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1. WO1994004825 - VERFAHREN ZUR ÜBERPRÜFUNG DER BETRIEBSPOSITION DES ROTIERENDEN SYSTEMS EINER VAKUUMPUMPE, VORZUGSWEISE TURBOMOLEKULARPUMPE

Veröffentlichungsnummer WO/1994/004825
Veröffentlichungsdatum 03.03.1994
Internationales Aktenzeichen PCT/EP1993/001740
Internationales Anmeldedatum 06.07.1993
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen 22.02.1994
IPC
F04D 19/04 2006.01
FMaschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
04Verdrängerkraft- und Verdrängerarbeitsmaschinen für Flüssigkeiten; Arbeitsmaschinen für Flüssigkeiten oder Gase, Dämpfe
DStrömungsarbeitsmaschinen
19Lüfter , Gebläse, Verdichter axialer Bauart
02Mehrstufige Gebläse und Verdichter
04zur Erzeugung hohen Vakuums, z.B. Molekularpumpen
F04D 29/64 2006.01
FMaschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
04Verdrängerkraft- und Verdrängerarbeitsmaschinen für Flüssigkeiten; Arbeitsmaschinen für Flüssigkeiten oder Gase, Dämpfe
DStrömungsarbeitsmaschinen
29Einzelheiten, Bauteile oder Zubehör
60Aufstellung; Zusammenbau; Demontage
64von Axialströmungsarbeitsmaschinen
F16C 17/24 2006.01
FMaschinenbau; Beleuchtung; Heizung; Waffen; Sprengen
16Maschinenelemente oder -einheiten; allgemeine Maßnahmen für die ordnungsgemäße Arbeitsweise von Maschinen oder Einrichtungen; Wärmeisolierung allgemein
CWellen; Flexible Wellen; Mechanische Vorrichtungen zum Übertragen von Bewegungen in einer biegsamen Führungshülle; Einzelteile von Kurbeltrieben; Drehgelenke; Gelenkige Verbindungen; Sich drehende Maschinenelemente, außer Getriebe-, Kupplungs- oder Bremsenelemente; Lager
17Gleitlager, ausschließlich für Drehbewegung
12mit baulichen Merkmalen, die von der Lastrichtung unabhängig sind
24mit Schutzvorrichtungen gegen ungewöhnliche oder unerwünschte Bedingungen, z.B. gegen Überhitzung, zur Sicherheit
CPC
F04D 19/048
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
19Axial-flow pumps
02Multi-stage pumps
04specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
048comprising magnetic bearings
F04D 29/644
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
29Details, component parts, or accessories
60Mounting; Assembling; Disassembling
64of axial pumps
644especially adapted for elastic fluid pumps
F16C 17/24
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
17Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement
12characterised by features not related to the direction of the load
24with devices affected by abnormal or undesired positions, e.g. for preventing overheating, for safety
F16C 2360/45
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
2360Engines or pumps
44Centrifugal pumps
45Turbo-molecular pumps
F16C 32/0442
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
32Bearings not otherwise provided for
04using magnetic or electric supporting means
0406Magnetic bearings
044Active magnetic bearings
0442with devices affected by abnormal, undesired or non-standard conditions such as shock-load, power outage, start-up or touchdown
F16C 32/0444
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
32Bearings not otherwise provided for
04using magnetic or electric supporting means
0406Magnetic bearings
044Active magnetic bearings
0444Details of devices to control the actuation of the electromagnets
Anmelder
  • LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT [DE]/[DE] (AllExceptUS)
  • SCHNEIDER, Helmut [DE]/[DE] (UsOnly)
Erfinder
  • SCHNEIDER, Helmut
Vertreter
  • LEINEWEBER, Jürgen
Prioritätsdaten
P 42 27 663.221.08.1992DE
Veröffentlichungssprache Deutsch (DE)
Anmeldesprache Deutsch (DE)
Designierte Staaten
Titel
(DE) VERFAHREN ZUR ÜBERPRÜFUNG DER BETRIEBSPOSITION DES ROTIERENDEN SYSTEMS EINER VAKUUMPUMPE, VORZUGSWEISE TURBOMOLEKULARPUMPE
(EN) PROCESS FOR MONITORING THE OPERATIVE POSITION OF THE ROTARY SYSTEM OF A VACUUM PUMP, ESPECIALLY A TURBO-MOLECULAR PUMP
(FR) PROCEDE DE CONTROLE DE LA POSITION DE FONCTIONNEMENT DU SYSTEME ROTATIF D'UNE POMPE A VIDE, DE PREFERENCE UNE POMPE TURBOMOLECULAIRE
Zusammenfassung
(DE)
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Überprüfung der Betriebsposition des rotierenden Systems einer Vakuumpumpe, vorzugsweise einer Turbomolekularpumpe, welches mittels eines Magnetlagers (14, 15) im Gehäuse (1) der Vakuumpumpe aufgehängt ist; das Verfahren wird durchgeführt, indem nach der magnetischen Aufhängung des rotierenden Systems der Rotor (6) und das Gehäuse (1) in einen Stromkreis (42) eingeschaltet werden, in dem sich neben einer Stromquelle (43) ein Stromflußindikator (44) befindet; das Prüfungsergebnis wird mit Hilfe des Stromflußindikators (44) festgestellt; vorzugsweise schließt sich an die Überprüfung der Betriebsposition des rotierenden Systems die Justierung einer Notlaufeinrichtung (33, 34, 36) mit Hilfe des Stromkreises (42) an.
(EN)
The invention relates to a process for monitoring the operative position of the rotary system of a vacuum pump, especially a turbo-molecular pump, which is suspended in the housing (1) of the vacuum pump by means of a magnetic bearing (14, 15); the process is implemented in that, downstream of the magnetic suspension of the rotary system, the rotor (6) and the housing (1) are coupled in a circuit (42) in which, besides a current source (43), there is a current conduction indicator (44); the result of the test is established with the aid of the current conduction indicator; the check on the operative position of the rotary system is preferably followed by the adjustment of an emergency running device (33, 34, 36) with the aid of the circuit (42).
(FR)
L'invention concerne un procédé de contrôle de la position de fonctionnement du système rotatif d'une pompe à vide, de préférence une pompe turbomoléculaire, qui est suspendu dans le carter (1) de la pompe à vide au moyen d'un palier magnétique (14, 15). Ce procédé est mis en ÷uvre en ce que, en aval de cette suspension magnétique du système rotatif, le rotor (6) et le carter (1) sont couplés dans un circuit électrique (42) dans lequel, outre une source de courant (43), se trouve un indicateur de conduction de courant (44). Les résultats du contrôle sont établis à l'aide de l'indicateur de conduction de courant (44). On complète de préférence le contrôle de la position de fonctionnement du système rotatif par le réglage d'un dispositif d'urgence (33, 34, 35) à l'aide du circuit électrique (42).
Auch veröffentlicht als
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