Suche in nationalen und internationalen Patentsammlungen

1. (WO1997049840) STOFFVERBUND UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG

Pub. No.:    WO/1997/049840    International Application No.:    PCT/EP1997/003292
Publication Date: 31.12.1997 International Filing Date: 24.06.1997
IPC: C23C 14/02
C23C 14/06
Applicants: FORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH
HOLLECK, Helmut
STÜBER, Michael
Inventors: HOLLECK, Helmut
STÜBER, Michael
Title: STOFFVERBUND UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG
Abstract:
Die Erfindung betrifft einen Stoffverbund mit einem Substrat und einer im wesentlichen aus reinem, sp?2 und sp3¿ hybridisiertem Kohlenstoff bestehenden Schicht, die eine erste, dem Substrat gegenüberliegende und eine zweite, freie Fläche aufweist, sowie ein Verfahren zu dessen Herstellung. Bei einem solchen Stoffverbund soll die Haftung auf dem Substrat verbessert und bei hoher Oberflächenhärte die inneren Spannungen minimiert werden. Dies wird erfindungsgemäß dadurch erreicht, daß die Schicht eine Gradientenschicht ist, bei der der Anteil des sp3 hybridisierten Kohlenstoffs in Richtung auf die zweite, freie Fläche ansteigt. Beim Verfahren zur Herstellung des Stoffverbunds wird ein Substrat mit einem PVD-Verfahren in der Weise mit einer Schicht aus Kohlenstoff versehen, daß während der Herstellung der Impulseintrag in die Schicht mit steigender Schichtdicke entweder kontinuierlich oder diskontinuierlich gesteigert wird.