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1. WO1994020979 - Einrichtung zur Indexierung von Magazinfächern eines Magazins und darin enthaltenen scheibenförmigen Objekten

Veröffentlichungsnummer WO/1994/020979
Veröffentlichungsdatum 15.09.1994
Internationales Aktenzeichen PCT/EP1994/000620
Internationales Anmeldedatum 03.03.1994
IPC
H01L 21/00 2006.01
HSektion H Elektrotechnik
01Grundlegende elektrische Bauteile
LHalbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
21Verfahren oder Geräte, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Halbleiterbauelementen oder Festkörperbauelementen oder Teilen davon
H01L 23/544 2006.01
HSektion H Elektrotechnik
01Grundlegende elektrische Bauteile
LHalbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
23Einzelheiten von Halbleiterbauelementen oder anderen Festkörperbauelementen
544Markierungen auf Halbleiterbauelementen, z.B. Markierungen zu Kennzeichnungszwecken, Teststrukturen
CPC
H01L 21/67265
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
67242Apparatus for monitoring, sorting or marking
67259Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
67265of substrates stored in a container, a magazine, a carrier, a boat or the like
H01L 2223/54453
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
2223Details relating to semiconductor or other solid state devices covered by the group H01L23/00
544Marks applied to semiconductor devices or parts
54453for use prior to dicing
H01L 23/544
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
23Details of semiconductor or other solid state devices
544Marks applied to semiconductor devices ; or parts; , e.g. registration marks, ; alignment structures, wafer maps
H01L 2924/0002
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
2924Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
0001Technical content checked by a classifier
0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
Y10S 414/137
YSECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
414Material or article handling
135Associated with semiconductor wafer handling
137including means for charging or discharging wafer cassette
Anmelder
  • JENOPTIK GMBH [DE]/[DE] (AllExceptUS)
  • BIRKNER, Andreas [DE]/[DE] (UsOnly)
  • LAHNE, Berndt [DE]/[DE] (UsOnly)
  • SCHULTZ, Klaus [DE]/[DE] (UsOnly)
Erfinder
  • BIRKNER, Andreas
  • LAHNE, Berndt
  • SCHULTZ, Klaus
Vertreter
  • GEYER, Werner
Prioritätsdaten
P 43 06 957.605.03.1993DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) Einrichtung zur Indexierung von Magazinfächern eines Magazins und darin enthaltenen scheibenförmigen Objekten
(EN) DEVICE FOR INDEXING MAGAZINE COMPARTMENTS AND WAFER-SHAPED OBJECTS IN THE COMPARTMENTS
(FR) DISPOSITIF PERMETTANT D'INDEXER LES COMPARTIMENTS D'UN MAGASIN ET LES OBJETS SE PRESENTANT SOUS FORME DE TRANCHES CONTENUS DANS CES COMPARTIMENTS
Zusammenfassung
(DE)
Bei einer Einrichtung zur Indexierung von Magazinfächern eines Magazins und darin enthaltenen scheibenförmigen Objekten besteht die Aufgabe, einen genauen Zugriff einer Entnahme- und Beschickungsvorrichtung in jede beliebige und vorherbestimmbare Ebene des Magazins, unabhängig von Abmessungstoleranzen zu gewährleisten. Gemäß der Erfindung wird durch ein Meßstrahlenbündel (10) eines aus Sender (7) und Empfänger (8) bestehenden optoelektronischen Sensors neben der Lage der scheibenförmigen Objekten (13) auch die Lage der Magazinfächer (12) relativ zu einer Bezugsebene (E-E) erfaßt, die konstruktiv mit einer Handhabungsebene (H-H) zur Entnahme und Beschickung in fester Beziehung steht. Das Magazin (11) ist mittels einer Magazinaufnahme (2) durch einen Magazinlift meßbar in der Höhe zur Entnahme und Beschickung verstellbar. Die Erfindung ist bei der Herstellung integrierter Schaltkreise, insbesondere zur Handhabung scheibenförmiger Objekte anwendbar.
(EN)
Described is an indexing device for indexing magazine compartments and wafer-shaped objects in the compartments. The aim of the invention is to ensure that a removal and insertion device has precise access to the magazine in any given plane, independent of dimensional tolerances. The invention calls for the measurement beam (10) of an optoelectronic sensor consisting of an emitter (7) and a receiver (8) to be used to determine not only the locations of the objects (13) but also the locations of the compartments (12) relative to a reference plane (E-E) whose location is defined with respect to a handling plane (H-H) for removal and feed. The height of the magazine (11) can be altered by measured amounts by means of a support platform (2) and a lift to permit removal and insertion of objects. The invention is intended for use in the manufacture of integrated circuits, and in particular for handling wafer-shaped objects.
(FR)
L'invention concerne un dispositif permettant d'indexer les compartiments d'un magasin et les objets qu'ils contiennent sous forme de tranches. L'invention vise à permettre à un dispositif de chargement et de déchargement d'avoir un accès précis à tout plan prédéterminable du magasin, indépendamment des tolérances dimensionnelles. Le faisceau de mesure (10) d'un détecteur optoélectronique composé d'un émetteur (7) et d'un récepteur (8) sert non seulement à détecter la position des objets (13) se présentant sous forme de tranches, mais également la position des compartiments (12) du magasin par rapport à un plan de référence (E-E) dont l'emplacement est défini par rapport à un plan de manipulation (H-H) pour le chargement et le déchargement. Le magasin (11) peut être déplacé en hauteur au moyen d'un support de réception (2), à des fins de chargement et de déchargement, de manière mesurable, par l'intermédiaire d'un dispositif élévateur. L'invention est destinée à la fabrication de circuits intégrés, notamment pour la manipulation d'objets se présentant sous forme de tranches.
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