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1. (WO1995000805) VERFAHREN UND EINRICHTUNG ZUM REINIGEN VON ABGASEN
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/1995/000805    Internationale Anmeldenummer    PCT/EP1994/001985
Veröffentlichungsdatum: 05.01.1995 Internationales Anmeldedatum: 17.06.1994
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen:    09.11.1994    
IPC:
B01D 53/18 (2006.01), B01D 53/46 (2006.01), B01D 53/64 (2006.01), F23G 7/06 (2006.01), F23J 15/04 (2006.01), F23L 7/00 (2006.01)
Anmelder: DAS-DÜNNSCHICHT ANLAGEN SYSTEME GMBH DRESDEN [DE/DE]; Gostritzer Strasse 61-63, D-01217 Dresden (DE) (For All Designated States Except US).
REICHARDT, Horst [DE/DE]; (DE) (For US Only).
RITTER, Lothar [DE/DE]; (DE) (For US Only).
LABS, Lutz [DE/DE]; (DE) (For US Only).
GEHMLICH, Konrad [DE/DE]; (DE) (For US Only).
HENTRICH, Michael [DE/DE]; (DE) (For US Only).
FIRKERT, Günter [DE/DE]; (DE) (For US Only).
HENNIG, Volkmar [DE/DE]; (DE) (For US Only).
SCHUBERT, Matthias [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: REICHARDT, Horst; (DE).
RITTER, Lothar; (DE).
LABS, Lutz; (DE).
GEHMLICH, Konrad; (DE).
HENTRICH, Michael; (DE).
FIRKERT, Günter; (DE).
HENNIG, Volkmar; (DE).
SCHUBERT, Matthias; (DE)
Vertreter: RAU, Manfred; Königstrasse 2, D-90402 Nürnberg (DE)
Prioritätsdaten:
P 43 20 044.3 17.06.1993 DE
Titel (DE) VERFAHREN UND EINRICHTUNG ZUM REINIGEN VON ABGASEN
(EN) EXHAUST GAS CLEANING PROCESS AND INSTALLATION
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF D'EPURATION DE GAZ BRULES
Zusammenfassung: front page image
(DE)Abgase, insbesondere aus Anlagen zur chemischen Dampfphasenabscheidung und zum Abscheiden und Ätzen durch Plasmaprozesse, werden durch ein Verfahren von toxischen Schadstoffen gereinigt, bei dem in einer einzigen Reaktionskammer Teilprozesse der Reinigung, wie thermische Zersetzung und Oxidation, Sorption fester und gasförmiger Reaktionsprodukte, Hydrolyse und Kühlung kombiniert zur Wirkung gebracht werden. Die Reaktionsprodukte des in einer Flamme verbrannten Abgases werden unmittelbar in der Brennkammer (1) durch einen Raum geführt, der mit feinverteilter Flüssigkeit erfüllt ist. Diese Flüssigkeit bildet auf allen Teilen und inneren Wandflächen der Reaktionskammer einen Flüssigkeitsfilm. In einer Brennkammer (1) mit Brenner (3) wird die angeführte Flüssigkeitsverteilung durch eine Sprüheinrichtung erreicht. Effektive Reinigung von toxischen Schadstoffen, geringe Korrosion der Reaktionskammerteile und Vermeidung des Zuwachsens der Brennkammer (1) mit festen Reaktionsprodukten werden erzielt. Die Entstehung sekundärer, toxischer Schadstoffe bei der Verbrennung des Abgases wird vermieden.
(EN)The toxic pollutants contained in exhaust gases, in particular from chemical vapour deposition plants or plasma deposition and etching installations, are cleaned away by a process in which partial cleaning processes, such as the thermal decomposition and oxidation, the sorption of solid and gaseous reaction products, hydrolysis and cooling are combined in a single reaction chamber. The reaction products from exhaust gas burned in a flame are directly led in the combustion chamber (1) through a space filled with finely pulverised liquid. This liquid forms a liquid film on all parts and inner wall surfaces of the reaction chamber. In a combustion chamber (1) with a burner (3), the liquid is pulverised by a sprayer. An effective removal of toxic pollutants and a reduced corrosion of the reaction chamber parts are thus achieved, and the accretion of the combustion chamber (1) with solid reaction products is avoided. The formation of secondary toxic pollutants is also avoided during exhaust gas combustion.
(FR)Afin d'éliminer les polluants toxiques contenus dans des gaz brûlés émis notamment par des installations de dépôt chimique en phase vapeur et de dépôt et de gravure par des procédés plasmatiques, on met en ÷uvre un procédé selon lequel des processus partiels d'épuration, tels que la décomposition thermique et l'oxydation, la sorption de produits de réaction solides et gazeux, l'hydrolyse et le refroidissement sont combinés dans une seule chambre de réaction. Les produits de réaction du gaz brûlé dans une flamme sont directement amenés dans la chambre de combustion (1) à travers un espace rempli d'un liquide finement pulvérisé. Ce liquide forme une pellicule sur toutes les parties et sur toute la surface des parois intérieures de la chambre de réaction. La pulvérisation du liquide est accomplie dans la chambre de combustion (1) contenant un brûleur (3), au moyen d'un pulvérisateur. On assure ainsi une élimination effective des polluants toxiques, on réduit la corrosion des parties constitutives de la chambre de réaction et on évite l'incrustation de produits de réaction solides sur la chambre de combustion (1). On évite en outre le dégagement de polluants toxiques secondaires lors de la combustion des gaz de fumée.
Designierte Staaten: JP, KR, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)