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1. WO1994011719 - VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON DURCH EINEN RAHMEN AUFGESPANNTE MEMBRANEN

Veröffentlichungsnummer WO/1994/011719
Veröffentlichungsdatum 26.05.1994
Internationales Aktenzeichen PCT/EP1993/002969
Internationales Anmeldedatum 27.10.1993
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen 09.04.1994
IPC
F04B 43/04 2006.01
FMaschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
04Verdrängerkraft- und Verdrängerarbeitsmaschinen für Flüssigkeiten; Arbeitsmaschinen für Flüssigkeiten oder Gase, Dämpfe
BVerdrängerkraft- und Verdrängerarbeitsmaschinen für Flüssigkeiten; Arbeitsmaschinen, insbesondere Pumpen
43Verdrängermaschinen, Pumpen oder Pumpenanlagen mit flexiblen Verdrängern
02mit plattenähnlichen, flexiblen Verdrängern, z.B. Membranen
04Pumpen mit elektrischem Antrieb
G01L 7/08 2006.01
GPhysik
01Messen; Prüfen
LMessen von Kraft, mechanischer Spannung, Drehmoment, Arbeit, mechanischer Leistung, mechanischem Wirkungsgrad oder des Drucks von Fluiden
7Messen des stationären oder quasi-stationären Druckes eines Fluids oder eines fließfähigen festen Stoffes durch mechanische oder auf den Druck von Fluiden ansprechende Elemente
02in der Form von elastisch-verformbaren Bauteilen
08mit biegsamen Membranen
G01L 9/00 2006.01
GPhysik
01Messen; Prüfen
LMessen von Kraft, mechanischer Spannung, Drehmoment, Arbeit, mechanischer Leistung, mechanischem Wirkungsgrad oder des Drucks von Fluiden
9Messen des stationären oder quasi-stationären Druckes eines Fluids oder eines fließfähigen festen Stoffes durch elektrische oder magnetische, druckempfindliche Elemente; Übertragen oder Anzeigen der Verschiebung druckempfindlicher Elemente, verwendet zum Messen des stationären oder quasi-stationären Druckes eines Fluids oder eines fließfähigen festen Stoffes durch elektrische oder magnetische Einrichtungen
G03F 7/00 2006.01
GPhysik
03Fotografie; Kinematografie; vergleichbare Techniken unter Verwendung von nicht optischen Wellen; Elektrografie; Holografie
FFotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, z.B. zum Drucken, zum Herstellen von Halbleiterbauelementen; Materialien dafür; Kopiervorlagen dafür; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
7Fotomechanische, z.B. fotolithografische Herstellung von strukturierten oder gemusterten Oberflächen, z.B. Druckflächen; Materialien dafür, z.B. mit Fotolacken ; Vorrichtungen besonders ausgebildet dafür
CPC
F04B 43/043
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
43Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
02having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
04Pumps having electric drive
043Micropumps
G01L 7/082
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
7Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements
02in the form of elastically-deformable gauges
08of the flexible-diaphragm type
082construction or mounting of diaphragms
G01L 9/0016
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
9Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements
0001Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means
0008using vibrations
0016of a diaphragm
G03F 7/00
GPHYSICS
03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR;
7Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
Anmelder
  • KERNFORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH [DE/DE]; Weberstrasse 5 D-76133 Karlsruhe, DE (AllExceptUS)
  • MICROPARTS GESELLSCHAFT FÜR MIKROSTRUKTURTECHNIK MBH [DE/DE]; Hauert 7 D-44227 Dortmund, DE (AllExceptUS)
  • SCHOMBURG, Werner [DE/DE]; DE (UsOnly)
  • RAPP, Richard [DE/DE]; DE (UsOnly)
  • KADEL, Klaus [DE/DE]; DE (UsOnly)
Erfinder
  • SCHOMBURG, Werner; DE
  • RAPP, Richard; DE
  • KADEL, Klaus; DE
Vertreter
  • RÜCKERT, Friedrich; Kernforschungszentrum Karlsruhe GmbH Stabsabteilung Patente und Lizenzen Weberstrasse 5 D-76133 Karlsruhe, DE
Prioritätsdaten
P 42 38 571.716.11.1992DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON DURCH EINEN RAHMEN AUFGESPANNTE MEMBRANEN
(EN) METHOD OF FABRICATING MEMBRANES MOUNTED ON A FRAME
(FR) PROCEDE DE FABRICATION DE MEMBRANES MONTEES SUR UN CADRE
Zusammenfassung
(DE)
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von durch einen Rahmen aufgespannte Membranen, bei dem a) auf einem Substrat eine Membranschicht in der Weise aufgetragen wird, dass sie sich vom Substrat trennen läßt, b) auf der Membranschicht der Rahmen aufgebaut wird, c) die Membranschicht mit dem Rahmen vom Substrat getrennt wird. Ihr liegt die Aufgabe zugrunde, solche Membranen herzustellen, die an einzelnen, vorherbestimmbaren Stellen andere physikalische Eigenschaften aufweisen als an den übrigen Stellen. Die Aufgabe wird dadurch gelöst, daß d) auf dem Substrat eine erste Membranschicht aufgetragen wird, e) die erste Membranschicht mit mindestens einem Durchbruch versehen wird, f) der Durchbruch in der ersten Membranschicht mit einer zweiten Membranschicht überdeckt wird.
(EN)
The invention concerns a method of fabricating membranes mounted on a frame, the method including the following steps: (a) a membrane film is applied to a substrate in such a way that it can be detached from the substrate again, (b) the frame is built up on the membrane film and (c) the membrane film, together with the frame, is separated from the substrate. The aim of the invention is to be able to fabricate membranes which, in certain pre-selected areas, have physical properties which are different from the properties in the other areas. This is achieved by (d) applying a first membrane film to the substrate, (e) making at least one hole in the first membrane film and (f) covering the hole in the first membrane film over with a second membrane film.
(FR)
L'invention concerne un procédé de fabrication de membranes montées sur un cadre, qui comprend les étapes suivantes: (a) application d'un film membrane sur un substrat, de manière à pouvoir ensuite enlever ledit film du substrat, (b) construction du cadre sur le film membrane, (c) séparation membrane conjointement avec le cadre du substrat. L'invention vise à réaliser des membranes présentant dans certains points prédéfinissables, des propriétés différentes de celles des autres points. Ce but est atteint comme suit: (d) un premier film membrane est appliqué sur le substrat, (e) un trou est pratiqué dans ce premier film membrane, et (f) le trou pratiqué dans le premier film membrane est recouvert d'un second film membrane.
Auch veröffentlicht als
US08492833
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