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1. (WO1998008145) BÄDER ZUR ERZEUGUNG VON MIKROSTRUKTUREN
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/1998/008145    Internationale Anmeldenummer    PCT/EP1997/004589
Veröffentlichungsdatum: 26.02.1998 Internationales Anmeldedatum: 22.08.1997
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen:    28.02.1998    
IPC:
C23F 1/14 (2006.01), G03F 7/00 (2006.01)
Anmelder: ERMANTRAUT, Eugen [DE/DE]; (DE).
WOHLFART, Klaus [DE/DE]; (DE).
KÖHLER, Johann, Michael [DE/DE]; (DE) (For US Only).
SCHULZ, Torsten [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: ERMANTRAUT, Eugen; (DE).
WOHLFART, Klaus; (DE).
KÖHLER, Johann, Michael; (DE).
SCHULZ, Torsten; (DE)
Vertreter: PFEIFFER, Rolf-Gerd; Patentanwaltsbüro Pfeiffer & Partner, Helmholtzweg 4, D-07743 Jena (DE)
Prioritätsdaten:
196 34 122.1 23.08.1996 DE
Titel (DE) BÄDER ZUR ERZEUGUNG VON MIKROSTRUKTUREN
(EN) BATHS FOR PRODUCING MICROSTRUCTURES
(FR) BAINS POUR PRODUIRE DES MICROSTRUCTURES
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft neuartige Bäder zur Erzeugung von Mikrostrukturen, die in vielfältigsten Anwendungsgebieten der Mikrosystemtechnik und der Mikrostrukturierung benötigt werden. Die Aufgabe, neuartige Bäder zur Erzeugung von Mikrostrukturen anzugeben, die eine kostengünstigere und vor allem bei ihrer Entsorgung eine umweltgerechtere Lösung als bekannte Methoden zur Erzeugung von Mikrostrukturen darstellen, wird dadurch gelöst, daß den jeweiligen Bädern wenigstens ein biogener Katalysator (insbesondere ein Enzym), der auf eine vorgebbare Dünnschicht einwirkt, zugegeben ist.
(EN)The invention concerns new kinds of baths for producing microstructures, which are necessary in the most varied areas of application of microsystem technique and microstructuring. The invention aims to supply new kinds of baths for producing microstructures which provide a more economical and, most of all, a cleaner solution to the disposal problem than have all previously known methods for producing microstructures. This aim is achieved in that at least one biogenic catalyst (in particular, an enzyme) is added to the particular baths which act upon a predetermined thin film.
(FR)L'invention concerne de nouveaux bains pour produire des microstructures utilisées dans les domaines d'application les plus variés de la technique des microsystèmes et de la microstructuration. L'invention vise à créer de nouveaux types de bains pour produire des microstructures, pouvant être obtenus selon des procédés moins onéreux et dont l'élimination respecte mieux l'environnement par rapport aux procédés connus de production de microstructures. A cet effet, on ajoute à chaque bain au moins un catalyseur biogène (notamment un enzyme) qui agit sur un film mince pouvant être prédéterminé.
Designierte Staaten: JP, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)