WIPO logo
Mobil | Englisch | Español | Français | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Suche in nationalen und internationalen Patentsammlungen
World Intellectual Property Organization
Optionen
Recherchensprache
Trunkierung
Ordnen nach:
Listenlänge
Einige Inhalte dieser Anwendung sind momentan nicht verfügbar.
Wenn diese Situation weiterhin besteht, kontaktieren Sie uns bitte unterFeedback&Kontakt
1. (WO1995031693) RESONANTER MESSWERTAUFNEHMER
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

Veröff.-Nr.: WO/1995/031693 Internationale Anmeldenummer PCT/EP1994/003257
Veröffentlichungsdatum: 23.11.1995 Internationales Anmeldedatum: 29.09.1994
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen: 29.03.1995
IPC:
G01P 15/097 (2006.01) ,G01P 15/10 (2006.01) ,H03H 9/24 (2006.01) ,H03H 9/50 (2006.01)
G Physik
01
Messen; Prüfen
P
Messen der Linear- oder Winkelgeschwindigkeit, der Beschleunigung, der Verzögerung oder des Stoßes; Anzeigen des Vorhandenseins oder Fehlens einer Bewegung; Anzeigen der Richtung einer Bewegung
15
Messen der Beschleunigung; Messen der Verzögerung; Messen des Stoßes bei einer plötzlichen Beschleunigung
02
durch Anwendung von Trägheitskräften
08
mit Umwandlung in elektrische oder magnetische Größen
097
durch schwingende Elemente
G Physik
01
Messen; Prüfen
P
Messen der Linear- oder Winkelgeschwindigkeit, der Beschleunigung, der Verzögerung oder des Stoßes; Anzeigen des Vorhandenseins oder Fehlens einer Bewegung; Anzeigen der Richtung einer Bewegung
15
Messen der Beschleunigung; Messen der Verzögerung; Messen des Stoßes bei einer plötzlichen Beschleunigung
02
durch Anwendung von Trägheitskräften
08
mit Umwandlung in elektrische oder magnetische Größen
097
durch schwingende Elemente
10
durch schwingende Saiten
H Elektrotechnik
03
Grundlegende elektronische Schaltkreise
H
Scheinwiderstandsnetzwerke, z.B. Resonanzkreise; Resonatoren
9
Netzwerke mit elektromechanischen oder elektroakustischen Bauelementen; elektromechanische Resonatoren
24
Bauliche Details von Resonatoren aus einem Werkstoff, der nicht piezoelektrisch, elektro- oder magnetostriktiv ist
H Elektrotechnik
03
Grundlegende elektronische Schaltkreise
H
Scheinwiderstandsnetzwerke, z.B. Resonanzkreise; Resonatoren
9
Netzwerke mit elektromechanischen oder elektroakustischen Bauelementen; elektromechanische Resonatoren
46
Filter
48
Kopplungsvorrichtungen dafür
50
Mechanische Kopplungsvorrichtungen
Anmelder: BAYER, Thomas[DE/DE]; DE (UsOnly)
GRESCHNER, Johann[DE/DE]; DE (UsOnly)
SCHMID, Gerhard[DE/DE]; DE (UsOnly)
WOLF, Volker[DE/DE]; DE (UsOnly)
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION[US/US]; Old Orchard Road Armonk, NY 10504, US (AllExceptUS)
Erfinder: BAYER, Thomas; DE
GRESCHNER, Johann; DE
SCHMID, Gerhard; DE
WOLF, Volker; DE
Vertreter: SCHÄFER, Wolfgang; IBM Deutschland Informationssysteme GmbH Patentwesen und Urheberrecht D-70548 Stuttgart, DE
Prioritätsdaten:
P 44 17 132.317.05.1994DE
Titel (EN) RESONANT MEASUREMENT VALUE SENSOR
(FR) CAPTEUR DE VALEURS DE MESURE PAR RESONANCE
(DE) RESONANTER MESSWERTAUFNEHMER
Zusammenfassung:
(EN) A resonant measurement value sensor with a resonating body (10) for determining at least two physical values is characterised in that the resonating body (10) has at least two partial bodies (1, 2). The resonating body as a whole (10) is suitable for determining one of both values, and one of the partial bodies (1, 2) or a composite made up of several partial bodies is suitable for determining the other value. The individual partial bodies (1, 2) of the resonating bodies may have different geometric sizes or be composed of different materials. The individual physical values are measured in a base mode of the resonating body as a whole (10) or of the corresponding partial body (1, 2). When such a measurement value sensor with a resonating body designed as a double flexible beam (10) and a fine point (21) is used as a measurement probe in scanning Kelvin probe force microscopy, the surface potential of the surface (30) of the object to be examinated may be measured with high lateral resolution.
(FR) Un capteur de valeurs de mesure par résonance avec un corps résonant (10) sert à déterminer au moins deux grandeurs physiques et se caractérise en ce que le corps résonant (10) comprend au moins deux corps partiels (1, 2). Dans son ensemble (10), le corps résonant se prête à déterminer une des deux grandeurs, et un des corps partiels (1, 2) ou un corps composite constitué de plusieurs corps partiels se prête à déterminer l'autre grandeur. Les corps partiels individuels (1, 2) du corps résonant peuvent avoir différentes dimensions géométriques ou être constitués de différents matériaux. Les grandeurs physiques individuelles sont mesurées dans un mode de base du corps résonant dans son ensemble (10) ou du corps partiel correspondant (1, 2). Lorsque l'on utilise un tel capteur de valeurs de mesure avec un corps résonant sous forme d'une double lame flexible (10) et une fine pointe (21) comme sonde de mesure en microscopie à forces atomiques de Kelvin, on peut mesurer avec une haute résolution latérale le potentiel de surface de la surface (30) de l'objet à examiner.
(DE) Die Erfindung betrifft einen resonanten Meßwertaufnehmer mit einem Schwingkörper (10) zur Bestimmung von mindestens zwei physikalischen Größen, dadurch gekennzeichnet, daß der Schwingkörper (10) mindestens zwei Teilkörper (1, 2) aufweist, wobei der Schwingkörper als Ganzes (10) zur Bestimmung einer der beiden Größen geeignet ist, und daß einer der Teilkörper (1, 2) oder ein Verbund aus mehreren Teilkörpern zur Bestimmung der anderen der beiden Größen geeignet ist. Die einzelnen Teilkörper (1, 2) des Schwingkörpers können sowohl unterschiedliche geometrische Abmessungen als auch unterschiedliche werkstoffmäßige Zusammensetzungen aufweisen. Die Messung der einzelnen physikalischen Größen erfolgt jeweils in einem Grundmodus des Schwingkörpers als Ganzes (10) oder des betreffenden Teilkörpers (1, 2). Wird ein derartiger Meßwertaufnehmer mit einem Schwingkörper in der Form eines Doppel-Biegebalkens (10) und einer feinen Spitze (21) als Meßsonde in der Scanning Kelvin Probe Force Microscopy eingesetzt, so kann damit das Oberflächenpotential der Oberfläche (30) des zu untersuchenden Gegenstandes mit hoher lateraler Auflösung gemessen werden.
Designierte Staaten: JP, US
Europäisches Patentamt (EPO) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)