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1. (WO1992008101) ANORDNUNG ZUM MESSEN LINEARER ABMESSUNGEN AUF EINER STRUKTURIERTEN OBERFLÄCHE EINES MESSOBJEKTES
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/1992/008101    Internationale Veröffentlichungsnummer:    PCT/EP1991/002087
Veröffentlichungsdatum: 14.05.1992 Internationales Anmeldedatum: 05.11.1991
IPC:
G01B 7/28 (2006.01), G01B 7/34 (2006.01)
Anmelder: JENOPTIK CARL ZEISS JENA GMBH [DE/DE]; Carl-Zeiss-Str. 1, D-6900 Jena (DE) (For All Designated States Except US).
BARTZKE, Karlheinz [DE/DE]; (DE) (For US Only).
THIEMER, Rolf [DE/DE]; (DE) (For US Only).
VOIGT, Lothar [DE/DE]; (DE) (For US Only).
FRITZSCH, Ludwig [DE/DE]; (DE) (For US Only).
HEIM, Joachim [DE/DE]; (DE) (For US Only)
Erfinder: BARTZKE, Karlheinz; (DE).
THIEMER, Rolf; (DE).
VOIGT, Lothar; (DE).
FRITZSCH, Ludwig; (DE).
HEIM, Joachim; (DE)
Vertreter: GEYER, Werner; Perhamerstr. 31, D-8000 München 21 (DE)
Prioritätsdaten:
P 40 35 075.4 05.11.1990 DE
Titel (DE) ANORDNUNG ZUM MESSEN LINEARER ABMESSUNGEN AUF EINER STRUKTURIERTEN OBERFLÄCHE EINES MESSOBJEKTES
(EN) DEVICE FOR MEASURING LINEAR DIMENSIONS ON A PATTERNED SURFACE
(FR) DISPOSITIF POUR LA MESURE DE DIMENSIONS LINEAIRES SUR UNE SURFACE STRUCTUREE D'UN OBJET A MESURER
Zusammenfassung: front page image
(DE)Bei einer Anordnung zum Messen linearer Abmessungen auf einer strukturierten Oberfläche eines Meßobjektes (6), die aus einem Meßkopf (1) und einem Meßobjektträger (7) besteht, ist der Meßkopf (1) relativ zur Oberfläche des Meßobjektes (6) beweglich angeordnet. Im Meßkopf (1) ist eine Vielzahl von Sensoren (3) angeordnet, die je eine die Oberfläche des Meßobjektes (6) abtastende Tastspitze (4) aufweisen. In jedem Sensor (3) ist ein Meßwertwandler (8) zur Gewinnung von Tastsignalen und eine Stell- und Meßeinrichtung für eine Positionierung der jeweiligen Tastspitze (4) in Richtung senkreckt zur Oberfläche (5) des Meßobjektes (6) vorgesehen.
(EN)The device disclosed is designed to measure linear dimensions on the patterned surface of a body (6). It comprises a measurement head (1) and a carrier (7) for the body, the measurement head being mounted to move relative to the surface of the body (6). Fitted in the measurement head (1) is a multiplicity of sensors (3) each of which has a pointed tip (4) which touches the surface of the body (6). Fitted in each sensor (3) is a transducer (8) which generates sensor signals and a control device for positioning the sensor tip (4) vertically with respect to the surface (5) of the body (6).
(FR)Dans un dispositif pour la mesure de dimensions linéaires sur une surface structurée d'un objet à mesurer (6) constitué d'une tête de mesure (1) et d'un porte-objet (7), la tête de mesure (1) est disposée de manière mobile relativement à la surface de l'objet à mesurer (6). La tête de mesure (1) abrite une pluralité de palpeurs (3) dont chacun présente une pointe de contact (4) palpant la surface de l'objet à mesurer (6). Dans chaque palpeur (3) est prévu un transducteur de valeur de mesure (8) servant à l'obtention de signaux de palpage, ainsi qu'un dispositif de réglage et de mesure pour le positionnement de la pointe de contact correspondante (4) dans un sens perpendiculaire à la surface (5) de l'objet à mesurer (6).
Designierte Staaten: JP, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IT, LU, NL, SE).
Veröffentlichungssprache: German (DE)
Anmeldesprache: German (DE)