Eine Vorrichtung zum Transportieren von flachen Gegenständen, insbesondere von Substraten, weist einen beweglichen Greifer (23) mit einem Tragarm (49) und einem schwenkbaren Tragelement (51) auf. Um beim Holen eines Gegenstandes eine Kollision zwischen dem Greifer (23) und einem Wafer (25) in einem Ladefach einer Kassette (27) zu vermeiden, sind am Tragarm (49) des Greifers (23) ein Fluidsensor (81, 101) angebracht, der die Distanz zu mindestens einem zum Tragarm (49) benachbarten Wafer (25) berührungsfrei misst. Am Greifer (23) ist ausserdem eine aus einem Sender (31') und einem Empfänger (33') bestehende optische Detektionseinrichtung (29') vorgesehen. Der Sender (31') sendet Lichtstrahlen in der Längsachse des Greifers (23) aus. Der Empfänger (33') erstreckt sich auf beiden Seiten der Längsachse, so dass auch Licht, welches aufgrund eines seitlich orientierten Waferflat in einem Winkel zur Längsachse reflektiert wird, detektiert werden kann. Das Tragelement (51) lässt sich durch eine an zwei Punkten befestigte Zugstange (59), welche sich berührungsfrei in einer Nut (57) des Tragarms (49) erstreckt, in die Arbeitslage schwenken. Durch Zurückziehen des Tragarms (49) wird der zu transportierende Wafer (25) zwischen dem Tragelement (51) und einem am Gehäuse (53) angebrachten Tragelement (50) eingeklemmt.

A device for transporting flat objects, in particular substrates, has a movable gripper (23) with a bearing arm (49) and a swivelling bearing element (51). In order to avoid collisions between the gripper (23) and a wafer (25) in a loading compartment of a cartridge (27) when picking up an object, a fluid sensor (81, 101) arranged on the bearing arm (49) of the gripper (23) measures without contact the distance to at least one wafer (25) adjacent to the bearing arm (49). An optical detection arrangement (29') which consists of an emitter (31') and of a receiver (33') is further arranged on the gripper (23). The emitter (31') emits light rays in the longitudinal axis of the gripper (23). The receiver (33') extends on both sides of the longitudinal axis, so that even light which is angularly reflected with respect to the longitudinal axis because of a laterally oriented wafer flat may be detected. The bearing element (51) may be swivelled into its working position by a traction rod (59) secured at two points which extends without contact in a groove (57) of the bearing arm (49). By retracting the bearing arm (49), the wafer (25) to be transported may be clamped between the bearing element (51) and a bearing element (50) arranged on the housing (53).

Un dispositif de transport d'objets plats, notamment de substrats, comprend une pince mobile (23) avec un bras de support (49) et un élément pivotant de support (51). Afin d'éviter pendant la saisie d'un objet des collisions entre la pince (23) et une galette (25) située dans le compartiment de chargement d'une cassette (27), un capteur à fluide (81, 101) monté sur le bras de support (49) de la pince (23) mesure sans contact la distance jusqu'à au moins une galette (25) adjacente au bras de support (49). Un agencement optique de détection (29') comprenant un émetteur (31') et un récepteur (33') est monté en outre sur la pince (23). L'émetteur (31') émet des rayons de lumière dans l'axe longitudinal de la pince (23). Le récepteur (33') s'étend de part et d'autre de l'axe longitudinal, de manière à pouvoir détecter même la lumière réfléchie angulairement, par rapport à l'axe longitudinal, par un plan optique à orientation latérale de la galette. L'élément de support (51) peut pivoter jusqu'à sa position de fonctionnement au moyen d'une barre de traction (59) assujettie à deux points et qui s'étend sans contact dans une rainure (57) du bras de support (49). La rétraction du bras de support (49) permet de serrer la galette (25) à transporter entre l'élément de support (51) et un élément de support (50) situé sur le boîtier (53).