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1. (WO1997027460) MINIATURISIERTES OPTISCHES DÜNNSCHICHTWELLENLEITERSPEKTROMETER
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/1997/027460    Internationale Anmeldenummer    PCT/EP1997/000326
Veröffentlichungsdatum: 31.07.1997 Internationales Anmeldedatum: 24.01.1997
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen:    26.07.1997    
IPC:
G01J 3/18 (2006.01), G02B 6/12 (2006.01), G02B 6/34 (2006.01)
Anmelder: MÜLLER, Jörg [DE/DE]; (DE).
SANDER, Dietmar [DE/DE]; (DE)
Erfinder: MÜLLER, Jörg; (DE).
SANDER, Dietmar; (DE)
Vertreter: SCHAEFER, Konrad; Schaefer & Emmel, Gehölzweg 20, D-22043 Hamburg (DE)
Prioritätsdaten:
196 02 584.2 25.01.1996 DE
Titel (DE) MINIATURISIERTES OPTISCHES DÜNNSCHICHTWELLENLEITERSPEKTROMETER
(EN) MINIATURIZED OPTICAL THIN-FILM WAVEGUIDE SPECTROMETER
(FR) SPECTROMETRE OPTIQUE MINIATURISE A GUIDE D'ONDES A COUCHE MINCE
Zusammenfassung: front page image
(DE)Ein Spektrometer mit einer dünnen Lichtleiterschicht (4) in einem in Dünnschichttechnologie hergestellten Schichtaufbau (3) zwischen zwei Deckschichten (5, 6) niedrigeren Brechungsindexes, mit einer ein Gitter (a, b) aufweisenden Endfläche der Lichtleiterschicht, die durch die Lichtleiterschicht hindurch mit zu analysierendem Licht bestrahlt wird, und mit einer Projektionseinrichtung zur Abbildung des Spektrums auf einen Zeilensensor, wobei das Gitter als Stufengitter mit Stufenkanten senkrecht zur Schichtebene durch Abtragen in Maskentechnik von in Schichtrichtung überstehenden Bereichen des Schichtaufbaus ausgebildet ist, ist dadurch gekennzeichnet, dass das Gitter mit transparenten Oberflächen (a, b) ausgebildet ist.
(EN)The invention concerns a spectrometer which comprises: a thin light guide layer (4) in a layered structure (3) produced in thin-film technology between two cover layers (5, 6) with a lower refractive index; a light guide layer end face which has a grid (a, b) and is irradiated through the light guide layer with light to be analyzed; and a projection arrangement for displaying the spectrum on a line-scanning sensor, the grid being formed as a stepped grid with step edges perpendicular to the layer plane by removing regions of the layered structure which project in the layer direction by means of the mask technique. The spectrometer is characterized in that the grid is formed with transparent surfaces (a, b).
(FR)L'invention concerne un spectromètre comportant: une couche guide de lumière mince (4) dans une structure stratifiée (3) réalisée en couche mince entre deux couches de revêtement (5, 6) d'un indice de réfraction plus faible; une face terminale de la couche guide de lumière, laquelle présente un réseau (a, b,) et est irradiée, par l'intermédiaire de la couche guide de lumière, avec de la lumière à analyser; et un système de projection permettant d'afficher le spectre sur un capteur à balayage linéaire, le réseau étant configuré comme un réseau à échelons de Michelson avec des arêtes étagées perpendiculaires au plan de couche, par ablation, selon une technique de masquage, de régions de la structure stratifiée saillantes dans le sens des couches. Le spectromètre est caractérisé en ce que le réseau est conformé avec des surfaces transparentes (a, b).
Designierte Staaten: JP, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)