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1. (WO1989011905) DRY EXHAUST GAS CONDITIONING
Aktuellste beim Internationalen Büro vorliegende bibliographische Daten   

TranslationÜbersetzung: Original-->Deutsch
Veröff.-Nr.:    WO/1989/011905    Internationale Anmeldenummer    PCT/GB1989/000600
Veröffentlichungsdatum: 14.12.1989 Internationales Anmeldedatum: 31.05.1989
Antrag nach Kapitel 2 eingegangen:    19.01.1990    
IPC:
B01D 53/46 (2006.01), B01D 53/68 (2006.01), C23C 16/44 (2006.01)
Anmelder: PLASMA PRODUCTS LTD. [GB/GB]; P.O. Box 1020, Nailsea, Bristol BS19 1JW (GB) (For All Designated States Except US).
SMITH, James, Robert [GB/GB]; (GB) (For US Only).
TIMMS, Peter, Leslie [GB/GB]; (GB) (For US Only)
Erfinder: SMITH, James, Robert; (GB).
TIMMS, Peter, Leslie; (GB)
Vertreter: DUNLOP, Brian, Kenneth, Charles @; Wynne-Jones, Laine & James, 22 Rodney Road, Cheltenham, Gloucestershire GL50 1JJ (GB)
Prioritätsdaten:
8813270.9 04.06.1988 GB
Titel (EN) DRY EXHAUST GAS CONDITIONING
(FR) CONDITIONNEMENT DE GAZ D'ECHAPPEMENT SECS
Zusammenfassung: front page image
(EN)This invention relates to gas treatment apparatus and methods and particularly, but not exclusively, to such apparatus and methods for use with exhaust products form semi-conductor manufacturing process. A reactor column (10) has an inlet (11) at the bottom and an outlet (12). Between the inlet and outlet it is divided into three sequential stages containing: silicon or silicon containing materials; lime or soda lime and copper oxide or copper oxide reagents.
(FR)Cette invention concerne un appareil et des procédés de traitement des gaz et notamment, mais pas uniquement, un appareil et des procédés utilisés avec des produits d'échappement provenant d'un processus de fabrication de semi-conducteurs. Une colonne de réacteur (10) comprend une admission (11) agencée en sa partie inférieure ainsi qu'une sortie (12). Entre l'admission et la sortie, la colonne est divisée en trois étages séquentiels contenant: du silicium ou des matières contenant du silicium, de la chaux vive ou de la soude vive ainsi que de l'oxyde de cuivre ou des réactifs d'oxyde de cuivre.
Designierte Staaten: JP, KR, US.
European Patent Office (AT, BE, CH, DE, FR, GB, IT, LU, NL, SE).
Veröffentlichungssprache: English (EN)
Anmeldesprache: English (EN)