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1. (WO1995015004) STÜTZELEMENT EINES AUTOMATISCHEN LADETISCHES EINER BELICHTUNGSEINHEIT FÜR SILIZIUMWAFER
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten

Veröff.-Nr.: WO/1995/015004 Internationale Anmeldenummer PCT/NL1994/000294
Veröffentlichungsdatum: 01.06.1995 Internationales Anmeldedatum: 23.11.1994
IPC:
G03F 7/20 (2006.01) ,H01L 21/687 (2006.01)
G Physik
03
Fotografie; Kinematografie; vergleichbare Techniken unter Verwendung von nicht optischen Wellen; Elektrografie; Holografie
F
Fotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, z.B. zum Drucken, zum Herstellen von Halbleiterbauelementen; Materialien dafür; Kopiervorlagen dafür; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
7
Fotomechanische, z.B. fotolithografische Herstellung von strukturierten oder gemusterten Oberflächen, z.B. Druckflächen; Materialien dafür, z.B. mit Fotolacken [Resists]; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
20
Belichten; Vorrichtungen dafür
H Elektrotechnik
01
Grundlegende elektrische Bauteile
L
Halbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
21
Verfahren oder Geräte, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Halbleiter- oder Festkörperbauelementen oder Teilen davon
67
Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Halbleiterbauelementen oder elektrischen Festkörperbauelementen während ihrer Herstellung oder Behandlung; Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Wafern während der Herstellung oder Behandlung von Halbleiterbauelementen, elektrischen Festkörperbauelementen oder einzelnen Schaltungselementen
683
zum Aufnehmen oder Greifen
687
mit mechanischen Mitteln, z.B. Halte-, Klemm- oder Pressvorrichtungen
Anmelder:
PHILIPS ELECTRONICS N.V. [NL/NL]; Groenewoudseweg 1 NL-5621 BA Eindhoven, NL (AllExceptUS)
GAKIS, Andreas [DE/DE]; DE (UsOnly)
BUSSKAMP, Ralph [DE/DE]; DE (UsOnly)
Erfinder:
GAKIS, Andreas; DE
BUSSKAMP, Ralph; DE
Vertreter:
CUPPENS, Hubertus, Martinus, Maria; International Octrooibureau B.V. P.O. Box 220 NL-5600 AE Eindhoven, NL
Prioritätsdaten:
94203385.322.11.1994EP
P 43 39 818.923.11.1993DE
Titel (DE) STÜTZELEMENT EINES AUTOMATISCHEN LADETISCHES EINER BELICHTUNGSEINHEIT FÜR SILIZIUMWAFER
(EN) SUPPORT ELEMENT FOR AN AUTOMATIC LOADING TRAY OF AN EXPOSURE UNIT FOR SILICON WAFERS
(FR) ELEMENT SUPPORT D'UNE RAMPE DE CHARGEMENT AUTOMATIQUE D'UNE UNITE D'EXPOSITION A LA LUMIERE POUR GALETTES DE SILICIUM
Zusammenfassung:
(DE) Stützelement eines automatischen Ladetisches (10) einer Belichtungseinheit für Siliziumwafer, das einen kreisförmigen Abschnitt hat, mit einem der Führung einer Ladestation angepaßten ersten Außendurchmesser, der kleiner als der eines Siliziumwafers ist, wobei der kreisförmige Abschnitt (16) des Stützelementes (11) am Umfang parallel zur Einführrichtung der Ladestation mindestens teilweise vergrößernde Abschnitte (17) und mit diesen einen zweiten Außendurchmesser aufweist, der etwa dem des Siliziumwafers (12) entspricht, und daß die größte Breite des Stützelements (11) orthogonal zur Einführungsrichtung der des kreisrunden Abschnittes (16) entspricht.
(EN) The proposed support element for an automatic loading tray (10) of an exposure unit for silicon wafers has a circular section with an outer diameter compatible with guiding a loading station and smaller than that of a silicon wafer; the circular section (16) of the support element (11) has at least partially enlarging sections (17) at the circumference and parallel to the feed direction of the loading station, and thus a second outer diameter corresponding roughly to that of the silicon wafer (12). The maximum width of the supporting element (11) at right angles to the feed direction matches that of the circular section (16).
(FR) L'invention concerne un élément support d'une rampe de chargement (10) automatique d'une unité d'exposition à la lumière pour galettes de silicium, qui comporte une partie circulaire dont un premier diamètre extérieur est adapté au guidage d'un poste de chargement et est inférieur à celui d'une galette de silicium. La partie circulaire (16) de l'élément support (11) présente sur sa circonférence, parallèlement au sens d'introduction du poste de chargement, des sections (17) qui s'élargissent au moins partiellement. L'élément support comporte un second diamètre extérieur qui correspond approximativement à celui de la galette de silicium (12). La plus grande largeur de l'élément support (11), qui est perpendiculaire au sens d'introduction, correspond à celle de la partie circulaire (16).
Designierte Staaten: CN, KR, US
Veröffentlichungssprache: Deutsch (DE)
Anmeldesprache: Deutsch (DE)
Auch veröffentlicht als:
KR1019960700526