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1. (WO1995017654) GASREIBUNGSVAKUUMMETER MIT UM EINE ORTSFESTE ROTATIONSACHSE ROTIERENDEM GASREIBUNGSSENSOR
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten

Veröff.-Nr.: WO/1995/017654 Internationale Anmeldenummer PCT/DE1994/001482
Veröffentlichungsdatum: 29.06.1995 Internationales Anmeldedatum: 14.12.1994
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen: 07.07.1995
IPC:
G01L 21/16 (2006.01) ,G01L 21/24 (2006.01)
G Physik
01
Messen; Prüfen
L
Messen von Kraft, mechanischer Spannung, Drehmoment, Arbeit, mechanischer Leistung, mechanischem Wirkungsgrad oder des Drucks von Fluiden
21
Vakuummesser
16
durch Messen der Änderungen des Reibungswiderstandes von Gasen
G Physik
01
Messen; Prüfen
L
Messen von Kraft, mechanischer Spannung, Drehmoment, Arbeit, mechanischer Leistung, mechanischem Wirkungsgrad oder des Drucks von Fluiden
21
Vakuummesser
16
durch Messen der Änderungen des Reibungswiderstandes von Gasen
24
mit drehbaren Gliedern; Vakuummesser der Langmuir-Art
Anmelder:
FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH GMBH [DE/DE]; Wilhelm-Johnen-Strasse D-52425 Jülich, DE (AllExceptUS)
RWD-DATENTECHNIK GMBH [DE/DE]; Zieglersteg 4 D-52078 Aachen, DE (AllExceptUS)
LINDENAU, Bernd [DE/DE]; DE (UsOnly)
FREMEREY, Johan, K. [DE/DE]; DE (UsOnly)
WITTHAUER, Klaus [DE/DE]; DE (UsOnly)
Erfinder:
LINDENAU, Bernd; DE
FREMEREY, Johan, K.; DE
WITTHAUER, Klaus; DE
Prioritätsdaten:
P 43 43 575.021.12.1993DE
Titel (DE) GASREIBUNGSVAKUUMMETER MIT UM EINE ORTSFESTE ROTATIONSACHSE ROTIERENDEM GASREIBUNGSSENSOR
(EN) GAS FRICTION VACUUM INDICATOR WITH A GAS FRICTION SENSOR THAT ROTATES AROUND A FIXED AXIS OF ROTATION
(FR) INDICATEUR DE VIDE A FROTTEMENT DE GAZ POURVU D'UN CAPTEUR DE FROTTEMENT DE GAZ TOURNANT AUTOUR D'UN AXE DE ROTATION FIXE
Zusammenfassung:
(DE) Es wird ein Gasreibungsvakuummeter mit einem um eine ortsfeste Rotationsachse (Bezugszeichen 20) rotierenden Gasreibungssensor (2) angegeben. Der Gasreibungssensor ist innerhalb einer evakuierbaren Meßkammer magnetisch berührungslos gelagert. Das hierzu erforderliche Magnetfeld ist in Bezug auf die Rotationsachse (20) rotationssymmetrisch und regelbar ausgebildet. Die Meßkammer ist mit einem Vakuumraum (4), dessen Vakuum zu messen ist, räumlich verbindbar. Um in beliebiger Lage angeordnete Meßkammerachsen zuzulassen, weist die Rotationsachse (20) eine von der Vertikalen (21) abweichende, vorzugsweise horizontale Ausrichtung auf. Zur Messung der Neigung (24) der Rotationsachse (20) gegen die Vertikale (21) ist eine Meßeinrichtung (z.B. 22) vorgesehen, deren Ausgangssignal zur Korrektur des angezeigten Druckwertes dient.
(EN) A gas friction vacuum indicator has a gas friction sensor (2) that rotates around a fixed axis of rotation (reference number 20). The gas friction sensor is magnetically and contactlessly mounted within an evacuable measurement chamber. The magnetic field required for that purpose is rotationally symmetrical in relation to the axis of rotation (20) and may be regulated. The measurement chamber may spatially communicate with a vacuum chamber (4) whose vacuum is to be measured. In order to allow the measurement chamber axis to be placed in any desired position, the axis of rotation (20) is oriented away from the vertical (21), preferably horizontally. A measurement device (for example 22), whose output signal is used to correct the displayed pressure value, measures the inclination (24) of the axis of rotation (20) in relation to the vertical (21).
(FR) Un indicateur de vide à frottement de gaz comprend un capteur (2) de frottement de gaz tournant autour d'un axe de rotation fixe (numéro de référence 20). Le capteur de frottement de gaz est monté magnétiquement sans contact dans une chambre de mesure dans laquelle on peut faire le vide. Le champ magnétique requis à cet effet est symétrique en rotation par rapport à l'axe de rotation (20) et régulable. La chambre de mesure peut être mise en communication spatiale avec une chambre à vide (4) dont il faut mesurer le vide. Afin de pouvoir situer l'axe des chambres de mesure dans n'importe quelle position voulue, l'axe de rotation (20) a une orientation qui dévie de la verticale (21), de préférence une orientation horizontale. Un dispositif de mesure (par exemple 22) dont le signal de sortie sert à corriger la valeur de pression indiquée mesure l'inclinaison (24) de l'axe de rotation (20) par rapport à la verticale (21).
Designierte Staaten: CA, JP, RU, US
Europäisches Patentamt (EPA) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)
Auch veröffentlicht als:
EP0737305US5777233JP3421951JPH09506970CA2179750