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1. (WO1997023661) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG ORGANISCH MODIFIZIERTER OXID-, OXINITRID- ODER NITRIDSCHICHTEN DURCH VAKUUMBESCHICHTUNG
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/1997/023661    Internationale Anmeldenummer    PCT/DE1996/002434
Veröffentlichungsdatum: 03.07.1997 Internationales Anmeldedatum: 13.12.1996
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen:    21.07.1997    
IPC:
C23C 14/00 (2006.01), C23C 14/08 (2006.01), C23C 14/32 (2006.01)
Anmelder: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. [DE/DE]; Leonrodstrasse 54, D-80636 München (DE) (For All Designated States Except US).
NEUMANN, Manfred [DE/DE]; (DE) (For US Only).
SCHILLER, Siegfried [DE/DE]; (DE) (For US Only).
MORGNER, Henry [DE/DE]; (DE) (For US Only).
SCHILLER, Nicolas [DE/DE]; (DE) (For US Only).
STRAACH, Steffen [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: NEUMANN, Manfred; (DE).
SCHILLER, Siegfried; (DE).
MORGNER, Henry; (DE).
SCHILLER, Nicolas; (DE).
STRAACH, Steffen; (DE)
Prioritätsdaten:
195 48 160.7 22.12.1995 DE
Titel (DE) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG ORGANISCH MODIFIZIERTER OXID-, OXINITRID- ODER NITRIDSCHICHTEN DURCH VAKUUMBESCHICHTUNG
(EN) PROCESS FOR PRODUCING ORGANICALLY MOFIFIED OXIDE, OXYNITRIDE OR NITRIDE LAYERS BY VACUUM DEPOSITION
(FR) PROCEDE DE PRODUCTION, PAR DEPOT SOUS VIDE, DE COUCHES D'OXYDE, D'OXYNITRURE OU DE NITRURE MODIFIEES DE MANIERE ORGANIQUE
Zusammenfassung: front page image
(DE)Erfindungsgemäß werden bei plasmagestützter reaktiver Hochrateverdampfung eines Oxidbildners zusätzlich zum Sauerstoff Monomere derart eingelassen, daß der verdampfte Oxidbildner und der Sauerstoff sowie die Monomere eine Vorzugsrichtung auf dem Substrat besitzen und eine hochdichte Plasmazone durchlaufen. Die Schicht auf dem Substrat besteht zu mehr als 50 Gewichtsprozenten aus anorganischen Molekülen und zu weniger als 50 Gewichtsprozenten aus teilweise vernetzten organischen Molekülen. Das Verfahren wird angewendet für Verpackungen, Fensterflächen, Spiegel, dekorative Oberflächen oder Fassadenverkleidungen.
(EN)According to the invention, in plasma-activated high-rate evaporation of an oxide former, monomers are applied in addition to oxygen in such a way that the evaporated oxide formers and the oxygen and the monomers have a preferential direction on the substrate and pass through a high-density plasma zone. More than 50 wt % of the coating on the substrate consists of inorganic molecules and under 50 wt % of partially cross-linked organic molecules. The process is used for packaging, window glazing, mirrors, decorative surfaces or façade linings.
(FR)Selon l'invention, lors de l'évaporation réactive à haute vitesse activée au plasma, d'un générateur d'oxyde, on introduit, outre de l'oxygène, des monomères, de manière que le générateur d'oxyde évaporé et l'oxygène, ainsi que lesdits monomères aient un sens préféré sur le substrat et qu'ils traversent une zone plasmique très dense. La couche réalisée sur le substrat se compose à plus de 50 % en poids de molécules inorganiques et à moins de 50 % en poids de molécules organiques partiellement réticulées. Ce procédé s'utilise pour des emballages, des vitrages de fenêtres, des miroirs, des surfaces décoratives ou des revêtements de façades.
Designierte Staaten: JP, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)