WIPO logo
Mobil | Englisch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Suche in nationalen und internationalen Patentsammlungen
World Intellectual Property Organization
Suche
 
Durchsuchen
 
Übersetzen
 
Optionen
 
Aktuelles
 
Einloggen
 
Hilfe
 
Maschinelle Übersetzungsfunktion
1. (WO1998007666) ACHROMATISCHES LINSENSYSTEM FÜR ULTRAVIOLETTSTRAHLEN MIT GERMANIUMDIOXID-GLAS
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/1998/007666    Internationale Anmeldenummer    PCT/EP1997/004468
Veröffentlichungsdatum: 26.02.1998 Internationales Anmeldedatum: 15.08.1997
IPC:
C03C 3/253 (2006.01)
Anmelder: CARL ZEISS [DE/DE]; D-89518 Heidenheim (DE) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE only).
CARL-ZEISS-STIFTUNG handelnd als CARL ZEISS [DE/DE]; D-89518 Heidenheim (DE) (GB, JP only).
SCHUSTER, Karl, Heinz [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: SCHUSTER, Karl, Heinz; (DE)
Vertreter: MÜLLER-RISSMANN, Werner; Carl Zeiss, Patentabteilung, D-73446 Oberkochen (DE)
Prioritätsdaten:
196 33 128.5 16.08.1996 DE
Titel (DE) ACHROMATISCHES LINSENSYSTEM FÜR ULTRAVIOLETTSTRAHLEN MIT GERMANIUMDIOXID-GLAS
(EN) ACHROMATIC LENS SYSTEM FOR ULTRAVIOLET RADIATION WITH GERMANIUM DIOXIDE GLASS
(FR) SYSTEME DE LENTILLES ACHROMATIQUE POUR RAYONS ULTRAVIOLETS COMPORTANT DU VERRE AU DIOXYDE DE GERMANIUM
Zusammenfassung: front page image
(DE)Ein Achromat, besonders für Anwendungen im DUV unter 350 nm Wellenlänge und da besonders für Projektionsbelichtungsanlangen für die Mikrolithographie, kombiniert Quarzglas mit Linsen aus Germaniumdioxid-Glas (GeO¿2?). Die Herstellung von GeO¿2?-Glas durch CVD auf amorpher Basisplatte aus dem gleichen Material wird beschrieben.
(EN)An achromatic product, in particular for uses in the DUV range below 350 nm wavelength, and therefore in particular for projection exposure systems for microlithography, combines quartz glass with lenses made of germanium dioxide glass (GeO¿2?). The production of GeO¿2? glass by CVD on an amorphous base plate made of the same material is disclosed.
(FR)L'invention concerne un achromate, notamment pour des applications dans l'ultraviolet profond à des longueurs d'onde inférieures à 350 nm et en particulier pour des systèmes d'exposition par projection destinés à la microlithographie, combinant du verre quartzeux avec des lentilles en verre au dioxyde de germanium (GeO¿2?). L'invention concerne également la fabrication de verre en dioxyde de germanium par dépôt chimique en phase vapeur sur une plaque de base amorphe du même matériau.
Designierte Staaten: JP, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)