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1. (WO1997002466) OPTISCHER ABSTANDSSENSOR
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

Veröff.-Nr.: WO/1997/002466 Internationale Anmeldenummer PCT/DE1996/001081
Veröffentlichungsdatum: 23.01.1997 Internationales Anmeldedatum: 19.06.1996
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen: 29.01.1997
IPC:
G01B 11/02 (2006.01)
Anmelder: DOEMENS, Günter[DE/DE]; DE (UsOnly)
SCHICK, Anton[DE/DE]; DE (UsOnly)
KÖLLENSPERGER, Paul[IT/DE]; DE (UsOnly)
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT[DE/DE]; Wittelsbacherplatz 2 D-80333 München, DE (AllExceptUS)
Erfinder: DOEMENS, Günter; DE
SCHICK, Anton; DE
KÖLLENSPERGER, Paul; DE
Prioritätsdaten:
195 24 022.730.06.1995DE
196 08 468.701.03.1996DE
Titel (EN) OPTICAL DISTANCE SENSOR
(FR) CAPTEUR OPTIQUE DE DISTANCE
(DE) OPTISCHER ABSTANDSSENSOR
Zusammenfassung:
(EN) Measurement systems that work based on the confocal principle are used besides triangulation processes to three-dimensionally sense surfaces. These measurement systems have a higher resolution but in certain circumstances lower data rates. An optical distance sensor can automatically inspect surfaces by means of a confocal microscope at a speed that is acceptable for manufacturing processes. Instead of a scanning beam that is costly to generate, a system of linear rows of corresponding light sources (2) and photo-receivers (5) is used. The optical path between the receiving unit (4) and the projection lens is varied to achieve the resolution of the surface relief in the vertical direction and a light intensity maximum is detected by a peak detector.
(FR) Afin de saisir des surfaces en trois dimensions, on utilise, outre un procédé de triangulation, des systèmes de mesure fonctionnant selon le principe confocal, qui ont une plus haute résolution mais dans certaines circonstances un débit de données plus bas. L'invention concerne un capteur optique de distance qui à l'aide d'un microscope confocal permet de contrôler automatiquement des surfaces à une vitesse acceptable pendant un procédé de fabrication. On utilise à cet effet un système de rangées linéaires de sources de lumière (2) et de photorécepteurs (5) en correspondance au lieu d'un faisceau d'exploration coûteux à générer. Le trajet optique entre l'unité de réception (4) et l'optique de reproduction varie afin de permettre la résolution du relief de la surface dans le sens de la hauteur, et une intensité maximale de lumière est détectée par un détecteur de crêtes.
(DE) Zur dreidimensionalen Erfassung von Oberflächen werden neben Triangulationsverfahren Meßsysteme nach dem konfokalen Prinzip eingesetzt. Diese weisen eine höhere Auflösung, jedoch eine unter Umständen niedrigere Datenrate auf. Es wird ein optischer Abstandssensor beschrieben, der auf der Basis des konfokalen Mikroskopes eine automatische Prüfung von Oberflächen in einer für einen Fertigungsprozeß annehmbaren Zeit ausführt. Dabei wird anstelle eines sehr aufwendig zu erzeugenden scannenden Strahles ein zeilenförmiges System von korrespondierenden Lichtquellen (2) und Fotoempfängern (5) eingesetzt. Die optische Wegstrecke zwischen Empfangseinheit (4) und Abbildungsoptik wird zur Auflösung von Höhenwerten variiert, wobei ein Lichtintensitäts-Maximum über einen Peakdetektor erfaßt wird.
Designierte Staaten: JP, KR, SG, US
Europäisches Patentamt (EPO) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)