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1. (WO1997027452) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM VERMESSEN VON ZWEI EINANDER GEGENÜBERLIEGENDEN OBERFLÄCHEN EINES KÖRPERS
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/1997/027452    Internationale Anmeldenummer    PCT/EP1996/003381
Veröffentlichungsdatum: 31.07.1997 Internationales Anmeldedatum: 01.08.1996
IPC:
G01B 11/30 (2006.01), G01N 21/95 (2006.01)
Anmelder: NANOPRO LUFTLAGER- PRODUKTIONS- UND MESSTECHNIK GMBH [DE/DE]; Meßtechnik GmbH, Bötzinger Strasse 29a, D-79111 Freiburg (DE) (For All Designated States Except US).
MÜLLER, Dieter [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: MÜLLER, Dieter; (DE)
Vertreter: PRÜFER, Lutz, H.; Harthauser Strasse 25d, D-81545 München (DE)
Prioritätsdaten:
196 02 445.5 24.01.1996 DE
Titel (DE) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM VERMESSEN VON ZWEI EINANDER GEGENÜBERLIEGENDEN OBERFLÄCHEN EINES KÖRPERS
(EN) DEVICE AND PROCESS FOR MEASURING TWO OPPOSITE SURFACES OF A BODY
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF POUR MESURER DEUX SURFACES OPPOSEES D'UN CORPS
Zusammenfassung: front page image
(DE)Es wird eine Vorrichtung und ein Verfahren bereitgestellt, mit der bzw. mit dem zwei einander gegenüberliegende ebene Oberflächen eines Körpers gleichzeitig mit dem Licht aus einer Strahlungsquelle interferometrisch vermessen werden können. Aus einem über eine Strahlungsquelle (1) erzeugten parallelen Lichtstrahlbündel (P) werden über einen Strahlteiler (8) in Form eines Beugungsgitters Teilstrahlenbündel (A, B) mit positiven und negativen Beugungswinkeln erzeugt, welche jeweils auf die zu vermessenden Oberflächen (90, 91) des Körpers (9) auftreffen und dort reflektiert werden. Die reflektierten Teilstrahlenbündel (A, B) werden mit dem durchgehenden Teilstrahlbündel (P) der nullten Beugungsordnung zur Interferenz gebracht und die so erzeugten Interferenzbilder digitalisiert und voneinander subtrahiert, wodurch die Parallelität der beiden Flächen (90, 91) des Körpers festgestellt werden kann.
(EN)The invention relates to a device and a process by means of which two opposite plane surfaces of a body can be simultaneously interferometrically measured with the light from a radiation source. Partial radiation beams (A, B) with positive and negative angles of diffraction are generated by a beam divider (8) in the form of a diffraction grid from parallel light radiation beams (P) generated via a radiation source (1) and strike the surfaces (90, 91) of the body (9) to be measured and are reflected therefrom. The reflected partial beams (A, B) are caused to interfere with the through partial beam (P) with a zero order of diffraction and the interference images thus produced are digitised and subtracted from one another, thus making it possible to determine the parallelism of the two surfaces (90, 91) of the body.
(FR)L'invention concerne un procédé et un dispositif qui permettent de mesurer simultanément par interférométrie deux surfaces opposées d'un corps au moyen de la lumière émise par une source de rayonnement. Des faisceaux de rayons partiels (A, B) à angles de diffraction positifs et négatifs sont produits par une lame séparatrice (8) en forme de réseau de diffraction à partir d'un faisceau de rayons lumineux (P) parallèle généré par l'intermédiaire d'une source de rayonnement (1) et arrivent sur les surfaces (90, 91) du corps (9) à mesurer d'où ils sont réfléchis. On provoque une interférence des faisceaux de rayons partiels (A, B) avec le faisceau de rayons lumineux partiels (P) continu d'ordre de diffraction zéro et les images d'interférence ainsi produites sont numérisées et soustraites les unes des autres, ce qui permet de déterminer le parallélisme des deux surfaces (90, 91) du corps.
Designierte Staaten: JP, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)