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1. (WO1993017304) VERFAHREN ZUR ERMITTLUNG DES MASSENFLUSSES VON GASEN MITTELS OPTISCHER ABSORPTION UND ANWENDUNG DES VERFAHRENS
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/1993/017304    Internationale Veröffentlichungsnummer:    PCT/DE1992/000157
Veröffentlichungsdatum: 02.09.1993 Internationales Anmeldedatum: 27.02.1992
IPC:
G01F 1/00 (2006.01), G01F 1/66 (2006.01), G01F 1/704 (2006.01), G01F 1/86 (2006.01), G01N 21/37 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01)
Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT [DE/DE]; Wittelsbacherplatz 2, D-80333 München (DE) (For All Designated States Except US).
INTEMANN, Andreas [DE/DE]; (DE) (For US Only).
KÖRNER, Heinrich [DE/DE]; (DE) (For US Only).
HIEBER, Konrad [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: INTEMANN, Andreas; (DE).
KÖRNER, Heinrich; (DE).
HIEBER, Konrad; (DE)
Prioritätsdaten:
Titel (DE) VERFAHREN ZUR ERMITTLUNG DES MASSENFLUSSES VON GASEN MITTELS OPTISCHER ABSORPTION UND ANWENDUNG DES VERFAHRENS
(EN) OPTICAL-ABSORPTION METHOD FOR MEASURING THE MASS RATE OF FLOW OF GASES, AND USE OF THE METHOD
(FR) PROCEDE POUR LA DETERMINATION DU FLUX MASSIQUE DE GAS PAR ABSORPTION OPTIQUE ET APPLICATION DE CE PROCEDE
Zusammenfassung: front page image
(DE)Bei dem Verfahren wird die Gesamtheit der Gase durch eine Absorptionsküvette (3) geleitet, eine Referenzküvette (4) enthält ein Referenzgas, die Küvetten werden optisch durchstrahlt und in einen Detektor (8, 9), der die aus den Küvetten austretende optische Strahlung aufnimmt, wird ein ein Mass für den zu ermittelnden Massenfluss darstellendes Signal erzeugt.
(EN)The method described calls for the whole of the gas stream to be passed through an absorption cell (3). A beam of light is passed through the absorption cell (3) as well as through a reference cell (4) containing a reference gas. The optical radiation which emerges from the cells is detected by an optical detector (8, 9) and a signal generated which is proportional to the mass rate of flow being measured.
(FR)Dans ce procédé, la totalité des gaz est conduite à travers une cuvette d'absorption (3). Une cuvette de référence (4) contient un gaz de référence. Les cuvettes sont optiquement traversées par des rayons, et un détecteur (8, 9), qui capte le rayonnement optique sortant des cuvettes, génère un signal représentant la mesure du flux massique à déterminer.
Designierte Staaten: JP, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IT, LU, MC, NL, SE).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)