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1. (WO1995016907) VORRICHTUNG ZUM PHOTOTHERMISCHEN PRÜFEN EINER OBERFLÄCHE
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten

Veröff.-Nr.: WO/1995/016907 Internationale Anmeldenummer PCT/DE1994/001448
Veröffentlichungsdatum: 22.06.1995 Internationales Anmeldedatum: 07.12.1994
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen: 13.06.1995
IPC:
G01B 11/06 (2006.01) ,G01N 21/17 (2006.01)
G Physik
01
Messen; Prüfen
B
Messen der Länge, der Dicke oder ähnlicher linearer Abmessungen; Messen von Winkeln; Messen von Flächen; Messen von Unregelmäßigkeiten an Oberflächen oder Umrissen
11
Messanordnungen gekennzeichnet durch die Verwendung optischer Messmittel
02
zum Messen der Länge, Breite oder Dicke
06
zum Messen der Dicke
G Physik
01
Messen; Prüfen
N
Untersuchen oder Analysieren von Stoffen durch Bestimmen ihrer chemischen oder physikalischen Eigenschaften
21
Optisches Untersuchen oder Analysieren von Stoffen, d.h. durch die Anwendung infraroten, sichtbaren oder ultravioletten Lichts
17
Systeme, in denen einfallendes Licht durch die Eigenschaften des untersuchten Materials beeinflusst wird
Anmelder:
PHOTOTHERM DR. PETRY GMBH [DE/DE]; Altenkesseler Strasse 17 D-66115 Saarbrücken, DE (AllExceptUS)
PETRY, Harald [DE/DE]; DE (UsOnly)
PREKEL, Helmut [DE/DE]; DE (UsOnly)
Erfinder:
PETRY, Harald; DE
PREKEL, Helmut; DE
Vertreter:
RACKETTE, Karl; Kaiser-Joseph-Strasse 179 Postfach 13 10 D-79013 Freiburg, DE
Prioritätsdaten:
P 43 43 076.716.12.1993DE
Titel (DE) VORRICHTUNG ZUM PHOTOTHERMISCHEN PRÜFEN EINER OBERFLÄCHE
(EN) SURFACE PHOTOTHERMIC TESTING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE CONTROLE PHOTOTHERMIQUE DE SURFACE
Zusammenfassung:
(DE) Bei einer Vorrichtung zum photothermischen Prüfen einer Oberfläche (1) eines bewegten Prüfkörpers (2) ist ein Prüfbereich (13) mit einem Anregungsstrahl (5) beaufschlagbar. Der Anregungsstrahl (5) durchtritt in einer Ausnehmung (12) eine die in einem Meßbereich (14) erzeugte Wärmestrahlung (16) abbildende Sammellinse (11). Dadurch ist die Sammellinse (11) auf die einem Detektor (20) eingespeiste Wellenlänge der Wärmestrahlung anpaßbar. Ein im Strahlengang des Anregungstrahles (5) vorgesehener Einkoppelspiegel (9) weist für die Wellenlänge des Anregungsstrahles (5) eine im wesentliche vollständige Reflektivität auf und ist durch seine Anordnung in der Nähe des Fokalbereiches des Anregungsstrahles (5) sehr klein, so daß er zusammen mit der Ausnehmung (12) der Sammellinse (11) nur einen geringen Teil der dem Detektor (20) zugeführten Wärmestrahlung (17) abschattet. In einem weiteren Ausführungsbeispiel fällt der Anregungsstrahl (5) durch eine Ausnehmung in einem die Wärmestrahlung ablenkenden Auskoppelspiegel direkt auf die Oberfläche (1), während die Wärmestrahlung über den Auskoppelspiegel mit angepaßter Reflektivität im wesentlichen mit ihrer gesamten Intensität dem Detektor (20) zuführbar ist.
(EN) In a device for photothermically testing a surface (1) of a moving test object (2), an excitation beam (5) may be applied to a test area (13). The excitation beam (5) passes through a recess (12) in a convex lens (11) that reproduces the thermal radiation generated in a measurement area (14), so that the convex lens (11) may be adapted to a wavelength of the excitation beam (5) fed to a detector (20). A coupling mirror (9) mounted in the path of the excitation beam (5) has a practically total reflectivity for the wavelength of the excitation beam (5) and is arranged in such a way that it is very small near the focal area of the excitation beam (5), so that together with the recess (12) of the convex lens (11) it only screens a small part of the thermal radiation (17) supplied to the detector (20). In another embodiment, the excitation beam (5) falls directly on the surface (1) through a recess in a decoupling mirror that deflects the thermal radiation, whereas the thermal radiation can be supplied with practically all its intensity to the detector (20) through the decoupling mirror with an appropriate reflectivity.
(FR) Dans un dispositif permettant le contrôle photothermique d'une surface (1) d'un corps en mouvement (2), un rayon d'excitation (5) peut être appliqué sur une zone à contrôler (13). Le rayon d'excitation (5) traverse un évidement (12) d'une lentille convergente (11) qui reproduit le rayonnement thermique (16) généré dans une zone de mesure (14), ce qui permet l'adaptation de la lentille convergente (12) à une longueur d'onde du rayonnement thermique fournie à un détecteur (20). Un miroir de couplage (9) monté dans le trajet du rayon d'excitation (5) a un pouvoir de réflexion sensiblement total à la longueur d'onde du rayon d'excitation (5) et est monté de façon à avoir des dimensions très réduites à proximité de la zone focale du rayon d'excitation (5) de sorte qu'avec l'évidement (12) de la lentille convergente (11) il ne fait écran qu'à une partie minime du rayonnement thermique (17) fourni au détecteur (20). Dans un autre mode de réalisation, le rayon d'excitation tombe directement sur la surface (1) à travers un évidement ménagé dans un miroir de découplage qui dévie le rayonnement thermique, alors que le rayonnement thermique peut être transmis pratiquement avec toute son intensité au détecteur (20) à travers le miroir de découplage, qui a un pouvoir de réflexion approprié.
Designierte Staaten: CA, JP, KR, US
Europäisches Patentamt (EPA) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)
Auch veröffentlicht als:
EP0734518US5803606JPH09506700