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1. WO1994019821 - VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM TRANSPORTIEREN VON FLACHEN GEGENSTÄNDEN, INSBESONDERE VON SUBSTRATEN

Veröffentlichungsnummer WO/1994/019821
Veröffentlichungsdatum 01.09.1994
Internationales Aktenzeichen PCT/IB1994/000024
Internationales Anmeldedatum 25.02.1994
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen 01.09.1994
IPC
H01L 21/687 2006.01
HSektion H Elektrotechnik
01Grundlegende elektrische Bauteile
LHalbleiterbauelemente; elektrische Festkörperbauelemente, soweit nicht anderweitig vorgesehen
21Verfahren oder Geräte, besonders ausgebildet für die Herstellung oder Behandlung von Halbleiterbauelementen oder Festkörperbauelementen oder Teilen davon
67Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Halbleiterbauelementen oder elektrischen Festkörperbauelementen während ihrer Herstellung oder Behandlung; Vorrichtungen, besonders ausgebildet zur Handhabung von Wafern während der Herstellung oder Behandlung von Halbleiterbauelementen, elektrischen Festkörperbauelementen oder einzelnen Schaltungselementen
683zum Aufnehmen oder Greifen
687mit mechanischen Mitteln, z.B. Haltevorrichtungen, Klemmvorrichtungen oder Pressvorrichtungen
CPC
H01L 21/68707
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
683for supporting or gripping
687using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
68707the wafers being placed on a robot blade, or gripped by a gripper for conveyance
Anmelder
  • MAYER, Herbert, E. [AT]/[LI]
Erfinder
  • MAYER, Herbert, E.
Vertreter
  • RIEDERER, Conrad, A.
Prioritätsdaten
1277/93-027.04.1993CH
598/93-326.02.1993CH
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM TRANSPORTIEREN VON FLACHEN GEGENSTÄNDEN, INSBESONDERE VON SUBSTRATEN
(EN) PROCESS AND DEVICE FOR TRANSPORTING FLAT OBJECTS, IN PARTICULAR SUBSTRATES
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF DE TRANSPORT D'OBJETS PLATS, NOTAMMENT DE SUBSTRATS
Zusammenfassung
(DE)
Eine Vorrichtung zum Transportieren von flachen Gegenständen, insbesondere von Substraten, weist einen beweglichen Greifer (23) mit einem Tragarm (49) und einem schwenkbaren Tragelement (51) auf. Um beim Holen eines Gegenstandes eine Kollision zwischen dem Greifer (23) und einem Wafer (25) in einem Ladefach einer Kassette (27) zu vermeiden, sind am Tragarm (49) des Greifers (23) ein Fluidsensor (81, 101) angebracht, der die Distanz zu mindestens einem zum Tragarm (49) benachbarten Wafer (25) berührungsfrei misst. Am Greifer (23) ist ausserdem eine aus einem Sender (31') und einem Empfänger (33') bestehende optische Detektionseinrichtung (29') vorgesehen. Der Sender (31') sendet Lichtstrahlen in der Längsachse des Greifers (23) aus. Der Empfänger (33') erstreckt sich auf beiden Seiten der Längsachse, so dass auch Licht, welches aufgrund eines seitlich orientierten Waferflat in einem Winkel zur Längsachse reflektiert wird, detektiert werden kann. Das Tragelement (51) lässt sich durch eine an zwei Punkten befestigte Zugstange (59), welche sich berührungsfrei in einer Nut (57) des Tragarms (49) erstreckt, in die Arbeitslage schwenken. Durch Zurückziehen des Tragarms (49) wird der zu transportierende Wafer (25) zwischen dem Tragelement (51) und einem am Gehäuse (53) angebrachten Tragelement (50) eingeklemmt.
(EN)
A device for transporting flat objects, in particular substrates, has a movable gripper (23) with a bearing arm (49) and a swivelling bearing element (51). In order to avoid collisions between the gripper (23) and a wafer (25) in a loading compartment of a cartridge (27) when picking up an object, a fluid sensor (81, 101) arranged on the bearing arm (49) of the gripper (23) measures without contact the distance to at least one wafer (25) adjacent to the bearing arm (49). An optical detection arrangement (29') which consists of an emitter (31') and of a receiver (33') is further arranged on the gripper (23). The emitter (31') emits light rays in the longitudinal axis of the gripper (23). The receiver (33') extends on both sides of the longitudinal axis, so that even light which is angularly reflected with respect to the longitudinal axis because of a laterally oriented wafer flat may be detected. The bearing element (51) may be swivelled into its working position by a traction rod (59) secured at two points which extends without contact in a groove (57) of the bearing arm (49). By retracting the bearing arm (49), the wafer (25) to be transported may be clamped between the bearing element (51) and a bearing element (50) arranged on the housing (53).
(FR)
Un dispositif de transport d'objets plats, notamment de substrats, comprend une pince mobile (23) avec un bras de support (49) et un élément pivotant de support (51). Afin d'éviter pendant la saisie d'un objet des collisions entre la pince (23) et une galette (25) située dans le compartiment de chargement d'une cassette (27), un capteur à fluide (81, 101) monté sur le bras de support (49) de la pince (23) mesure sans contact la distance jusqu'à au moins une galette (25) adjacente au bras de support (49). Un agencement optique de détection (29') comprenant un émetteur (31') et un récepteur (33') est monté en outre sur la pince (23). L'émetteur (31') émet des rayons de lumière dans l'axe longitudinal de la pince (23). Le récepteur (33') s'étend de part et d'autre de l'axe longitudinal, de manière à pouvoir détecter même la lumière réfléchie angulairement, par rapport à l'axe longitudinal, par un plan optique à orientation latérale de la galette. L'élément de support (51) peut pivoter jusqu'à sa position de fonctionnement au moyen d'une barre de traction (59) assujettie à deux points et qui s'étend sans contact dans une rainure (57) du bras de support (49). La rétraction du bras de support (49) permet de serrer la galette (25) à transporter entre l'élément de support (51) et un élément de support (50) situé sur le boîtier (53).
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