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1. (WO1993017313) DRUCKDIFFERENZ-SENSOR
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/1993/017313    Internationale Veröffentlichungsnummer:    PCT/DE1993/000166
Veröffentlichungsdatum: 02.09.1993 Internationales Anmeldedatum: 22.02.1993
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen:    24.09.1993    
IPC:
G01L 9/00 (2006.01), G01L 13/02 (2006.01)
Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT [DE/DE]; Wittelsbacherplatz 2, D-80333 München (DE) (For All Designated States Except US).
ARNDT, Frank [DE/DE]; (DE) (For US Only).
HOUDEAU, Detlef [DE/DE]; (DE) (For US Only).
VON RAUCH, Moriz [DE/DE]; (DE) (For US Only).
SCHLAAK, Helmut [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: ARNDT, Frank; (DE).
HOUDEAU, Detlef; (DE).
VON RAUCH, Moriz; (DE).
SCHLAAK, Helmut; (DE)
Prioritätsdaten:
P 42 06 675.1 28.02.1992 DE
Titel (DE) DRUCKDIFFERENZ-SENSOR
(EN) PRESSURE DIFFERENCE SENSOR
(FR) DETECTEUR DE PRESSION DIFFERENTIELLE
Zusammenfassung: front page image
(DE)Die Erfindung bezieht sich auf einen Druckdifferenz-Sensor mit einer Halbleiter-Meßmembran, die zwischen zwei Tragteilen aus Isoliermaterial unter Bildung jeweils einer Innenkammer eingespannt ist; die Tragteile tragen innen jeweils eine flächenhafte Elektrode. Um bei einem derartigen Druckdifferenz-Sensor den Einfluß des statischen Druckes auf die Meßgenauigkeit zu kompensieren, enthält der Druckdifferenz-Sensor (1) im Bereich der Einspannung (5) der Halbleiter-Meßmembran (2) einen inneren, druckbelasteten Ausgleichsraum (19, 21, 22, 23), der sich in der Höhe über beide Tragteile (3, 4) erstreckt und um die Innenkammern (10, 11) verläuft.
(EN)The invention relates to a pressure difference sensor with a semiconductor measuring diaphragm which is clamped between two bearers of insulating material to form an inner chamber; each of the bearers is fitted with a flat electrode on the inside. In order with such a pressure difference sensor to compensate for the effect of the static pressure on the accuracy of measurement, the pressure difference sensor (1) has, in the clamping region (5) of the semiconductor measuring diaphragm (2), an internal, pressurised equalisation chamber (19, 21, 22, 23) extending above both bearers (3, 4) and running around the inner chambers (10, 11).
(FR)L'invention concerne un détecteur de pression différentielle comprenant une membrane de mesure à semiconducteur fixée entre deux supports en un matériau isolant, formant respectivement une chambre intérieure; les supports portent chacun, à l'intérieur, une électrode plane. Afin de compenser, dans un tel détecteur, l'influence de la pression statique sur la précision de la mesure, le détecteur de pression différentielle (1) comprend, dans la zone de fixaation (5) de la membrane de mesure à semiconducteur (2), un volume intérieur compensateur sollicité à la pression (19, 21, 22, 23) s'étendant en hauteur au-dessus des deux supports (3, 4) et entourant les chambres intérieures (10, 11).
Designierte Staaten: US.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)