmässige Ausdehnung der Ätzzugangsöffnungen (66) zum Ätzen der Ofperschicht (26) von dem an dem Substrat (10) befestigten Bereich der Balkenstruktur (54) zu dem beweglichen Bereich der Balkenstruktur hin zunimmt.
(EN)The invention relates to a method for manufacturing a micromechanical relay comprising the preparation of a substrate (10) having a fixed conductive electrode (18) in the substrate (10) or on the same. A sacrificial layer (26) and a conductive layer (32) are applied, the conductive layer (32) being structured as a movable counter electrode (39) in relation to the fixed electrode (18) in order to fix a lug structure. A contact segment (40) is applied, wherein the conductive layer (32) extends between an anchoring area (54) and a contact area (40) and is isolated with respect to the contact area. Subsequently, the sacrificial layer (26) is removed by etching to produce a movable segment and a segment fixed to the substrate (10) in the anchoring area (54) in the lug structure, which is fixed in such a way, that the etching access openings in the same are structured in such a way that the surface expansion of the etching access openings (66) to etch the sacrificial layer (26) increases from the area of the lug structure (54) fixed to the substrate (10) to the movable area of the lug structure.
(FR)L'invention concerne un procédé de production d'un relais micromécanique comprenant la préparation d'un substrat (10) par fixation d'une électrode (18) fixe et conductrice dans ou sur ledit substrat (10). On applique une couche sacrificielle (26) et une couche conductrice (32), laquelle est structurée sous forme de contre-électrode (39) mobile par rapport à l'électrode fixe (18) pour la fixation d'une structure à lamelles. Une zone de contact (40) est appliquée, la couche conductrice (32) s'étendant entre cette zone de contact (40) et une zone d'ancrage (54) et étant isolée de la zone de contact (40). Ensuite, la couche sacrificielle (26) est éliminée par attaque pour produire la structure à lamelles avec une zone mobile et une zone fixée à la zone d'ancrage (54) du substrat (10). La structure à lamelles est fixée de manière que ses orifices permettant l'attaque soient structurés de telle façon que l'étendue surfacique desdits orifices (66) destinés à l'attaque de la couche sacrificielle (26) augmente depuis la zone de la structure (54) fixée au substrat (10) jusqu'à la zone mobile de la structure.
Designierte Staaten: US.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)