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1. (WO1997002506) MIKRO-SCHWENK-AKTUATOREN UND VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/1997/002506    Internationale Anmeldenummer    PCT/DE1996/001177
Veröffentlichungsdatum: 23.01.1997 Internationales Anmeldedatum: 26.06.1996
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen:    17.01.1997    
IPC:
G02B 26/08 (2006.01)
Anmelder: CMS MIKROSYSTEME GMBH CHEMNITZ [DE/DE]; Kurze Strasse 18, D-09577 Niederwiesa (DE) (For All Designated States Except US).
DÖTZEL, Wolfram [DE/DE]; (DE) (For US Only).
GESSNER, Thomas [DE/DE]; (DE) (For US Only).
HAHN, Ramon [DE/DE]; (DE) (For US Only).
KAUFMANN, Christian [DE/DE]; (DE) (For US Only).
LÖWE, Heinz-Ulrich [DE/DE]; (DE) (For US Only).
MARKERT, Joachim [DE/DE]; (DE) (For US Only).
RAUCH, Manfred [DE/DE]; (DE) (For US Only).
WOLLMANN, Udo [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: DÖTZEL, Wolfram; (DE).
GESSNER, Thomas; (DE).
HAHN, Ramon; (DE).
KAUFMANN, Christian; (DE).
LÖWE, Heinz-Ulrich; (DE).
MARKERT, Joachim; (DE).
RAUCH, Manfred; (DE).
WOLLMANN, Udo; (DE)
Vertreter: KRAUSE, Wolfgang; Dreiwerdener Weg 77c, D-09648 Mittweida (DE)
Prioritätsdaten:
195 23 886.9 30.06.1995 DE
195 47 584.4 20.12.1995 DE
Titel (DE) MIKRO-SCHWENK-AKTUATOREN UND VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG
(EN) PIVOTING MICRO-ACTUATORS AND METHOD FOR THEIR PRODUCTION
(FR) MICRO-ACTIONNEURS DE PIVOTEMENT ET PROCEDE DE FABRICATION CORRESPONDANT
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft Mikro-Schwenk-Aktuatoren und ein Verfahren zu deren Herstellung. Die Mikro-Schwenk-Aktuatoren bestehen im wesentlichen aus einem mit drei Schichten versehenen Halbleiterwafer, der alle Elemente mikromechanischer Spiegelarrays einerseits in Form der mechanischen Bestandteile Einzelspiegel mit integrierten Federn und Stützelementen und andererseits in Form der elektrischen Anordnungen Elektroden, Zuleitungen und elektrischen Kontakten enthält. Bei der Herstellung der Mikro-Schwenk-Aktuatoren werden Verfahrensschritte der Oberflächenmikromechanik genutzt, so daß bewährte Technologien zur Anwendung kommen. Die Mikro-Schwenk-Aktuatoren insbesondere die mikromechanischen Spiegelarrays sind besonders für Anwendungen in der Bildwiedergabetechnik mittels Laserstrahl geeignet. Damit kann ein Laserstrahl durch die Drehbewegung mehrerer parallel angesteuerter Einzelspiegel ausgelenkt werden.
(EN)The invention concerns pivoting micro-actuators which substantially consist of a three-layered semiconductor wafer comprising all the components of a micromechanical mirror array, i.e. the mechanical components, that is, individual mirrors with integral springs and support components, and the electrical components, that is, electrodes, feed lines and electrical contacts. Measures employed in surface micromechanics are applied in the production of the pivoting micro-actuators such that proven technology is utilized. The pivoting micro-actuators, in particular the micromechanical mirror arrays, are suitable in particular for applications in image-reproduction by laser beam. In this respect, a laser beam can be deflected by the rotational movement of a plurality of individual mirrors controlled in parallel.
(FR)L'invention concerne des micro-actionneurs de pivotement et un procédé de fabrication correspondant. Les micro-actionneurs de pivotement sont principalement constitués d'une tranche de semiconducteur dotée de trois couches et comprenant tous les éléments de groupements de miroirs micromécaniques, d'une part, sous forme de composants mécaniques, tels que des miroirs individuels avec ressorts et éléments support intégrés et, d'autre part, sous forme de composants électriques, tels que des électrodes, des lignes d'alimentation et des contacts électriques. Lors de la fabrication des micro-actionneurs de pivotement, on recourt aux opérations utilisées en micromécanique de surface de façon à mettre en oeuvre des technologies éprouvées. Les micro-actionneurs de pivotement, notamment les groupements de miroirs micromécaniques, sont particulièrement adaptés dans les applications de la technique de reproduction d'images au moyen de rayons laser. Cela permet, en effet, de dévier un rayon laser par le mouvement de rotation de plusieurs miroirs individuels commandés parallèlement.
Designierte Staaten: JP, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)