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1. (WO1996030717) MIKROMECHANISCHE SONDE FÜR RASTERMIKROSKOPE
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/1996/030717    Internationale Anmeldenummer    PCT/EP1996/001321
Veröffentlichungsdatum: 03.10.1996 Internationales Anmeldedatum: 26.03.1996
IPC:
G01Q 60/18 (2010.01)
Anmelder: CARL ZEISS JENA GMBH [DE/DE]; Tatzendpromenade 1a, D-07745 Jena (DE) (For All Designated States Except US).
WEIHNACHT, Manfred [DE/DE]; (DE) (For US Only).
MARTIN, Günter [DE/DE]; (DE) (For US Only).
BARTZKE, Karlheinz [DE/DE]; (DE) (For US Only).
RICHTER, Wolfgang [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: WEIHNACHT, Manfred; (DE).
MARTIN, Günter; (DE).
BARTZKE, Karlheinz; (DE).
RICHTER, Wolfgang; (DE)
Vertreter: GEYER, Werner; Geyer, Fehners & Partner, Perhamerstrasse 31, D-80687 München (DE)
Prioritätsdaten:
195 11 612.7 30.03.1995 DE
195 31 466.2 26.08.1995 DE
Titel (DE) MIKROMECHANISCHE SONDE FÜR RASTERMIKROSKOPE
(EN) MICROMECHANICAL PROBE FOR A SCANNING MICROSCOPE
(FR) SONDE MICROMECANIQUE POUR MICROSCOPES A BALAYAGE
Zusammenfassung: front page image
(DE)Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine universell anwendbare mikromechanische Sonde für Rastermikroskope zu schaffen, die rastermikroskopische Untersuchungen mit einer höheren lateralen Auflösung und hohen Meßgeschwindigkeit garantiert. Die Sonde besteht aus einem Träger und einem damit verbundenen, als Schichtpaket ausgebildeten Ausleger, der mindestens eine Piezoschicht und mehrere Metallschichten enthält und der an seinem freien Ende eine Mikrotastspitze trägt, wobei der mehrschichtige Ausleger die Sondenfunktionen zur Durchführung der Atom-Kraft-Mikroskopie(AFM), der Raster-Tunnel-Mikroskopie(STM) und der optischen Nahfeldmikroskopie(SNOM) in sich vereint, indem an die Piezoschicht/en eine Wechselspannung angelegt ist, deren Frequenz mit einer der Resonanzfrequenzen des Auslegers übereinstimmt, und indem der Ausleger mindestens eine Lichtleiterschicht enthält, die mit einer optisch transparenten Mikrotastspitze lichtleitend verbunden ist. Mit der Sonde können topologische, elektrische und optische Meßdaten von Oberflächen gewonnen werden.
(EN)The invention addresses the task of designing a universally applicable micromechanical probe for scanning microscopes which will facilitate scanning-microscopic investigations with higher lateral resolution and high measurement speed. The probe comprises a support and connected thereto an extension arm which takes the form of a packet of layers including at least one piezo-layer and several metal layers and at its free end carries a microprobe tip. The multiple-layer extension arm combines the probe functions entailed by atomic force microscopy (AFM), scanning-tunnelling microscopy (STM) and optical near-field microscopy (SNOM) by applying to the piezo-layer(s) an alternating voltage whose frequency matches one of the resonance frequencies of the extension arm, and by providing the extension arm with at least one optical transmission layer which is connected to an optically transparent microprobe tip so as to conduct light. The probe can be used to obtain topological, electrical and optical measured data from surfaces.
(FR)L'invention concerne une sonde micromécanique à usage universel, pour microscopes à balayage, permettant de réaliser des examens au microscope à balayage avec une résolution latérale et une vitesse de mesure élevées. Cette sonde comprend un support ainsi qu'une extension reliée à ce dernier, se présentant sous forme d'un ensemble de couches et comportant au moins une couche piézoélectrique et plusieurs couches métalliques, ainsi qu'une pointe de contact microscopique à son extrémité libre. Cette extension multicouche combine les fonctions d'une sonde permettant la réalisation de microscopie à force atomique (AFM), de microscopie à effet tunnel (STM) et de microscopie optique à champ proche (SNOM) car une tension alternative est appliquée à la(aux) couche(s) piézoélectrique(s) dont la fréquence coïncide avec l'une des fréquences de résonance de l'extension, et car l'extension comprend au moins une couche photoconductrice qui conduit la lumière à la pointe de contact microscopique optiquement transparente. Cette sonde permet d'obtenir des données de mesure topologiques, électriques et optiques de surfaces.
Designierte Staaten: JP, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)