In Bearbeitung

Bitte warten ...

Einstellungen

Einstellungen

Gehe zu Anmeldung

1. WO1994004832 - MIKROMINIATURISIERBARES VENTIL

Anmerkung: Text basiert auf automatischer optischer Zeichenerkennung (OCR). Verwenden Sie bitte aus rechtlichen Gründen die PDF-Version.

[ DE ]

Patentansprüche

1. Mikrominiaturisierbares Ventil, gekennzeichnet durch

eine Druckausgleichskammer (2) ,

ein zwischen der Druckausgleichskammer (2) und einer ersten Fluidleitung (Ll) derart angeordnetes, elektrostatisch haltbares, erstes semiaktives Ventil (3) , daß dieses gegen einen Druck in der ersten Fluidleitung (Ll) , der höher ist als derjenige in der Druckausgleichskammer (2) , durch Anlegen einer ersten Spannung (UI) an elektrisch leitfähige Bereiche (11, 12) des ersten semiaktiven Ventiles (3) in einem geschlossenen Zustand haltbar ist, und

ein zwischen der Druckausgleichskammer (2) und einer zweiten Fluidleitung (L2) derart angeordnetes, elektrostatisch haltbares, zweites semiaktives Ventil (4) , daß dieses gegen einen Druck in der Druckausgleichskammer (2) , der höher ist als derjenige in der zweiten Fluidleitung (L2) , durch Anlegen einer zweiten Spannung (U2) an leitfähige Bereiche (ll, 12) des zweiten semiaktiven Ventiles (4) in einem geschlossenen Zustand haltbar ist.

2. Mikrominiaturisierbares Ventil nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch

einen von dem Druck in der Druckausgleichskammer (2) beaufschlagten Ventilkolben (17, 17', 17",) der in Abhängigkeit von dem Druck in der Druckausgleichskammer (2) gegen einen Ventilsitz (19, 27) zwischen einer dritten und vierten Fluidleitung (L3, L4) anlegbar ist.

Mikrominiaturisierbares Ventil nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet durch

eine Steuervorrichtung, die die erste und zweite Spannung (UI, U2) für die Ansteuerung des ersten und zweiten semiaktiven Ventiles (3, 4) derart erzeugt, daß zu jedem Zeitpunkt während des Betriebes des mikrominiaturisierbaren Ventiles (1) zumindest an eines der beiden Ventile (2 , 4) eine Spannung (UI, U2) angelegt wird.

einen von dem Druck in der Druckausgleichskammer (2) beaufschlagten Ventilkolben (17, 17', 17'',) der in Abhängigkeit von dem Druck in der Druckausgleichskammer (2) gegen einen Ventilsitz (19, 27) zwischen einer dritten und vierten Fluidleitung (L3, L4) anlegbar ist.

Mikrominiaturisierbares Ventil nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,

daß der Ventilkolben (17, 17', 17") von einer an die Druckausgleichskammer (2) angrenzenden Membran (16) geführt ist.

5. Mikrominiaturisierbares Ventil nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet,

daß die von dem Ventilsitz (17, 27) umschlossene Fläche (A3) im Bereich der vierten Fluidleitung (L4) kleiner ist als die von dem Druck in der Druckausgleichskammer (2) beaufschlagte Fläche (Aχ) des Ventilkolbens (17, 17', 17").

6. Mikrominiaturisierbares Ventil nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet,

daß das erste und zweite semiaktive Ventil (3, 4) jeweils einen beweglichen Ventilbereich (5, 22) haben, der eine Öffnung (6) in einem benachbarten, festen Flächenbereich (7) überdeckt, und

daß der bewegliche Ventilbereich (5, 22) und der feste Flächenbereich (7) jeweils die genannten elektrisch leitfähigen Bereiche (10, 11) umfassen.

7. Mikrominiaturisierbares Ventil nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet,

daß die Fläche (F3) des beweglichen Ventilbereiches (5, 22) größer ist als die Fläche (Fj der Öffnung (6) .

Mikrominiaturisierbares Ventil nach einem der Ansprüche 1 bis 7, gekennzeichnet durch

drei übereinander angeordnete, miteinander verbundene, im wesentlichen plattenförmige Körper (Kl, K2, K3) , die derart ausgebildet sind, daß der erste und zweite Körper (Kl, K2) miteinander die Druckausgleichskammer (2) festlegen, und

daß die beiden semiaktiven Ventile (3, 4) derart durch den zweiten und dritten Körper (K2, K3) festgelegt sind, daß der bewegliche Ventilbereich (5) des ersten semiaktiven Ventiles (3) und der feste Flächenbereich (7) des zweiten semiaktiven Ventiles (4) durch den zweiten Körper (K2) gebildet sind und daß der bewegliche Ventilbereich (5) des zweiten semiaktiven Ventiles (4) und der feste Flächenbereich (7) des ersten semiaktiven Ventiles (3) durch den dritten Körper (K3) gebildet sind.

9. Mikrominiaturisierbares Ventil nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet,

daß der Ventilkolben (17, 17', 17") und die ihn führende Membran (16) durch den zweiten Körper (K2) gebildet sind.

10. Mikrominiaturisierbares Ventil nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet,

daß wenigstens zwei der drei Körper (Kl, K2, K3) mit Verfahren der Halbleitertechnologie hergestellt sind.